蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统的制作方法

本发明涉及蒸发镀膜，特别是涉及一种蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统。

背景技术：

1、有机发光二极管器件(oled)较传统的液晶显示器件(lcd)相比，具有自发光、轻薄、对比度高、视角广、色彩艳丽等特点。此外，oled器件厚度远小于lcd器件厚度，可制成弯折、曲面、卷曲等多种形态，突破屏幕的传统形式，广泛应用于穿戴设备；在硅基oled行业中，经常使用到点蒸发源，对硅基或者玻璃基的产品进行镀膜，每个腔室使用到的点蒸发源通常位置固定不动，通过控制工件旋转，实现对工件的镀膜，但是仅通过控制工件旋转，仍可能存在镀膜不均匀的情形，不便于进行控制，灵活性较差。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统，以解决上述现有技术存在的问题，便于对蒸发镀膜过程进行控制，有助于提升镀膜效果。

2、为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

3、本发明提供一种蒸发镀膜装置，包括蒸发组件、探测组件及第一旋转机构；蒸发组件用于设置于工件下方，用于对镀膜材料进行加热蒸发；探测组件固定设置于所述蒸发组件上，所述探测组件用于探测所述镀膜材料的蒸发速率；第一旋转机构与所述蒸发组件连接，所述第一旋转机构用于驱动所述蒸发组件和所述探测组件同步绕一轴线相对于所述工件旋转。

4、优选地，所述蒸发组件用于靠近所述工件的周向边缘设置；所述蒸发组件包括支撑壳和多个蒸发源，所述支撑壳内具有蒸发腔，所述支撑壳上侧面和靠近所述工件轴线的一周侧面设置为连通所述蒸发腔的开口；多个所述蒸发源设置于所述蒸发腔底部，所述探测组件固定设置于所述蒸发腔侧壁并置于所述蒸发源上方；所述支撑壳底壁与所述第一旋转机构固定连接。

5、优选地，还包括调节组件，所述调节组件设置于所述蒸发腔内，所述调节组件与所述蒸发源固定连接，并用于调节所述蒸发源在竖向上的倾斜角度。

6、优选地，所述调节组件包括的多个伸缩机构，各所述蒸发源活动设置于所述蒸发腔底部，且所述蒸发源沿周向设置有多个所述伸缩机构，所述伸缩机构用于调整自身长度以调整对应所述蒸发源在竖向上的倾斜角度。

7、优选地，所述探测组件包括至少一个晶振探测器。

8、优选地，所述第一旋转机构包括设置于所述工件正下方的第一驱动齿轮和第一周向导轨，所述第一周向导轨同轴套设于所述第一驱动齿轮外周，所述蒸发组件滑动设置于所述周向导轨上并与所述第一驱动齿轮固定连接；所述第一驱动齿轮用于在外部驱动的作用下旋转，并驱动所述蒸发组件在所述第一周向导轨的导向下旋转。

9、优选地，所述第一旋转机构包括第二驱动齿轮和传动齿轮，所述传动齿轮设置于所述工件正下方，所述第二驱动齿轮与所述传动齿轮外周啮合连接，所述蒸发组件固定设置于所述传动齿轮上；所述第二驱动齿轮用于在外部驱动的作用下旋转，并驱动所述传动齿轮带动所述蒸发组件旋转。

10、优选地，所述第一旋转机构包括设置于所述工件正下方的摆臂机构和第二周向导轨，所述第二周向导轨同轴套设于所述摆臂机构外周，所述蒸发组件滑动设置于所述第二周向导轨上，且所述摆臂机构的活动端与所述蒸发组件连接，所述摆臂机构用于驱动所述蒸发组件所述第二周向导轨的导向下旋转。

11、本发明还提供一种蒸发镀膜系统，包括：第二旋转机构，所述第二旋转机构用于固定工件，并驱动所述工件旋转；及如上所述的蒸发镀膜装置；所述蒸发镀膜装置设置于所述工件正下方。

12、本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

13、本发明提供的蒸发镀膜装置，通过第一旋转机构驱动蒸发组件绕一轴线在工件下方相对于工件旋转，使镀膜材料能够均匀蒸发至工件上，配合工件在第二旋转机构作用下的自身旋转，使蒸发组件和工件均能够旋转，此外，由于探测组件固定设置于蒸发组件上并随蒸发组件同步旋转，配合探测组件能够监测蒸发组件上镀膜材料的蒸发速率，能够根据蒸发速率能够调控蒸发组件的旋转速率以及工件的旋转速率，便于对镀膜过程进行控制以提升工件的镀膜效果。

