一种真空镀膜室的制作方法

本发明涉及真空镀膜，具体涉及一种真空镀膜室。

背景技术：

1、真空镀膜室是产品进行真空镀膜时需要用到的重要装备。现有真空镀膜生产线中真空镀膜室一般包括用于容纳产品并形成真空镀膜环境的镀膜腔室，该镀膜腔室具有供产品进出的出入口，镀膜腔室内设置镀膜装置、工艺气体通入装置等功能装置。在实际工作过程中，为达到保证镀膜质量等目的，有需要对各功能装置的作业区域进行遮挡隔离的需求，例如，由于镀膜装置的靶材在镀膜腔室解除真空后其表面不可避免的会附着上杂质等污染物，在产品进入腔室后，需要先对靶材进行预热烧靶，将靶材表面的杂质等污染物去除，然而靶材预热烧靶时会将含污染物的材料溅射到工件上，造成无法保证镀膜质量的问题。又如，在某些工况下需要向镀膜腔室内通入工艺气体，而又需要防止工艺气体产生的气流影响其他功能装置的工作。目前，现有技术中还没有能够满足上述需求的真空镀膜室。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种使用灵活性高、可提高镀膜质量、结构简单、成本低、易于实施应用的真空镀膜室。

2、为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

3、一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，所述镀膜腔室具有供产品进出的出入口和用于通入工艺气体的进气孔，所述镀膜腔室内设有用于遮挡所述进气孔的遮挡件和驱动所述遮挡件运动以调整遮挡位置的驱动装置，通过调整所述遮挡件的遮挡位置使遮挡件在遮挡所述进气孔和不遮挡所述进气孔的状态切换。

4、作为上述技术方案的进一步改进：

5、所述驱动装置驱动所述遮挡件绕竖直轴线环绕产品转动运动以调整遮挡位置。

6、所述驱动装置包括绕竖直轴线转动安装在镀膜腔室内的转动座和驱动所述转动座转动的转动驱动组件，所述遮挡件连接安装在所述转动座上。

7、所述转动驱动组件包括电机、主动齿轮和与转动座连接的从动齿轮，所述电机的驱动轴与主动齿轮相连，所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合。

8、所述从动齿轮和转动座为一体件，所述电机安装在镀膜腔室外部，所述电机的驱动轴通过密封轴承座与主动齿轮相连。

9、所述转动座设置在所述镀膜腔室内的顶部。

10、所述遮挡件包括一块以上挡板，且所述遮挡件包括多块挡板时多块挡板环绕竖直轴线间隔布置。

11、所述挡板为绕竖直轴线弯曲的弧形板。

12、所述挡板以能绕转动座转动轴线调整位置的可拆卸方式安装在转动座上。

13、与现有技术相比，本发明的优点在于：

14、本发明的真空镀膜室，在镀膜生产过程中需要通过进气孔向镀膜腔室内通入工艺气体时，可通过驱动装置驱动遮挡件调整其遮挡位置，使遮挡件处在遮挡进气孔的状态，可防止通入工艺气体时产生的气流直接流向镀膜腔室内的镀膜装置而影响镀膜装置的阴极模块，以及防止通入工艺气体时在镀膜腔室内产生大的气流影响，从而避免影响镀膜工艺稳定性，提高镀膜质量。在不需要通过进气孔向镀膜腔室内通入工艺气体时，还可使遮挡件运动至不遮挡进气孔的其他位置，以满足不需要遮挡进气孔时的正常工作或者满足其他位置需要遮挡等工况，其使用灵活性高。由于只需设置遮挡件和驱动装置，还具有结构简单、成本低、易于在现有真空镀膜室基础上实施应用的优点。

技术特征：

1.一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室（1），所述镀膜腔室（1）具有供产品进出的出入口（11）和用于通入工艺气体的进气孔（12），其特征在于：所述镀膜腔室（1）内设有用于遮挡所述进气孔（12）的遮挡件（2）和驱动所述遮挡件（2）运动以调整遮挡位置的驱动装置（3），通过调整所述遮挡件（2）的遮挡位置使遮挡件（2）在遮挡所述进气孔（12）和不遮挡所述进气孔（12）的状态切换。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜室，其特征在于：所述驱动装置（3）驱动所述遮挡件（2）绕竖直轴线环绕产品转动运动以调整遮挡位置。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜室，其特征在于：所述驱动装置（3）包括绕竖直轴线转动安装在镀膜腔室（1）内的转动座（31）和驱动所述转动座（31）转动的转动驱动组件，所述遮挡件（2）连接安装在所述转动座（31）上。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜室，其特征在于：所述转动驱动组件包括电机（32）、主动齿轮（33）和与转动座（31）连接的从动齿轮，所述电机（32）的驱动轴与主动齿轮（33）相连，所述主动齿轮（33）与所述从动齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜室，其特征在于：所述从动齿轮和转动座（31）为一体件，所述电机（32）安装在镀膜腔室（1）外部，所述电机（32）的驱动轴通过密封轴承座（34）与主动齿轮（33）相连。

6.根据权利要求3所述的真空镀膜室，其特征在于：所述转动座（31）设置在所述镀膜腔室（1）内的顶部。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的真空镀膜室，其特征在于：所述遮挡件（2）包括一块以上挡板（21），且所述遮挡件（2）包括多块挡板（21）时多块挡板（21）环绕竖直轴线间隔布置。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜室，其特征在于：所述挡板（21）为绕竖直轴线弯曲的弧形板。

9.根据权利要求7所述的真空镀膜室，其特征在于：所述挡板（21）以能绕转动座（31）转动轴线调整位置的可拆卸方式安装在转动座（31）上。

技术总结本发明公开了一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，镀膜腔室具有供产品进出的出入口和用于通入工艺气体的进气孔，镀膜腔室内设有用于遮挡进气孔的遮挡件和驱动遮挡件运动以调整遮挡位置的驱动装置，通过调整遮挡件的遮挡位置使遮挡件在遮挡进气孔和不遮挡进气孔的状态切换。该真空镀膜室具有使用灵活性高、可提高镀膜质量、结构简单、成本低、易于实施应用等优点。技术研发人员：黄乐,祝海生,唐莲,左莉,唐洪波,徐璐受保护的技术使用者：湘潭宏大真空技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14