金属被膜的成膜方法与流程

本发明涉及在基材表面以预定图案形成金属被膜的成膜方法。

背景技术：

1、一直以来，通过电解镀在基材表面析出金属，形成金属被膜(例如专利文献1)。专利文献1中，成膜装置具备收纳镀液的收纳体。在收纳体形成有开口部，开口部由电解质膜密封。成膜装置还具备通过镀液的液压用电解质膜按压基材的按压机构。

2、在此，在基材表面形成有预定图案的金属制基底层的情况下，在利用电解质膜的液压按压基材的状态下，在阳极与基材之间施加电压。由此，能够在基底层上形成预定图案的金属被膜。不过，没有在基材上形成预定图案的基底层的情况下，例如也设想利用专利文献2所示的掩模材料。

3、现有技术文献

4、专利文献1：日本特开2016-125087号公报

5、专利文献2：日本特开2016-108586号公报

技术实现思路

1、在此，在使用丝网掩模作为掩模材料成膜的情况下，丝网掩模被夹在基材与电解质膜之间。在该状态下，为了确保基材与丝网掩模的密合性，用作用有镀液的液压的电解质膜来按压丝网掩模。但是，在基材上，通过与丝网掩模相对的相对面和侧面形成有外缘部。由此，在基材的外缘部按压丝网掩模时，有时会损伤丝网掩模。

2、本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种即使在使用了丝网掩模的情况下，也能够抑制由电解质膜引起的按压时的丝网掩模损伤的金属被膜的成膜方法。

3、鉴于上述课题，本发明的金属被膜的成膜方法，在载置台上载置基材，用形成有预定图案的贯通部分的丝网掩模覆盖所述基材，通过与电解质膜接触的镀液的液压，隔着所述丝网掩模用所述电解质膜按压所述基材，通过在与所述镀液接触的阳极与所述基材之间施加电压，使所述镀液所含的金属离子透过所述电解质膜，将来自所述金属离子的金属被膜以所述预定图案形成在所述基材上，在所述基材，由与所述丝网掩模相对的相对面和侧面形成外缘部，在按压所述基材之前，沿着所述外缘部配置缓冲材料。

4、根据本发明，在按压基材之前，沿着基材的外缘部配置缓冲材料。由此，在通过镀液的液压隔着丝网掩模用电解质膜按压基材时，基材的外缘部隔着缓冲材料被丝网掩模按压。其结果，能够抑制丝网掩模因基材的外缘部而损伤。

5、作为本发明一例，也可以是：在所述载置台形成有收纳所述基材的凹部，在载置所述基材时，在所述凹部收纳所述基材，在配置所述缓冲材料时，用所述缓冲材料覆盖形成于所述基材的所述侧面与所述凹部的侧壁面之间的间隙。

6、在将基材收纳于凹部的状态下，有时在基材与载置台之间形成间隙。在形成有该间隙的状态下，如果隔着丝网掩模用电解质膜按压基材，则丝网掩模容易进入间隙。其结果，丝网掩模与凹部的开口缘接触，丝网掩模容易损伤。因此，该例中，通过用缓冲材料覆盖间隙，能够抑制丝网掩模进入该间隙。其结果，能够抑制丝网掩模的损伤。

7、作为本发明一例，也可以是：所述缓冲材料安装在所述丝网掩模上，在用所述丝网掩模覆盖所述基材时，用所述缓冲材料覆盖所述间隙。

8、根据该例，在丝网掩模预先安装有缓冲材料，因此能够防止缓冲材料相对于丝网掩模的错位。进而，在用丝网掩模覆盖基材时，能够用缓冲材料同时覆盖间隙。

9、作为本发明一例，也可以在载置所述基材之前，沿着所述外缘部将所述缓冲材料安装在所述基材上。

10、根据该例，能够在将缓冲材料安装在基材上的状态下将基材载置在载置台上。因此，在载置基材时同时配置缓冲材料，能够防止缓冲材料相对于基材的错位。

11、作为本发明一例，也可以在所述载置台形成有收纳所述基材的凹部，通过将所述缓冲材料安装在所述基材上，而用所述缓冲材料覆盖所述基材的所述侧面，在载置所述基材时，在将所述缓冲材料夹在所述凹部的侧壁面与所述基材的侧面之间的状态下，将所述基材收纳在所述凹部中。

12、根据该例，将基材收纳在载置台的凹部中。此时，将缓冲材料夹在基材的侧面与载置台的侧壁面之间。由此，能够抑制在它们之间形成间隙。其结果，能够防止由基材与载置台的间隙引起的丝网掩模破损。进而，能够防止基材相对于载置台的错位。

13、作为本发明一例，也可以在所述载置台形成有收纳所述基材的凹部，在所述凹部的侧壁面安装有所述缓冲材料，在载置所述基材时，在将所述缓冲材料夹在所述凹部的侧壁面与所述基材的侧面之间的状态下，将所述基材收纳在所述凹部中。

14、根据该例，将基材收纳在载置台的凹部中。此时，将缓冲材料夹在基材的侧面与载置台的侧壁面之间。由此，能够抑制在它们之间形成间隙。其结果，能够防止由基材与载置台的间隙引起的丝网掩模破损，能够防止基材相对于载置台的错位。

15、作为本发明一例，也可以是：所述丝网掩模的周缘在电解质膜侧被固定在框体上，在所述框体内，用所述丝网掩模覆盖所述基材。

16、根据该例，丝网掩模相对于框体在电解质膜侧被框体支持。因此，能够抑制由镀液的液压引起的电解质膜变形，并且能够用电解质膜按压丝网掩模。而且，由于在框体内用丝网掩模覆盖基材，所以能够抑制由电解质膜按压引起的丝网掩模变形。

17、根据本发明，即使在使用了丝网掩模的情况下，在由电解质膜按压时也能够抑制丝网掩模的损伤。

技术特征：

1.一种金属被膜的成膜方法，

2.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜方法，

3.根据权利要求2所述的金属被膜的成膜方法，

4.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜方法，

5.根据权利要求4所述的金属被膜的成膜方法，

6.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜方法，

7.根据权利要求1所述的金属被膜的成膜方法，

技术总结提供一种金属被膜的成膜方法，即使在使用了丝网掩模时也能够抑制电解质膜按压时的丝网掩模损伤。该成膜方法在载置台(40)上载置基材(B)，用形成有预定图案的贯通部分(68)的丝网掩模(62)覆盖基材(B)，通过与电解质膜(13)接触的镀液(L)的液压，隔着丝网掩模(62)用电解质膜(13)按压基材(B)，通过在与镀液(L)接触的阳极(11)与基材(B)之间施加电压，使镀液(L)所含的金属离子透过电解质膜(13)，将来自金属离子的金属被膜(F)以预定图案形成在基材(B)上，在基材(B)，由与丝网掩模(62)相对的相对面(Ba)和侧面(Bb)形成外缘部(Bc)，在按压基材(B)之前沿着外缘部(Bc)配置缓冲材料(30)。技术研发人员：近藤春树,黑田圭儿,稻垣功二受保护的技术使用者：丰田自动车株式会社技术研发日：技术公布日：2024/4/29