用于PVD溅射腔室的可偏压式通量优化器/准直器的制作方法

本公开内容的实施方式一般地涉及一种用于将材料均匀溅射沉积到基板上的高深宽比特征的底部和侧壁中的装置和方法。

背景技术：

1、以可靠的方式产生亚半微米(sub-half micron)和更小的特征是半导体器件的下一代甚大规模集成(vlsi)和超大规模集成(ulsi)的关键技术挑战之一。然而，随着电路技术不断地最小化，vlsi和ulsi技术中不断收缩尺寸的互连件已经对处理能力有额外的需求。例如，随着下一代器件的电路密度的增加，互连件(诸如通孔、沟槽、触点、栅极结构和其它特征、以及在它们之间的介电材料)的宽度减小，而电介质层的厚度保持基本上恒定，由此特征的深宽比增加。

2、溅射(也称物理气相沉积(pvd))广泛用来在集成电路中沉积金属特征。溅射用于沉积用作扩散阻挡层、种晶层、主要导体、抗反射涂层和蚀刻停止层的层。源材料(诸如靶)被通过电场强烈加速的离子轰击。轰击使材料从靶射出，并且材料随后沉积在基板上。在沉积过程中，射出的颗粒可沿不同方向行进，而非大体上正交于基板表面，这造成了在基板中的高深宽比特征的拐角上形成的突悬结构。突悬可不利地造成形成在沉积材料内的孔洞或空隙，从而造成所形成特征的导电性减小。高深宽比几何形状更难实现无空隙的填充。

3、一种已发展成允许使用溅射在高深宽比特征底部中沉积薄膜的技术是准直器溅射。准直器是定位在溅射源与基板之间的过滤板。准直器通常具有均匀厚度，并且包括形成为穿过厚度的多个通道。溅射材料在准直器的从溅射源到基板的路径上穿过准直器。准直器会滤出或收集本将以超过期望角度的锐角来撞击工件的材料。

4、通过给定的准直器来完成的材料过滤的实际量是取决于穿过准直器的孔隙的深宽比。材料(诸如沿近似于垂直于基板的路径来行进的颗粒)穿过准直器，并且沉积在基板上。这允许了在高深宽比特征底部中实现改进的覆盖。然而，在使用通常具有整体上六边形的形状的现有技术准直器时存在某些问题。不利的是，带现有技术准直器的pvd腔室经常发生单元堵塞，并且由于六边形准直器的拐角的遮挡而在基板边缘附近留下六点沉积。

5、因此，需要提高通过pvd技术在基板上沉积源材料的均匀性。

技术实现思路

1、本公开内容的实施方式一般地涉及一种用于将材料均匀溅射沉积到基板上的高深宽比特征的底部和侧壁中的装置和方法。在一个实施方式中，提供一种准直器。所述准直器包括：主体，所述主体具有中心区域；周边区域；和过渡区域，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。所述准直器具有：第一多个孔隙，所述第一多个孔隙在所述中心区域中，具有第一深宽比；第二多个孔隙，所述第二多个孔隙在所述周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及第三多个孔隙，所述第三多个孔隙在所述过渡区域中。所述第三多个孔隙被切割成使得所述过渡区域形成将所述中心区域包围的圆锥形状。所述第一多个孔隙、所述第二多个孔隙和所述第三多个孔隙的上部部分包括入口角部分。

2、在另一个实施方式中，提供一种准直器。所述准直器包括蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁。所述六边形孔隙包括：第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分。

3、在又一个实施方式中，提供一种用于将溅射靶包围的准直器组件。所述准直器组件包括遮蔽部分，所述遮蔽部分耦接于准直器部分。所述准直器部分包括：主体，所述主体具有中心区域；周边区域；和过渡区域，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。所述中心区域具有第一多个孔隙，所述第一多个孔隙在所述中心区域中，具有第一深宽比。所述周边区域具有第二多个孔隙，所述第二多孔隙具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比。所述过渡区域具有第三多个孔隙，所述第三多个孔隙在所述过渡区域中，其中所述第三多个孔隙被切割成使得所述过渡区域形成将所述中心区域包围的圆锥形状。所述遮蔽部分包括：顶环；支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸。所述圆柱形带具有：第一竖直或是基本竖直部分；径向向内倾斜部分，所述径向向内倾斜部分是从所述第一竖直或是基本竖直部分向下延伸；以及第二竖直或是基本竖直部分，所述第二竖直或是基本竖直部分是从所述径向向内倾斜部分向下延伸，其中所述径向向内倾斜部分跨所述周边区域中的所述第二多个孔隙的一部分来延伸。

4、在又一个实施方式中，提供一种用于将溅射靶包围的准直器组件。所述准直器组件包括遮蔽部分，所述遮蔽部分耦接于准直器部分。所述准直器部分包括蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁。所述六边形孔隙包括：第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分。所述遮蔽部分包括：顶环；支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸到所述蜂巢状结构下方的某个高度处。

5、在又一个实施方式中，提供一种基板处理腔室。所述基板处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体限定内部容积；溅射靶，所述溅射靶被设置在所述内部容积的上部部分中；基板支撑件，所述基板支撑件被设置在所述溅射靶下方；以及准直器组件，所述准直器组件用于包围所述溅射靶。遮蔽件包括遮蔽部分，所述遮蔽部分耦接于准直器部分。所述准直器部分包括：主体，所述主体具有中心区域；周边区域；和过渡区域，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。所述中心区域具有第一多个孔隙，所述第一多个孔隙在所述中心区域中，具有第一深宽比。所述周边区域具有第二多个孔隙，所述第二多孔隙具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比。所述过渡区域具有第三多个孔隙，所述第三多个孔隙在所述过渡区域中，其中所述第三多个孔隙被切割成使得所述过渡区域形成将所述中心区域包围的圆锥形状。所述遮蔽部分包括：顶环；支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸。所述圆柱形带具有：第一竖直或是基本竖直部分；径向向内倾斜部分，所述径向向内倾斜部分是从所述第一竖直或是基本竖直部分向下延伸；以及第二竖直或是基本竖直部分，所述第二竖直或是基本竖直部分是从所述径向向内倾斜部分向下延伸，其中所述径向向内倾斜部分跨所述周边区域中的所述第二多个孔隙的一部分来延伸。

6、在又一个实施方式中，提供一种基板处理腔室。所述基板处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体限定内部容积；溅射靶，所述溅射靶被设置在所述内部容积的上部部分中；基板支撑件，所述基板支撑件被设置在所述溅射靶下方；以及准直器组件，所述准直器组件用于包围所述溅射靶。所述准直器组件包括遮蔽部分，所述遮蔽部分耦接于准直器部分。所述准直器部分包括蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁。所述六边形孔隙包括：第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间。限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分。所述遮蔽部分包括：顶环；支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸到所述蜂巢状结构下方的某个高度处。