14、本发明提供的蒸发镀膜系统，通过第一旋转机构驱动蒸发组件绕一轴线在工件下方相对于工件旋转，使镀膜材料能够均匀蒸发至工件上，配合工件在第二旋转机构作用下的自身旋转，配合探测组件能够监测蒸发组件上镀膜材料的蒸发速率，能够根据蒸发速率能够调控蒸发组件的旋转速率以及工件的旋转速率，便于对镀膜过程进行控制以提升工件的镀膜效果。

技术特征：

1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述蒸发组件(10)用于靠近所述工件(200)的周向边缘设置；所述蒸发组件(10)包括支撑壳(11)和多个蒸发源(12)，所述支撑壳(11)内具有蒸发腔(13)，所述支撑壳(11)上侧面和靠近所述工件(200)轴线的一周侧面设置为连通所述蒸发腔(13)的开口；多个所述蒸发源(12)设置于所述蒸发腔(13)底部，所述探测组件(20)固定设置于所述蒸发腔(13)侧壁并置于所述蒸发源(12)上方；所述支撑壳(11)底壁与所述第一旋转机构(30)连接。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：还包括调节组件(40)，所述调节组件(40)设置于所述蒸发腔(13)内，所述调节组件(40)与所述蒸发源(12)固定连接，并用于调节所述蒸发源(12)在竖向上的倾斜角度。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述调节组件(40)包括的多个伸缩机构(41)，各所述蒸发源(12)活动设置于所述蒸发腔(13)底部，且所述蒸发源(12)沿周向设置有多个所述伸缩机构(41)，所述伸缩机构(41)用于调整自身长度以调整对应所述蒸发源(12)在竖向上的倾斜角度。

5.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述探测组件(20)包括至少一个晶振探测器。

6.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述第一旋转机构(30)包括设置于所述工件(200)正下方的第一驱动齿轮(31)和第一周向导轨(32)，所述第一周向导轨(32)同轴套设于所述第一驱动齿轮(31)外周，所述蒸发组件(10)滑动设置于所述第一周向导轨(32)上并与所述第一驱动齿轮(31)固定连接；所述第一驱动齿轮(31)用于在外部驱动的作用下旋转，并驱动所述蒸发组件(10)在所述第一周向导轨(32)的导向下旋转。

7.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述第一旋转机构(30)包括第二驱动齿轮(33)和传动齿轮(34)，所述传动齿轮(34)设置于所述工件(200)正下方，所述第二驱动齿轮(33)与所述传动齿轮(34)外周啮合连接，所述蒸发组件(10)固定设置于所述传动齿轮(34)上；所述第二驱动齿轮(33)用于在外部驱动的作用下旋转，并驱动所述传动齿轮(34)带动所述蒸发组件(10)旋转。

8.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述第一旋转机构(30)包括设置于所述工件(200)正下方的摆臂机构(35)和第二周向导轨(36)，所述第二周向导轨(36)同轴套设于所述摆臂机构(35)外周，所述蒸发组件(10)滑动设置于所述第二周向导轨(36)上，且所述摆臂机构(35)的活动端与所述蒸发组件(10)连接，所述摆臂机构(35)用于驱动所述蒸发组件(10)所述第二周向导轨(36)的导向下旋转。

9.一种蒸发镀膜系统，其特征在于：包括：第二旋转机构(100)，所述第二旋转机构用于固定工件(200)，并驱动所述工件(200)旋转；及

技术总结本发明公开了一种蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统，涉及蒸发镀膜技术领域，包括蒸发组件、探测组件及第一旋转机构；蒸发组件用于设置于工件下方，用于对镀膜材料进行加热蒸发；探测组件固定设置于蒸发组件上，探测组件用于探测镀膜材料的蒸发速率；第一旋转机构与蒸发组件连接，第一旋转机构用于驱动蒸发组件和探测组件同步绕一轴线相对于工件旋转。本发明提供的蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统，便于对蒸发镀膜过程进行控制，有助于提升镀膜效果。技术研发人员：陆鹏,吴迪,王健波,吴远武,汪林冲受保护的技术使用者：湖畔光电科技（江苏）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/11