激光调整方法及激光加工装置与流程

本公开关于一种激光调整方法及激光加工装置。

背景技术：

1、在专利文献1，记载有一种激光切割装置。该激光切割装置具备：载物台，其使晶圆移动；激光头，其对晶圆照射激光；及控制部，其进行各部的控制。激光头具有：激光源，其出射用以在晶圆的内部形成改质区域的加工用激光；分色镜及聚光透镜，其依序配置于加工用激光的光路上；及af(automatic focus：自动聚焦)装置。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、专利文献1：日本专利第5743123号

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、然而，对晶圆照射激光且在晶圆的内部形成改质区域的情形时，有照射至加工对象物的激光中不由入射面反射且不由加工对象物吸收，另外无助于加工对象物的改质的光，到达与加工对象物的入射面成相反的面的情形(有产生所谓泄漏光的情形)。该泄漏光有成为形成于与晶圆的激光入射面成相反侧的面的器件等损伤的原因的担忧。在有多台装置的情形时，因在每个装置中该泄漏光的损伤偏差，故加工结果也可能产生偏差。

3、本公开的目的在于提供一种可抑制加工结果的偏差的激光调整方法及激光加工装置。

4、[解决问题的技术手段]

5、本公开的激光调整方法具备：第1准备步骤，其取得包含通过第1激光向包含第1晶圆与设置于第1晶圆的第1膜的第1膜晶圆的照射而形成于该第1膜的第1损伤的影像的图像，作为第1损伤图像；第2准备步骤，其准备包含第2晶圆与设置于第2晶圆的第2膜的第2膜晶圆；加工步骤，其通过在第1准备步骤及第2准备步骤之后，对第2膜晶圆照射第2激光，而在该第2膜形成第2损伤；摄像步骤，其在加工步骤之后，拍摄第2膜，由此取得包含第2损伤的影像的图像，作为第2损伤图像；及调整步骤，其在摄像步骤之后，以第2损伤图像所包含的第2损伤的影像接近第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的方式，调整赋予第2激光的像差。

6、本公开的激光加工装置具备：支承部，其用于支承对象物；激光照射部，其用于对支承部所支承的对象物照射激光；摄像部，其用于拍摄对象物；保持部，其用于保持图像；及控制部，其用于至少控制激光照射部及摄像部；且激光照射部包含用于根据调制图案调制并出射激光的空间光调制器；保持部保持包含通过第1激光向包含第1晶圆与设置于第1晶圆的第1膜的第1膜晶圆的照射而形成于该第1膜的第1损伤的影像的图像，作为第1损伤图像；控制部执行如下处理：加工处理，其在包含第2晶圆与设置于第2晶圆的第2膜的第2膜晶圆作为对象物受支承部支承的状态下，通过激光照射部的控制对第2膜晶圆照射第2激光；摄像处理，其通过在加工处理之后，通过摄像部的控制拍摄第2膜，而取得包含通过第2激光的照射形成于第2膜的第2损伤的影像的图像，作为第2损伤图像；及调整处理，其以第2损伤图像所包含的第2损伤的影像接近第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的方式，调整调制图案，由此调整赋予第2激光的像差。

7、在这些方法及装置中，准备包含成为调整的基准的第1膜晶圆的第1膜所形成的第1损伤的影像的图像，作为第1损伤图像。另一方面，对第2膜晶圆照射第2激光形成第2损伤，且通过拍摄该第2膜取得包含第2损伤的影像的第2损伤图像。且，以第2损伤图像所包含的第2损伤的影像接近第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的方式，调整赋予第2激光的像差。由此，第2膜晶圆的第2膜所产生的损伤接近第1膜晶圆的第1膜所产生的损伤。其结果，即使在有多台装置的情形时，也通过跨及多台装置进行使用第1损伤图像作为基准的同样的调整，抑制多台装置之间的加工结果的偏差(机差)。另，如以上所示，通过使用在晶圆的一面形成膜的膜晶圆，将实际的晶圆的加工时因激光的泄漏光而可能产生于器件的损伤可视化，并可利用于激光的调整。

8、在本公开的激光调整方法中，具备在摄像步骤之后，显示第1损伤图像及第2损伤图像的显示步骤，在调整步骤中，显示步骤之后，也可基于第2损伤图像所包含的第2损伤的影像与第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的比较结果，以第2损伤的影像接近第1损伤的影像的方式，调整赋予第2激光的像差。如此，通过进行图像的显示及比较，可以第2损伤接近第1损伤的方式容易且确实地调整像差。

