一种Diffuser喷砂后表面处理GSP工艺的制作方法

本发明涉及cvd扩散器表面处理，具体为一种diffuser喷砂后表面处理gsp工艺。

背景技术：

1、液晶显示面板的制造过程中，需要使用化学气相沉积(简称cvd)工艺在玻璃基板表面沉积一些功能薄膜；而cvd设备中采用了一种气体扩散器diffuser来进行沉积成膜，但现有的diffuser喷砂后表面处理gsp工艺，却有着一些不足之处，就比如：

2、现有的cvd工艺过程，除了一些特定气体外，在反应腔室内还需通电对气体解离形成plasma(电浆)，反应过程中如发生掉落(peeling)形成尘埃粒子(particle)会污染液晶面板玻璃和设备；从而可能会影响液晶面板玻璃和设备的成品效率和使用情况；

3、所以我们提出了一种diffuser喷砂后表面处理gsp工艺，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种diffuser喷砂后表面处理gsp工艺，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的cvd工艺过程，除了一些特定气体外，在反应腔室内还需通电对气体解离形成电浆，反应过程中如发生掉落形成尘埃粒子会污染液晶面板玻璃和设备；从而可能会影响液晶面板玻璃和设备的成品效率和使用情况的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种diffuser喷砂后表面处理gsp工艺，包括diffuser本体和常规白刚玉砂材，且包括如下工艺步骤：

3、s1、将表面研磨后的diffuser本体两个侧面螺丝孔内安装上挂螺丝，然后将螺丝与挂具连接，通过行车将diffuser本体垂直立起，并安装放置在喷砂吊挂治具上，保持正面对准喷砂枪嘴，使得diffuser本体与喷砂枪嘴处于水平垂直状态；

4、s2、在喷砂罐中加入对应的白刚玉喷砂材料，并设定好喷砂时的压力值，调整好喷枪嘴与diffuser本体的喷砂距离；

5、s3、将喷砂枪嘴与产品的对应角度设置为由左向右90度角度，设置好走枪速度及上下间断距离，启动喷砂机进行第一次喷砂；

6、在设置好走枪速度及上下间断距离可先对样板进行试喷，从而根据样板喷砂效果进行走枪速度及上下间断距离的间距数值调整；

7、s4、第一次喷砂完毕后，将diffuser本体从喷砂治具上卸下，进行翻面后，使背面对应喷枪嘴并安装保持喷砂嘴角度、喷砂压力值、喷砂距离、上下间断距离不变，进行第二次喷砂；

8、s5、此时再将喷砂罐中的砂材进行更换，换成600-800nm球状砂材，保持喷砂嘴角度、喷砂压力值、喷砂距离和上下间断距离不变，随后进行第三次喷砂；

9、s6、第三次喷砂完毕后，将diffuser本体从喷砂治具上卸下，进行翻面后，保持喷砂嘴角度、喷砂压力值、喷砂距离、上下间断距离不变，进行第四次喷砂；

10、s7、将diffuser本体从喷砂治具上卸除，对diffuser本体表面进行清洗，随后对其表面表面进行检测，从而完成gsp工艺；

11、diffuser本体是一种化学气相沉积(简称cvd)工艺用气体扩散器，且diffuser本体为铝材材质。

12、通过在diffuser本体的正反面第一次白刚玉喷砂后对喷砂材料的更换，并再次对正反面进行一次喷砂；使得第一次白刚玉喷砂对diffuser本体表面进行冲击后表面产生的大量不稳定尖端颗粒以及深谷区域的残膜得以大量清除，大大降低成品在cvd设备作业过程中发生掉落的概率。

13、作为本发明的优选技术方案，diffuser本体在经过整形、退膜、研磨以及所述的常规白刚玉砂材喷砂工艺后采用gsp工艺，其中gsp工艺原理为用600-800nm的高速粒子流冲击diffuser本体的al层表面，去除表面因喷砂导致的不稳定尖端颗粒，从而改善al层表面疏松的结构属性，从而提高表层的结构强度，并大量去除尖端颗粒及深谷区域残膜。

14、采用上述技术方案能够使al层表面再被高速粒子冲刷后，表面的除尖端颗粒及深谷区域残膜被高速粒子带动冲散，从而能够使得al层表面不会残留除尖端颗粒及深谷区域残膜。

