一种镀膜设备的制作方法

本发明涉及光伏，尤其涉及一种镀膜设备。

背景技术：

1、随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高。其中，等离子体增强化学的气相沉积法(plasma enhanced chemical vapordeposition，pecvd)等设备是太阳能电池片生产中的重要设备，其主要作用是完成电池片表面的镀膜。

2、目前，pecvd双舟的电极馈入是从炉口和炉尾馈入，电极不易维护，同时中间电极当硅片掉落时，容易引起高频报警等问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种镀膜设备，维护方便，射频馈入减少一半，成本降低。

2、为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种镀膜设备，包括正极连杆、负极连杆、第一石墨舟组件、第二石墨舟组件和承舟杆；

3、所述第一石墨舟组件和所述第二石墨舟组件依次间隔的设置在所述承舟杆上；

4、所述正极连杆和所述负极连杆的电极馈入端均位于所述第一石墨舟组件远离所述第二石墨舟组件的一端，且所述正极连杆和所述负极连杆均与所述第一石墨舟组件电连接。

5、在一些实施例中，镀膜设备还包括设于所述承舟杆上的中部承舟块；

6、所述中部承舟块位于所述第一石墨舟组件和所述第二石墨舟组件之间；

7、所述第一石墨舟组件和所述第二石墨舟组件通过所述中部承舟块电连接。

8、在一些实施例中，所述第一石墨舟组件包括第一石墨舟片、第二石墨舟片和第一绝缘件，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片间隔设置，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片通过所述第一绝缘件串联连接；

9、所述第一石墨舟片的两端分别具有第一前舟脚和第一后舟脚，所述第二石墨舟片的两端分别具有第二前舟脚和第二后舟脚，所述第一前舟脚和所述第二前舟脚位于所述第一石墨舟组件的一端，所述第一后舟脚和所述第二后舟脚位于所述第一石墨舟组件的另一端；

10、所述第一后舟脚和所述第二前舟脚位于靠近所述承舟杆的一侧。

11、在一些实施例中，所述第一石墨舟组件还包括第一后舟脚导电块和第二后舟脚导电块，所述第一后舟脚导电块设于相邻的所述第一后舟脚之间，并通过所述第一绝缘件与所述第一后舟脚串联连接，所述第二后舟脚导电块设于相邻的所述第二后舟脚之间，通过第一绝缘件与所述第二后舟脚串联连接；

12、所述第一后舟脚通过所述第一后舟脚导电块与所述负极连杆连接，所述第二后舟脚通过所述第二后舟脚导电块与所述正极连杆连接。

13、在一些实施例中，所述第一石墨舟组件还包括第一前舟脚导电块和第二前舟脚导电块，所述第一前舟脚导电块设于相邻的所述第一前舟脚之间，并通过第一绝缘件与所述第一前舟脚串联连接，所述第二前舟脚导电块设于相邻的所述第二前舟脚之间，通过所述第一绝缘件与所述第二前舟脚串联连接。

14、在一些实施例中，所述第二石墨舟组件包括第三石墨舟片、第四石墨舟片和第二绝缘件，所述第三石墨舟片和所述第四石墨舟片间隔设置，所述第三石墨舟片和所述第四石墨舟片通过所述第二绝缘件串联连接；

15、所述第三石墨舟片的两端分别具有第三前舟脚和第三后舟脚，所述第四石墨舟片的两端分别具有第四前舟脚和第四后舟脚；

16、且所述第三前舟脚和所述第四前舟脚位于所述第二石墨舟组件远离所述第一石墨舟组件的一端，所述第三后舟脚和所述第四后舟脚位于所述第二石墨舟组件靠近所述第一石墨舟组件的一端；

17、所述第三后舟脚位和所述第四前舟脚于靠近所述承舟杆的一侧；

18、所述第二前舟脚通过所述中部承舟块与所述第三后舟脚电连接。

19、在一些实施例中，镀膜设备还包括电极连接杆、以及设于所述承舟杆上的第一承舟块和第二承舟块，所述第一承舟块与所述第一后舟脚电连接，所述第二承舟块与所述第四前舟脚电连接，且所述第一承舟块和所述第二承舟块与所述电极连接杆电连接。

