一种驱动座的开放孔抛光工装的制作方法

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种驱动座的开放孔抛光工装。

背景技术：

1、医疗行业中加速器是通过微型电机驱动带动多页光栅形成一定照射形状，通过射线消灭变异细胞来治疗，其中光栅的叶片有两种带动方式，一种是通过丝杆和电机直接驱动，另外一种是通过电机丝杆驱动驱动滑块，由驱动滑块带动叶片的间接驱动，而为了提高驱动的稳定性以及减少叶片的磨损，优先采用驱动滑块间接驱动。具体方案是设置驱动座，驱动座上加工有开放孔，驱动滑块在开放孔内运动，但是通过驱动滑块驱动有个技术难点，驱动滑块在开放孔中很难保持运动的顺畅性，从而影响了叶片的驱动精度。因此，亟需一种新的技术方案解决上述至少一个技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型目的是提供一种驱动座的开放孔抛光工装，能够将驱动座固定住，封板防止磨料外流，将抛光工装固定好后，磨料从第一通料孔或第二通料孔进料，然后从第二通料孔或第一通料孔出料，这样磨料就能进入开放孔内进行研磨抛光，保证开放孔光滑度，以提升驱动滑块在开放孔内滑动的顺畅性，从而提升叶片的驱动精度，结构简单，操作方便。

2、为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，包括平行间隔设置的第一板和第二板、设置在所述第一板和第二板之间的立板、至少1个用于封住所述开放孔的封板，所述驱动座位于所述立板与所述封板之间，所述第一板沿轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第一通料孔，所述第二板沿所述轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第二通料孔，所述第一通料孔和第二通料孔分别与所述开放孔连通。

3、作为优选的技术方案，所述驱动座朝向所述封板一侧设置有多个所述开放孔，所述开放孔包括多个第一孔和第二孔，1个所述第一孔和1个所述第二孔相邻设置成1组孔组，多组所述孔组线性均匀设置。

4、作为优选的技术方案，所述第一孔包括第一直线段、设置在所述第一直线段一端的第一圆孔段，所述第一直线段与所述第一圆孔段连通，所述第二孔包括第二直线段、设置在所述第二直线段一端的第二圆孔段，所述第二直线段与所述第二圆孔段连通，所述第一直线段的长度小于所述第二直线段的长度。

5、作为优选的技术方案，所述封板朝向所述驱动座一侧设置有多个与所述开放孔匹配的封块。

6、作为优选的技术方案，所述第一板和第二板之间圆周均设置有多个支撑柱。

7、作为优选的技术方案，所述封板的数量为2个，2个所述封板分别对称设置在所述立板两侧，所述驱动座的数量2个，所述第一通料孔和第二通料孔的数量分别为2个，所述第一通料孔和第二通料孔分别与所述封板对应设置。

8、作为优选的技术方案，所述第一板背离所述第二板一侧同心设置有圆形凸台，所述第一通料孔沿所述轴向贯穿所述圆形凸台。

9、作为优选的技术方案，多个所述封块从中间向外高度逐渐降低。

10、作为优选的技术方案，所述第一板和第二板为圆盘形。

11、作为优选的技术方案，所述第一通料孔和第二通料孔为矩形孔。

12、本实用新型的有益效果是：

13、1)抛光工装能够将驱动座固定住，封板防止磨料外流，将抛光工装固定好后，磨料从第一通料孔或第二通料孔进料，然后从第二通料孔或第一通料孔出料，这样磨料就能进入开放孔内进行研磨抛光，保证开放孔光滑度，以提升驱动滑块在开放孔内滑动的顺畅性，从而提升叶片的驱动精度，结构简单，操作方便；

14、2)多个封块嵌入到开放孔一端，防止磨料外流，确保磨料的流向；

15、3)支撑柱对第一板和第二板形成支撑，提高整体刚度，稳定性好，不易变形；

16、4)2个第一通料孔和2个第二通料孔使得能同时对2个驱动座进行研磨，提升研磨效率；

17、5)圆形凸台便于定位安装到研磨机上；

18、6)圆盘形的第一板和第二板便于定位安装到研磨机上。

技术特征：

1.一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，包括平行间隔设置的第一板（2）和第二板（3）、设置在所述第一板（2）和第二板（3）之间的立板（4）、至少1个用于封住所述开放孔的封板（5），所述驱动座（1）位于所述立板（4）与所述封板（5）之间，所述第一板（2）沿轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第一通料孔（201），所述第二板（3）沿所述轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第二通料孔（301），所述第一通料孔（201）和第二通料孔（301）分别与所述开放孔连通。

2.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述驱动座（1）朝向所述封板（5）一侧设置有多个所述开放孔，所述开放孔包括多个第一孔和第二孔，1个所述第一孔和1个所述第二孔相邻设置成1组孔组，多组所述孔组线性均匀设置。

3.根据权利要求2所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述第一孔包括第一直线段（101）、设置在所述第一直线段（101）一端的第一圆孔段（102），所述第一直线段（101）与所述第一圆孔段（102）连通，所述第二孔包括第二直线段（103）、设置在所述第二直线段（103）一端的第二圆孔段（104），所述第二直线段（103）与所述第二圆孔段（104）连通，所述第一直线段（101）的长度小于所述第二直线段（103）的长度。

4.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述封板（5）朝向所述驱动座（1）一侧设置有多个与所述开放孔匹配的封块（501）。

5.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述第一板（2）和第二板（3）之间圆周均设置有多个支撑柱（6）。

6.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述封板（5）的数量为2个，2个所述封板（5）分别对称设置在所述立板（4）两侧，所述驱动座（1）的数量2个，所述第一通料孔（201）和第二通料孔（301）的数量分别为2个，所述第一通料孔（201）和第二通料孔（301）分别与所述封板（5）对应设置。

7.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述第一板（2）背离所述第二板（3）一侧同心设置有圆形凸台（202），所述第一通料孔（201）沿所述轴向贯穿所述圆形凸台（202）。

8.根据权利要求4所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，多个所述封块（501）从中间向外高度逐渐降低。

9.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述第一板（2）和第二板（3）为圆盘形。

10.根据权利要求1所述的一种驱动座的开放孔抛光工装，其特征在于，所述第一通料孔（201）和第二通料孔（301）为矩形孔。

技术总结本技术公开了一种驱动座的开放孔抛光工装，包括平行间隔设置的第一板(2)和第二板(3)、设置在所述第一板(2)和第二板(3)之间的立板(4)、至少1个用于封住所述开放孔的封板(5)，所述驱动座(1)位于所述立板(4)与所述封板(5)之间，所述第一板(2)沿轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第一通料孔(201)，所述第二板(3)沿所述轴向贯穿设置有至少1个供磨料通过的第二通料孔(301)，所述第一通料孔(201)和第二通料孔(301)分别与所述开放孔连通。本技术的抛光工装能够将驱动座固定住，是磨料能够进入开放孔内进行研磨抛光，保证开放孔光滑度，以提升驱动滑块在开放孔内滑动的顺畅性，结构简单，操作方便。技术研发人员：孟乐,游利,陈彦娥,沈明江,姜成礼受保护的技术使用者：无锡先研新材科技有限公司技术研发日：20231025技术公布日：2024/11/7