15、作为本发明的优选技术方案，白刚玉喷砂对diffuser本体后，al层表面会形成大量尖端颗粒和深谷残膜，尖端颗粒在cvd设备作业过程中易氟化掉落(peeling)形成尘埃粒子(particle)，腔室清洁后的第一片(cc1)尤其明显；深谷底部残膜不易清除(clean)，产生残膜掉落尘埃粒子(peelingparticle)，腔室清洁后的第二片(cc2)尤其明显。

16、作为本发明的优选技术方案，白刚玉喷砂后al层表面微观状态下观测尖端颗粒和深谷残膜，当al层表面微观状态下变得纹理清晰、表面更加圆润饱满、大量尖端消失和深谷区域残膜完全清除，再进行后续阳极清洗工艺。

17、采用上述技术方案能够使diffuser本体在取出微观状态下观测尖端颗粒和深谷残膜时，能够更加的方便，从而使得al层表面更加的光滑。

18、作为本发明的优选技术方案，对diffuser本体喷砂的材料为白刚玉，且白刚玉的粒数等级为220#，白刚玉质地致密、硬度高，具有绝缘性，粒形成尖角状；

19、在白刚玉作为喷砂材料使用过程中，需要实用磁铁对白刚玉材料进行去铁工作，且喷砂中的压力值为0.25mpa，并且喷砂距离为600mm。

20、采用上述技术方案能够使得喷砂枪嘴在对diffuser本体进行喷砂作业时，不会由于压力过大或喷砂距离过近而导致白刚玉或球状砂材对diffuser本体表面损坏的情况。

21、作为本发明的优选技术方案，喷砂枪嘴的走枪速度为10mm/s、上下间断距离为4mm，且喷砂枪嘴在进料时，可在进料口处设置过滤机构过滤其杂质。

22、采用上述技术方案能够使喷砂枪嘴在喷出白刚玉或球状砂材是，能够通过过滤机构对其砂料进行过滤，从而避免杂质喷在diffuser本体表面，增加了该设备的防护性。

23、作为本发明的优选技术方案，600-800nm球状砂材是一种金刚砂(sic)，为金刚砂的一种，是一种无机非金属材料，为六方晶体，比重为3.20-3.25，显微硬度为2840-3320kg/mm2。

24、采用上述技术方案能够使diffuser本体表面在进行第三次和第四次喷砂时，去除表面因喷砂导致的不稳定尖端颗粒，改善al层表面疏松的结构属性，从而提高表层的结构强度。

25、作为本发明的优选技术方案，在检测diffuser本体时，可通过粗糙度探针检测diffuser本体表面，从而能够diffuser本体表面的粗糙度。

26、采用上述技术方案能够在检测diffuser本体表面时，能够通过粗糙度探针检测表面的粗糙度，从而使得在检测diffuser本体表面表面时，能够更加的方便。

27、作为本发明的优选技术方案，在检测diffuser本体的取样长度内轮廓偏距的算数平均值时，依据如下公式进行计算：

28、采用上述技术方案能够在检测diffuser本体的取样长度内轮廓偏距的算数平均值时通过公式进行计算，从而在计算diffuser本体的取样长度内轮廓偏距的算数平均值时更加的方便。

29、作为本发明的优选技术方案，diffuser本体为6061系铝材，且6061系铝材是一种镁铝合金材料，具有良好的可塑性、耐腐性和韧性高的特点，且在加工后不易变形和氧化；

30、在对diffuser本体表面进行清理时，可采用超声波设备对其表面进行清理，从而使得diffuser本体表面所残留的白刚玉或球状砂材物质被超声波震动，从而使得残留物质脱落。

31、采用上述技术方案能够使得diffuser本体本身的强度上升，使得diffuser本体在加工后具有不易变形的特点，从而保证其表面在加工后的耐磨性。

32、与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过在diffuser本体的正反面第一次白刚玉喷砂后对喷砂材料的更换，并再次对正反面进行一次喷砂；使得第一次白刚玉喷砂对diffuser本体表面进行冲击后表面产生的大量不稳定尖端颗粒以及深谷区域的残膜得以大量清除，大大降低成品在cvd设备作业过程中发生掉落的概率；

33、进一步的，通过对喷砂压力和喷砂距离进行调节，能够使得喷砂枪嘴在对diffuser本体进行喷砂作业时，不会由于压力过大或喷砂距离过近而导致白刚玉或球状砂材对diffuser本体表面损坏的情况；

34、更进一步的，通过是的diffuser本体用镁铝合金材料材质，能够使得diffuser本体本身的强度上升，使得diffuser本体在加工后具有不易变形的特点，从而保证其表面在加工后的耐磨性。