一体式水平电镀设备的制作方法

本技术涉及水平电镀设备，尤其涉及一体式水平电镀设备。

背景技术：

1、水平电镀的原理是利用电解质溶液中的离子在电场作用下发生氧化还原反应，使金属离子还原成金属沉积在被镀物表面上。在传统电镀的过程中，需要将被镀物作为阴极，将金属作为阳极，阳极释放的金属离子通过电解质溶液中的电子传递，使金属离子还原成金属沉积在被镀物表面上。在电解质溶液中，金属离子会与阴离子结合形成离子对，这些离子对在电场作用下向被镀物表面移动，被镀物表面的阴极吸引金属离子，使其还原成金属沉积在被镀物表面上。

2、文献号为cn105543923b的中国实用新型专利公开了一种水平电镀的方法和设备。该实用新型公开了的水平电镀方法和设备是使用若干独立且间隔设置的电镀液槽，把电镀电源的阴极接触点放置在独立电镀液槽的外侧，使电镀电源的阴极接触点不与电镀液直接接触。该方法中每个独立电镀槽的电镀液液位单独控制，每个独立电镀槽的溢流流量不同，使得每个独立电镀槽之间的液面高度不同、溢流流速不同，基板在经过不同的独立电镀槽上镀时，表面电镀厚度不足或电镀厚度不均匀，降低电镀质量。而且每个电镀槽的电镀液液面单独控制需要额外增加液位控制设备，导致设备成本增加。

3、需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种一体式水平电镀设备及一体式水平电镀方法，该设备和方法仅使用一个电镀槽，电镀槽内设置若干回收槽，使电镀槽表面各处电镀液液面等高，保证电镀效果。

2、本实用新型的进一步目的是寻求一种一体式水平电镀设备及一体式水平电镀方法，该设备和方法具有广泛的适用性和实用性，即，该方法和设备既可以单独在基板的下表面上实施电镀工艺，也可以单独在基板的上表面上实施电镀工艺，或者在基板的上表面和下表面上同时实施电镀工艺。

3、本实用新型所采用的技术方案如下：

4、一体式水平电镀设备，所述一体式水平电镀设备包括电镀槽，所述电镀槽内设置两个以上的回收槽，所述回收槽内设置导电阴极滚轮。

5、其进一步的技术方案为，所述电镀槽内可旋转地设置至少一根非导电滚轮，所述非导电滚轮位于相邻的所述回收槽之间，所述回收槽内可旋转地设置至少一根导电阴极滚轮，所述一体式水平电镀设备还包括第一电源，所述电镀槽内设置下阳极，所述电镀槽还连接供液设备，所述电镀槽侧面对应回收槽处设置出液管；其中，所述下阳极与所述第一电源的正极连接，所述导电阴极滚轮与所述第一电源的负极连接，所述非导电滚轮与所述导电阴极滚轮远端齐平，所述导电阴极滚轮、非导电滚轮旋转输送基板，所述供液设备向所述电镀槽输送电镀液，使电镀液润湿所述基板下表面并溢出所述电镀槽。

6、其进一步的技术方案为，所述一体式水平电镀设备还包括第二电源以及设置在所述基板上方的上阳极、喷洒设备；其中，所述上阳极与所述第二电源的正极连接，所述导电阴极滚轮与所述第二电源的负极连接，所述导电阴极滚轮、非导电滚轮旋转输送基板，所述喷洒设备向所述基板上表面喷淋电镀液，使电镀液润湿所述基板上表面，并保持在所述基板上表面上的电镀液液位。

7、其进一步的技术方案为，所述一体式水平电镀设备还包括光源，所述光源能够照射到所述基板的上表面、下表面中的至少一个。

8、其进一步的技术方案为，所述导电阴极滚轮上设置至少一个上压轮。

9、其进一步的技术方案为，所述基板为太阳能电池。

10、其进一步的技术方案为，所述非导电滚轮内设置第一转轴，所述第一转轴两端穿过所述电镀槽，所述导电阴极滚轮内穿过设置第二转轴，所述第二转轴两端穿过所述电镀槽。

11、其进一步的技术方案为，所述导电阴极滚轮与所述电镀槽可拆卸连接，所述非导电滚轮与所述电镀槽可拆卸连接。

12、其进一步的技术方案为，所述第一转轴两侧分别设置第一板体，所述第一板体与所述电镀槽两侧卡接；所述第二转轴两侧分别设置第二板体，所述第二板体与所述电镀槽两侧卡接。

13、其进一步的技术方案为，所述一体式水平电镀设备还包括驱动组件，所述驱动组件包括设置在电镀槽侧面的电机、支撑座、驱动杆，所述驱动杆一端连接所述电机的输出端，另一端可旋转地连接所述支撑座，所述驱动杆与第一转轴的端部、第二转轴的端部啮合。

