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一种音叉晶片的腐蚀设备的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 12:38:33

本申请涉及腐蚀设备的,尤其是涉及一种音叉晶片的腐蚀设备。

背景技术:

1、音叉片具有体积小、成本低、功耗小、可靠性高、抗过载能力强以及可批量生产等优点,使其适用于战术武器指导、微小卫星姿态控制、微小飞行器导航、作战平台稳定控制及微小型机器人等军事领域,又可广泛应用于汽车稳定控制系统、相机防抖系统、医疗仪器、运动机械及玩具等民用领域。

2、目前,申请号为2010106173222的中国专利公开了一种石英音叉的加工方法,加工步骤如下,1、原料片研磨,将原料片研磨至一定厚度;2、抛光,将研磨完成的原料片表面抛光处理,使其成为镜面;3、涂胶光刻,在原料片上涂上光刻胶,利用光刻技术使光刻胶形成音叉的形状;4、腐蚀,将光刻后的原料片放入腐蚀液中;5、清洗,洗去表面残留的光刻胶。

3、上述加工方法可以实现石英音叉的生产,但上述步骤4中原料片放入腐蚀液中进行腐蚀时,将原料片放入盛放容器中,将盛放容器浸入到腐蚀液中,进而通过人工摇晃盛放容器完成原料片腐蚀的过程,这样造成生产效率较低,因此存在一定的改进之处。

技术实现思路

1、为了提高生产效率,本申请提供一种音叉晶片的腐蚀设备。

2、本申请提供的一种音叉晶片的腐蚀设备采用如下的技术方案:

3、一种音叉晶片的腐蚀设备,包括机架、以及设置在所述机架中的盛放仓,所述盛放仓中放置有腐蚀桶,所述腐蚀桶内放置有晶片盛放桶,所述腐蚀桶内设有腐蚀液,所述晶片盛放桶内腔与所述腐蚀桶内腔相互流通,所述机架上设置有用于驱使所述晶片盛放桶晃动的驱动组件。

4、可选的,所述晶片盛放桶包括盛放桶体和晶片盛放架,所述盛放桶体的内腔与所述腐蚀桶内腔相互流通,所述晶片盛放架固定在所述盛放桶体内,所述晶片盛放架上设置有多个晶片插槽,所述驱动组件连接在所述晶片盛放架上。

5、可选的,所述盛放桶体的桶底设置有连通口,所述连通口上设有过滤网组件。

6、可选的,所述过滤网组件包括连接套和过滤网布,所述连接套可拆卸连接在所述盛放桶体的连通口上,所述连接套轴向贯通,所述过滤网布覆盖在所述连接套上。

7、可选的,所述连接套通过连接螺栓可拆卸连接在所述盛放桶体上。

8、可选的,所述晶片盛放架通过锁紧螺栓固定在所述盛放桶体上,所述晶片盛放架上设置有供所述驱动组件连接的连接把手。

9、可选的,所述驱动组件包括设置在所述机架上的驱动支撑架,所述驱动支撑架上沿竖直方向滑动安装有驱动支撑板,所述驱动支撑板上固定有第一驱动电机,所述第一驱动电机的输出轴上连接有驱动轴,所述驱动轴伸入到中所述盛放仓以连接在所述晶片盛放桶上,所述驱动支撑架上设置有用于驱使所述驱动支撑板上下移动的驱动部。

10、可选的,所述驱动部包括固定在所述驱动支撑架上的第二驱动电机,所述第二驱动电机的输出轴上连接有驱动丝杆,所述驱动丝杆螺纹安装在所述驱动支撑板上。

11、可选的,所述盛放仓中设置有导热介质。

12、可选的,所述盛放仓中设置有用于加热导热介质的电加热管。

13、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

14、本申请中原料晶片放置在晶片盛放桶中,晶片盛放桶放置在腐蚀桶内,腐蚀桶内设有腐蚀液,通过驱动组件对晶片盛放桶进行摇晃,从而使得腐蚀液能够将晶片盛放桶中的原料晶片进行腐蚀而留下音叉晶片,音叉晶片将留置在晶片盛放桶中,通过设备代替人工的方式,从而有效提高生产效率。

技术特征:

1.一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,包括机架(1)、以及设置在所述机架(1)中的盛放仓(2),所述盛放仓(2)中放置有腐蚀桶(3),所述腐蚀桶(3)内放置有晶片盛放桶(4),所述腐蚀桶(3)内设有腐蚀液,所述晶片盛放桶(4)内腔与所述腐蚀桶(3)内腔相互流通,所述机架(1)上设置有用于驱使所述晶片盛放桶(4)晃动的驱动组件(5)。

2.根据权利要求1所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述晶片盛放桶(4)包括盛放桶体(41)和晶片盛放架(42),所述盛放桶体(41)的内腔与所述腐蚀桶(3)内腔相互流通,

3.根据权利要求2所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述盛放桶体(41)的桶底设置有连通口,所述连通口上设有过滤网组件(44)。

4.根据权利要求3所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述过滤网组件(44)包括连接套(441)和过滤网布(442),所述连接套(441)可拆卸连接在所述盛放桶体(41)的连通口上,所述连接套(441)轴向贯通,所述过滤网布(442)覆盖在所述连接套(441)上。

5.根据权利要求4所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述连接套(441)通过连接螺栓(443)可拆卸连接在所述盛放桶体(41)上。

6.根据权利要求2所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述晶片盛放架(42)通过锁紧螺栓(45)固定在所述盛放桶体(41)上,所述晶片盛放架(42)上设置有供所述驱动组件(5)连接的连接把手(46)。

7.根据权利要求1所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述驱动组件(5)包括设置在所述机架(1)上的驱动支撑架(51),所述驱动支撑架(51)上沿竖直方向滑动安装有驱动支撑板(52),所述驱动支撑板(52)上固定有第一驱动电机(54),所述第一驱动电机(54)的输出轴上连接有驱动轴(55),所述驱动轴(55)伸入到中所述盛放仓(2)以连接在所述晶片盛放桶(4)

8.根据权利要求7所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述驱动部包括固定在所述驱动支撑架(51)上的第二驱动电机(57),所述第二驱动电机(57)的输出轴上连接有驱动丝杆(58),所述驱动丝杆(58)螺纹安装在所述驱动支撑板(52)上。

9.根据权利要求1所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述盛放仓(2)中设置有导热介质。

10.根据权利要求9所述的一种音叉晶片的腐蚀设备,其特征在于,所述盛放仓(2)中设置有用于加热导热介质的电加热管(6)。

技术总结本申请涉及一种音叉晶片的腐蚀设备,包括机架、以及设置在所述机架中的盛放仓,所述盛放仓中放置有腐蚀桶,所述腐蚀桶内放置有晶片盛放桶,所述腐蚀桶内设有腐蚀液,所述晶片盛放桶内腔与所述腐蚀桶内腔相互流通,所述机架上设置有用于驱使所述晶片盛放桶晃动的驱动组件。本申请中原料晶片放置在晶片盛放桶中,晶片盛放桶放置在腐蚀桶内,腐蚀桶内设有腐蚀液,通过驱动组件对晶片盛放桶进行摇晃,从而使得腐蚀液能够将晶片盛放桶中的原料晶片进行腐蚀而留下音叉晶片,音叉晶片将留置在晶片盛放桶中,通过设备代替人工的方式,从而有效提高生产效率。技术研发人员:张其俊,陈卫受保护的技术使用者:浙江雅晶电子有限公司技术研发日:20231007技术公布日:2024/5/27

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