含有氟系烃化合物的组合物的制作方法

本发明涉及氟系烃化合物的脱水方法。

背景技术：

1、二氟甲烷(hfc-32)等的氟系烃化合物作为半导体制造工艺中的蚀刻气体被广泛使用。

2、目前，hfc-32等氟系烃化合物通过使用a型沸石吸附水分来进行脱水(例如，专利文献1)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利第5446710号

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、本发明的目的在于提供一种对含有hfc-134a等氟系烃化合物的组合物进行脱水的方法。

3、用于解决技术问题的技术手段

4、本发明包括以下的构成。

5、项1.一种含有氟系烃化合物的组合物的脱水方法，其中，上述氟系烃化合物为选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种化合物，上述脱水方法包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与二氧化硅氧化铝(sio2/al2o3)比为5以上的沸石接触的工序。

6、项2.一种含有氟系烃化合物的组合物的脱水方法，其中，上述氟系烃化合物为选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种化合物，上述脱水方法包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与选自菱沸石型沸石、丝光沸石型沸石、β型沸石和y型沸石中的至少一种沸石接触的工序。

7、项3.如上述项1或2所述的脱水方法，其中，上述工序使脱水后的组合物的水分量低于3ppmwt。

8、项4.如上述项1～3中任一项所述的脱水方法，其还包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与上述沸石接触，除去1,1,2,2-四氟乙烷(hfc-134)的工序。

9、该脱水方法中，上述工序优选使脱水后的组合物中的hfc-134的含量低于3ppmwt。

10、另外，hfc-134的含量(ppm)例如为如下的值：采用气相色谱法，通过气相色谱/质谱分析法(gc/ms)进行质量分析，接着，使用nmr，利用nmr谱进行结构解析，由此进行测定的情况下，将含有氟系烃化合物的组合物所含的hfc-134的含量(体积)除以含有氟系烃化合物的组合物的体积得到的体积分率，即ppmvol(体积/体积)。

11、例如，换而言之，hfc-134的含量(ppm)低于3ppmvol。

12、项5.一种含有氟系烃化合物的组合物的制造方法，其中，上述氟系烃化合物为选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种化合物，上述制造方法包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与二氧化硅氧化铝(sio2/al2o3)比为5以上的沸石接触的工序。

13、项6.一种含有氟系烃化合物的组合物的制造方法，其中，上述氟系烃化合物为选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种化合物，上述制造方法包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与选自菱沸石型沸石、丝光沸石型沸石、β型沸石和y型沸石中的至少一种沸石接触的工序。

14、项7.如上述项5或6所述的制造方法，其中，与上述沸石接触后的组合物的水分量低于3ppmwt。

15、项8.如上述项5～7中任一项所述的制造方法，其还包括使上述含有氟系烃化合物的组合物与上述沸石接触，除去1,1,2,2-四氟乙烷(hfc-134)的工序。

16、该制造方法中，与上述沸石接触后的组合物优选hfc-134的含量低于3ppmwt。

17、项9.一种高纯度氟系烃化合物的制造方法，其特征在于，包括：使含有选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种氟系烃化合物的组合物与二氧化硅氧化铝(sio2/al2o3)比为5以上的沸石接触，除去该氟系烃化合物中所含的杂质的工序。

18、项10.一种高纯度氟系烃化合物的制造方法，其特征在于，包括：使含有选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种氟系烃化合物的组合物与选自菱沸石型沸石、丝光沸石型沸石、β型沸石和y型沸石中的至少一种沸石接触，除去该氟系烃化合物中所含的杂质的工序。

19、项11.如上述项9或10所述的脱水方法，其中，上述杂质为选自水和1,1,2,2-四氟乙烷(hfc-134)中的至少一种成分。

20、项12.如上述项9～11中任一项所述的制造方法，其中，除去上述杂质后的氟系烃化合物中所含的水分浓度为水分量低于3ppmwt。

21、该制造方法中，除去上述杂质后的氟系烃化合物中所含的hfc-134浓度优选为hfc-134的含量低于3ppmwt。

22、项13.一种含有氟系烃化合物的组合物，其中，上述氟系烃化合物包含选自1,1,1,2-四氟乙烷(hfc-134a)、1,1,1,2,2-五氟乙烷(hfc-125)、二氟甲烷(hfc-32)和2,3,3,3-四氟丙烯(hfo-1234yf)中的至少一种化合物，水分量低于3ppmwt或/和hfc-134的含量低于3ppmwt。

23、项14.如上述项13所述的组合物，其作为蚀刻气体、制冷剂、热传递介质、沉积气体、有机合成用砌块或清洁气体使用。

24、发明的效果

25、根据本发明，能够提供一种对含有hfc-134a等氟系烃化合物的组合物进行脱水的方法。

1.一种含有氟系烃化合物的组合物，其特征在于：

2.一种含有氟系烃化合物的组合物，其特征在于：

3.如权利要求1或2所述的组合物，其特征在于：