一种晶体生长炉炉压稳定装置的制作方法

本技术涉及晶体生长炉，尤其涉及一种晶体生长炉炉压稳定装置。

背景技术：

1、晶体生长方法及设备对制备出晶体的品质有至关重要的影响。常见的晶体生长方法有布里奇曼法、区域熔炼法、提拉法、热交换法、浇铸法等。当前实现大规模工业化生产的晶体主要为单晶硅、多晶硅，多晶硅铸锭炉的优化主要集中在铸锭炉尺寸的扩大及热场的优化设计，而当前热场的优化设计主要是从加热器形状、布置位置及保温隔热笼的优化设计等角度出发。

2、中国专利公开号cn219430188u，公开时间20230728，公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体，所述主炉体的内部固定连接有压力管，所述压力管的侧部固定连接有压力表，所述压力管的侧部固定连接有压力控制阀，所述压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管，所述净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环，所述净化管的顶端固定连接有导液管，所述净化管的底端侧部固定连接有筒盖，所述筒盖的底部固定连接有过滤筒，所述过滤筒的内部中部固定连接有过滤板，所述过滤板的内部固定连接有通气管，所述通气管的顶部固定连接有活性炭吸附板，所述活性炭吸附板的顶部固定连接有吸气管。

3、诸如上述现有的晶体生长炉炉压稳定装置是通过盖控制电机与盖轴的配合来实现盖体的翻转，从而实现主炉体的打开，在具体实施过程中，由于籽晶安装块需要延伸到反应坩埚内，翻转方式打开的盖体容易初选籽晶安装块与反应坩埚碰撞的状况，故而亟待提出相应的晶体生长炉炉压稳定装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种晶体生长炉炉压稳定装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体、盖体、净化组件与籽晶安装块，所述主炉体底部固定安装有底板，所述盖体顶部通过顶架固定安装有推动缸，所述推动缸输出端固定安装有转动件，且所述转动件输出端与籽晶安装块固定连接，所述主炉体外表壁固定安装有侧座，所述侧座与盖体之间设置有用于盖体竖直移动的开启组件。

4、优选地，所述侧座外表壁固定安装有连接架，所述连接架呈t型结构，且所述连接架通过锁紧杆与主炉体固定连接，所述连接架内部过盈配合有橡胶块，所述橡胶块与锁紧杆外表壁相抵接。

5、优选地，所述开启组件包括有与侧座底部固定连接的驱动件，所述驱动件输出端固定安装有螺杆，所述螺杆外表壁旋合连接有与侧座内表壁滑动配合的移动座，且所述移动座开放端与盖体外表壁固定连接。

6、优选地，所述侧座底部固定安装有底架，且所述底架底部与底板底部位于同一水平面。

7、优选地，所述盖体竖直端底部固定安装有插环，所插环通过卡槽插接在主炉体顶部，且所述卡槽内部填充有密封垫圈。

8、优选地，所述转动件外表壁固定安装有滑套，且所述滑套内表壁与顶架竖直端外表壁滑动连接。

9、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

10、1、本申请中，将反应物放置于反应坩埚的内部，将籽晶固定于籽晶安装块的侧部，驱动件带动传动杆转动，传动杆通过与移动座的旋合而带动移动座与盖体进行竖直移动，直至盖体与主炉体稳定结合，气体通过净化组件完成净化之后导入到主炉体，在通过推动缸转动件下行，直至籽晶安装块伸入到反应坩埚，最后通过转动件带动籽晶安装块转动，使晶体成柱状生长，以此保证了反应过程稳定进行的同时，通过外设的驱动件配合上螺杆与移动座实现盖体的竖直打开，避免了籽晶安装块与反应坩埚的碰撞，从而提高了晶体生长炉炉压稳定装置使用的稳定性。

11、2、本申请中，侧座是通过连接架与锁紧杆的配合实现与主炉体的固定，以此实现了侧座与主炉体的可拆卸连接，从而使得侧座拆装的便捷，同时侧座底部固定连接的底架保持与底板底部位于同一水平面，以此使得主炉体整体受力均匀。

技术特征：

1.一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体(1)、盖体(3)、净化组件(4)与籽晶安装块(18)，其特征在于，所述主炉体(1)底部固定安装有底板(2)，所述盖体(3)顶部通过顶架(9)固定安装有推动缸(10)，所述推动缸(10)输出端固定安装有转动件(11)，且所述转动件(11)输出端与籽晶安装块(18)固定连接，所述主炉体(1)外表壁固定安装有侧座(5)，所述侧座(5)与盖体(3)之间设置有用于盖体(3)竖直移动的开启组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述侧座(5)外表壁固定安装有连接架(7)，所述连接架(7)呈t型结构，且所述连接架(7)通过锁紧杆(13)与主炉体(1)固定连接，所述连接架(7)内部过盈配合有橡胶块(14)，所述橡胶块(14)与锁紧杆(13)外表壁相抵接。

3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述开启组件包括有与侧座(5)底部固定连接的驱动件(12)，所述驱动件(12)输出端固定安装有螺杆(15)，所述螺杆(15)外表壁旋合连接有与侧座(5)内表壁滑动配合的移动座(8)，且所述移动座(8)开放端与盖体(3)外表壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述侧座(5)底部固定安装有底架(6)，且所述底架(6)底部与底板(2)底部位于同一水平面。

5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述盖体(3)竖直端底部固定安装有插环(17)，所插环(17)通过卡槽插接在主炉体(1)顶部，且所述卡槽内部填充有密封垫圈(16)。

6.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述转动件(11)外表壁固定安装有滑套，且所述滑套内表壁与顶架(9)竖直端外表壁滑动连接。

技术总结本技术公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体、盖体、净化组件与籽晶安装块。本申请中，将籽晶固定于籽晶安装块的侧部，驱动件带动传动杆转动，传动杆通过与移动座的旋合而带动移动座与盖体进行竖直移动，直至盖体与主炉体稳定结合，气体通过净化组件完成净化之后导入到主炉体，在通过推动缸转动件下行，直至籽晶安装块伸入到反应坩埚，最后通过转动件带动籽晶安装块转动，使晶体成柱状生长，以此保证了反应过程稳定进行的同时，通过外设的驱动件配合上螺杆与移动座实现盖体的竖直打开，避免了籽晶安装块与反应坩埚的碰撞，从而提高了晶体生长炉炉压稳定装置使用的稳定性。技术研发人员：孙志刚,毛克勤受保护的技术使用者：宁波志方新材料有限公司技术研发日：20240218技术公布日：2024/11/21