14、一体式水平电镀方法，在被电镀的所述基板下方沿基板移动方向设置有一个电镀槽，所述电镀槽内设置两个以上的回收槽，所述回收槽内设置导电阴极滚轮；被电镀的所述基板下表面接触导电阴极滚轮后，使被电镀的基板下表面和上表面中的至少一个表面形成电镀工艺的阴极表面。

15、其进一步的技术方案为，仅在所述基板的下方有下阳极时，单独对所述基板的下表面实施电化学电镀；仅在所述基板的上方有上阳极时，单独对所述基板的上表面实施电化学电镀、光诱导电镀、电化学辅助光诱导电镀中的任意一种；所述基板的下方有下阳极且在所述基板的上方有上阳极时，同时对所述基板的下表面和上表面分别实施电化学电镀、光诱导电镀、电化学辅助光诱导电镀中的任意一种。

16、其进一步的技术方案为，对所述基板的下表面实施电化学电镀、光诱导电镀、电化学辅助光诱导电镀中的任意一种时，所述基板的下表面被所述电镀槽内的电镀液润湿，同时在所述电镀槽内设置下阳极；对所述基板的上表面实施电化学电镀、光诱导电镀、电化学辅助光诱导电镀中的任意一种时，在所述基板的上表面上方设置喷洒设备，所述喷洒设备向所述基板上表面喷淋电镀液，使电镀液润湿所述基板上表面，并接触所述上阳极。

17、本实用新型的有益效果如下：

18、(一)本实用新型的一体式水平电镀设备，包括电镀槽，电镀槽内间隔设置回收槽，电镀槽和回收槽内分别设置非导电滚轮和导电阴极滚轮，通过供液设备向电镀槽内喷涌电镀液，由于电镀槽内部各处均连通，使得电镀槽内电镀液各处液面齐平，保证基板底面电镀厚度足够，电镀厚度均匀，提高基板电镀效果。

19、(二)进一步的，电镀槽侧面对应回收槽处设置出液管，便于溢流电镀液的回收。

20、(三)进一步的，导电阴极滚轮与电镀槽可拆卸连接，非导电滚轮与电镀槽可拆卸连接，便于导电阴极滚轮和非导电滚轮的拆卸和更换；

21、第一转轴两侧分别设置第一板体，第一板体与电镀槽两侧卡接，第二转轴两侧分别设置第二板体，第二板体与电镀槽两侧卡接，采用卡接连接能够保证第一板体、第二板体与电镀槽之间的密封性。

技术特征：

1.一体式水平电镀设备，其特征在于：所述一体式水平电镀设备包括电镀槽，所述电镀槽内设置两个以上的回收槽，所述回收槽内设置导电阴极滚轮；

2.根据权利要求1所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述一体式水平电镀设备还包括第二电源以及设置在基板上方的上阳极、喷洒设备；

3.根据权利要求1或2所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述一体式水平电镀设备还包括光源，所述光源能够照射到所述基板的上表面、下表面中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：在所述导电阴极滚轮上方设置至少一个上压轮。

5.根据权利要求1所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述基板为太阳能电池。

6.根据权利要求1所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述非导电滚轮内设置第一转轴，所述第一转轴两端穿过所述电镀槽，所述导电阴极滚轮内穿过设置第二转轴，所述第二转轴两端穿过所述电镀槽。

7.根据权利要求6所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述导电阴极滚轮与所述电镀槽可拆卸连接，所述非导电滚轮与所述电镀槽可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述第一转轴两侧分别设置第一板体，所述第一板体与所述电镀槽两侧卡接；所述第二转轴两侧分别设置第二板体，所述第二板体与所述电镀槽两侧卡接。

9.根据权利要求6所述的一体式水平电镀设备，其特征在于：所述一体式水平电镀设备还包括驱动组件，所述驱动组件包括设置在电镀槽侧面的电机、支撑座、驱动杆，所述驱动杆一端连接所述电机的输出端，另一端可旋转地连接所述支撑座，所述驱动杆与第一转轴的端部、第二转轴的端部啮合。

技术总结本技术涉及一种一体式水平电镀设备，包括第一电源、电镀槽，所述电镀槽内具有电镀液，所述电镀槽包括间隔设置在所述电镀槽内的回收槽、可旋转地设置在所述电镀槽内的导电阴极滚轮和非导电滚轮、设置在所述电镀槽内的下阳极，所述导电阴极滚轮位于所述回收槽内，所述非导电滚轮位于相邻的所述回收槽之间；其中，所述下阳极与所述第一电源的正极连接，所述导电阴极滚轮与所述第一电源的负极连接，所述非导电滚轮与所述导电阴极滚轮远端齐平，所述导电阴极滚轮、非导电滚轮旋转输送基板。本技术的一体式水平电镀设备，由于电镀槽内部各处均连通，使得电镀槽内电镀液各处液面齐平，保证基板底面电镀厚度足够，电镀厚度均匀，提高基板电镀效果。技术研发人员：季静佳,覃榆森,周国华,陆一波受保护的技术使用者：江苏祥环科技有限公司技术研发日：20231227技术公布日：2024/9/19