晶体磨具的制作方法

本申请涉及晶体加工设备领域，具体而言，涉及一种晶体磨具。

背景技术：

1、目前，碳化硅晶体需要磨具进行打磨，减少表面瑕疵，以使其接近标准圆。但是目前的磨具多为一体式，当刀片损坏或变钝后，需要整体更换，导致成本较高。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种晶体磨具，其刀头是可拆卸式，能够降低晶体磨具的使用成本。

2、本申请的实施例是这样实现的：

3、本申请提供一种晶体磨具，包括安装座和多个刀头，多个所述刀头在所述安装座上围绕旋转轴线沿圆周方向间隔设置，所述刀头与所述安装座可拆卸地连接，各个所述刀头径向朝内的一侧具有打磨面。

4、在可选的实施方式中，所述安装座上设置有螺孔，所述刀头通过螺钉固定于所述螺孔。

5、在可选的实施方式中，所述安装座为圆盘状，各个所述刀头连接于所述安装座的外周侧。

6、在可选的实施方式中，所述安装座的外周侧设置有多个安装槽，各个所述安装槽的至少一端沿所述旋转轴线的延伸方向贯穿所述安装座，所述刀头一一对应地嵌设于所述安装槽内，所述刀头具有所述打磨面的一端沿所述旋转轴线的延伸方向伸出所述安装槽。

7、在可选的实施方式中，所述安装槽内设置定位销，所述定位销沿所述安装座的径向延伸，所述刀头设置有定位孔，所述定位孔与所述定位销插接配合。

8、在可选的实施方式中，每个所述安装槽内设置有两个所述定位销，两个所述定位销沿所述安装座的周向间隔设置。

9、在可选的实施方式中，所述安装座上设置有螺孔，所述刀头通过螺钉固定于所述螺孔，所述螺孔设置于两个所述定位销之间。

10、在可选的实施方式中，所述打磨面包括直面和斜面，所述直面和所述斜面在所述旋转轴线的延伸方向上相连，所述斜面的一端连接于所述直面远离所述安装座的一端，所述斜面的另一端延伸至所述刀头的前端，所述直面平行于所述旋转轴线，所述斜面与所述旋转轴线呈2°～5°倾角。

11、在可选的实施方式中，所述刀头包括安装部和刃片，所述安装部与所述刃片在所述旋转轴线的延伸方向上相连，所述安装部连接于所述安装座，所述刃片径向朝内的一侧形成所述打磨面，所述刃片的材质为聚晶金刚石或树脂金刚石。

12、在可选的实施方式中，所述安装座上设置有连接部，所述连接部用于与驱动机构传动连接。

13、本申请实施例的有益效果是：

14、本申请实施例的晶体磨具包括安装座和多个刀头。多个刀头在安装座上围绕旋转轴线沿圆周方向间隔设置，刀头与安装座可拆卸地连接，各个刀头径向朝内的一侧具有打磨面。通过转动安装座，能够使多个刀头绕旋转轴线做圆周运动，刀头内侧的打磨面能够对晶体的边缘进行打磨，减少晶体表面瑕疵，使其更接近标准圆。当刀头变钝或者损坏后，可以将刀头拆卸下来更换新的刀头，而无需对晶体磨具进行整体更换，因此使用成本较低。

技术特征：

1.一种晶体磨具，其特征在于，包括安装座(100)和多个刀头(200)，多个所述刀头(200)在所述安装座(100)上围绕旋转轴线沿圆周方向间隔设置，所述刀头(200)与所述安装座(100)可拆卸地连接，各个所述刀头(200)径向朝内的一侧具有打磨面(221)；

2.根据权利要求1所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装座(100)上设置有螺孔(111)，所述刀头(200)通过螺钉(300)固定于所述螺孔(111)。

3.根据权利要求1所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装座(100)为圆盘状，各个所述刀头(200)连接于所述安装座(100)的外周侧。

4.根据权利要求3所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装座(100)的外周侧设置有多个安装槽(110)，各个所述安装槽(110)的至少一端沿所述旋转轴线的延伸方向贯穿所述安装座(100)，所述刀头(200)一一对应地嵌设于所述安装槽(110)内，所述刀头(200)具有所述打磨面(221)的一端沿所述旋转轴线的延伸方向伸出所述安装槽(110)。

5.根据权利要求4所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装槽(110)内设置定位销(112)，所述定位销(112)沿所述安装座(100)的径向延伸，所述刀头(200)设置有定位孔，所述定位孔与所述定位销(112)插接配合。

6.根据权利要求5所述的晶体磨具，其特征在于，每个所述安装槽(110)内设置有两个所述定位销(112)，两个所述定位销(112)沿所述安装座(100)的周向间隔设置。

7.根据权利要求6所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装座(100)上设置有螺孔(111)，所述刀头(200)通过螺钉(300)固定于所述螺孔(111)，所述螺孔(111)设置于两个所述定位销(112)之间。

8.根据权利要求1所述的晶体磨具，其特征在于，所述打磨面(221)包括直面(222)和斜面(223)，所述直面(222)和所述斜面(223)在所述旋转轴线的延伸方向上相连，所述斜面(223)的一端连接于所述直面(222)远离所述安装座(100)的一端，所述斜面(223)的另一端延伸至所述刀头(200)的前端，所述直面(222)平行于所述旋转轴线，所述斜面(223)与所述旋转轴线呈2°～5°倾角。

9.根据权利要求1所述的晶体磨具，其特征在于，所述安装座(100)上设置有连接部(120)，所述连接部(120)用于与驱动机构传动连接。

技术总结本申请公开了一种晶体磨具，涉及晶体加工设备领域。本申请的晶体磨具包括安装座和多个刀头。多个刀头在安装座上围绕旋转轴线沿圆周方向间隔设置，刀头与安装座可拆卸地连接，各个刀头径向朝内的一侧具有打磨面。通过转动安装座，能够使多个刀头绕旋转轴线做圆周运动，刀头内侧的打磨面能够对晶体的边缘进行打磨，减少晶体表面瑕疵，使其更接近标准圆。当刀头变钝或者损坏后，可以将刀头拆卸下来更换新的刀头，而无需对晶体磨具进行整体更换，因此使用成本较低。技术研发人员：廖建成受保护的技术使用者：通威微电子有限公司技术研发日：20230804技术公布日：2024/6/11