9、在本公开的激光调整方法中，可在调整步骤中，调整赋予第2激光的彗形像差。如此，在抑制加工结果的偏差时，也可调整赋予激光的彗形像差。

10、在本公开的激光调整方法中，在第1准备步骤中，进而取得包含通过自与第1晶圆的第1膜成相反侧的面侧对第1晶圆照射第1激光而形成于第1晶圆的第1加工痕的影像的图像，作为第1加工图像；第1损伤图像包含通过形成第1加工图像所包含的第1加工痕时的第1激光的泄漏光而形成的第1损伤的影像；在加工步骤中，通过自与第2晶圆的第2膜成相反侧的面侧对第2晶圆照射第2激光而在第2晶圆形成第2加工痕，且通过第2激光的泄漏光在第2膜形成第2损伤；在摄像步骤中，通过拍摄第2晶圆，取得包含第2加工痕的影像的图像，作为第2加工图像；且在调整步骤中，也可以第2加工图像所包含的第2加工痕的影像的位置与第2损伤图像所包含的第2损伤的影像的中心位置的偏离的量及方向的各个，接近第1加工图像所包含的第1加工痕的影像的位置与第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的中心位置的偏离的量及方向的各个的方式，调整赋予第2激光的彗形像差。在该情形时，第2晶圆所产生的加工痕与第2膜所产生的损伤的偏离的量及方向的各个接近成为基准的第1膜晶圆。其结果，可确实地抑制加工结果的偏差。

11、在本公开的激光调整方法中，可在调整步骤中，调整赋予第2激光的散光像差。如此，也可在抑制加工结果的偏差时，调整赋予激光的散光像差。

12、在本公开的激光调整方法中，也可在第1准备步骤中，进而取得第1损伤图像所包含的第1损伤的影像相对于基准方向的角度即第1角度、与第1损伤的影像的椭圆率即第1椭圆率，且在调整步骤中，以第2损伤图像所包含的第2损伤的影像相对于基准方向的角度即第2角度、及第2损伤的影像的椭圆率即第2椭圆率的各个，接近第1角度及第1椭圆率的各个的方式，调整赋予第2激光的散光像差。在该情形时，第2膜所产生的损伤向基准方向的角度与椭圆率的各个接近成为基准的第1膜。其结果，可确实地抑制加工结果的偏差。

13、在本公开的激光调整方法中，可在调整步骤中，调整赋予第2激光的球面像差。如此，在抑制加工结果的偏差时，也可调整赋予激光的球面像差。

14、在本公开的激光调整方法中，也可在加工步骤中，使赋予第2激光的球面像差不同且对第2膜进行多次第2激光的照射，由此在该第2膜形成多个第2损伤，在摄像步骤中，通过拍摄第2膜，取得包含多个第2损伤的影像的第2损伤图像，且在调整步骤中，以第2损伤图像所包含的多个第2损伤的影像中，形成相对接近第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的第2损伤时的球面像差赋予第2激光的方式，调整赋予至第2激光的像差。在该情形时，可以第2膜晶圆的第2膜所产生的损伤更确实地接近第1膜晶圆的第1膜所产生的损伤的方式调整像差。

15、在本公开的激光调整方法中，可在调整步骤中，调整赋予第2激光的三叉像差(trefoil)。如此，在抑制加工结果的偏差时，也可调整赋予激光的三叉像差。

16、在本公开的激光调整方法中，也可在加工步骤中，使赋予第2激光的三叉像差不同且对第2膜进行多次第2激光的照射，由此于该第2膜形成多个第2损伤，在摄像步骤中，通过拍摄第2膜，取得包含多个第2损伤的影像的第2损伤图像，且在调整步骤中，以第2损伤图像所包含的多个第2损伤的影像中，形成相对接近第1损伤图像所包含的第1损伤的影像的第2损伤时的三叉像差赋予第2激光的方式调整赋予第2激光的像差。在该情形时，可以第2膜晶圆的第2膜所产生的损伤更确实地接近第1膜晶圆的第1膜所产生的损伤的方式调整像差。

17、在本公开的激光调整方法中，也可为第2激光通过显示于空间光调制器的调制图案接受调制，在调整步骤中，通过调整调制图案调整赋予第2激光的像差。如此，可使用空间光调制器调整赋予激光的像差。

18、[发明的效果]

19、根据本公开，可提供一种可抑制加工结果的偏差的激光调整方法及激光加工装置。