20、在一些实施例中，所述第二石墨舟组件还包括第三前舟脚导电块、第三后舟脚导电块、第四前舟脚导电块和第四后舟脚导电块，所述第三后舟脚导电块设于相邻的所述第三后舟脚之间，并通过所述第二绝缘件与所述第三后舟脚串联连接，所述第四后舟脚导电块设于相邻的所述第四后舟脚之间，并通过所述第二绝缘件与所述第四后舟脚串联连接；

21、所述第三前舟脚导电块设于相邻的所述第三前舟脚之间，并通过第二绝缘件与所述第三前舟脚串联连接，所述第四前舟脚导电块设于相邻的所述第四前舟脚之间，并通过第二绝缘件与所述第四前舟脚串联连接。

22、在一些实施例中，所述电极连接杆包括电极杆、电极保护套和陶瓷保护套，所述电极保护套套设于所述电极杆外，所述陶瓷保护套套设于所述电极保护套外。

23、在一些实施例中，所述电极馈入端设有电极馈入孔，所述正极连杆和所述负极连杆与所述第一石墨舟组件通过所述电极馈入孔电连接。

24、本发明提供的镀膜设备的有益效果如下：

25、1、电极连杆从第一石墨舟组件远离所述第二石墨舟组件的一端插入式馈入，稳定可靠，且容易维护。

26、2、第一石墨舟组件和第二石墨舟组件的中间电极为同一极，当有碎片掉落在中部承舟块上时，不会引起射频高频的问题。

27、3、射频馈入减少一半，成本降低。

技术特征：

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括正极连杆、负极连杆、第一石墨舟组件、第二石墨舟组件和承舟杆；

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，还包括设于所述承舟杆上的中部承舟块；

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一石墨舟组件包括第一石墨舟片、第二石墨舟片和第一绝缘件，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片间隔设置，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片通过所述第一绝缘件串联连接；

4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一石墨舟组件还包括第一后舟脚导电块和第二后舟脚导电块，所述第一后舟脚导电块设于相邻的所述第一后舟脚之间，并通过所述第一绝缘件与所述第一后舟脚串联连接，所述第二后舟脚导电块设于相邻的所述第二后舟脚之间，通过所述第一绝缘件与所述第二后舟脚串联连接；

5.根据权利要求3或4所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一石墨舟组件还包括第一前舟脚导电块和第二前舟脚导电块，所述第一前舟脚导电块设于相邻的所述第一前舟脚之间，并通过所述第一绝缘件与所述第一前舟脚串联连接，所述第二前舟脚导电块设于相邻的所述第二前舟脚之间，通过所述第一绝缘件与所述第二前舟脚串联连接。

6.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二石墨舟组件包括第三石墨舟片、第四石墨舟片和第二绝缘件，所述第三石墨舟片和所述第四石墨舟片间隔设置，所述第三石墨舟片和所述第四石墨舟片通过所述第二绝缘件串联连接；

7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，还包括电极连接杆、以及设于所述承舟杆上的第一承舟块和第二承舟块，所述第一承舟块与所述第一后舟脚电连接，所述第二承舟块与所述第四前舟脚电连接，且所述第一承舟块和所述第二承舟块与所述电极连接杆电连接。

8.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二石墨舟组件还包括第三前舟脚导电块、第三后舟脚导电块、第四前舟脚导电块和第四后舟脚导电块，所述第三后舟脚导电块设于相邻的所述第三后舟脚之间，并通过所述第二绝缘件与所述第三后舟脚串联连接，所述第四后舟脚导电块设于相邻的所述第四后舟脚之间，并通过所述第二绝缘件与所述第四后舟脚串联连接；

9.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述电极连接杆包括电极杆、电极保护套和陶瓷保护套，所述电极保护套套设于所述电极杆外，所述陶瓷保护套套设于所述电极保护套外。

10.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述电极馈入端设有电极馈入孔，所述正极连杆和所述负极连杆与所述第一石墨舟组件通过所述电极馈入孔电连接。

技术总结本发明提供了一种镀膜设备，包括正极连杆、负极连杆、第一石墨舟组件、第二石墨舟组件和承舟杆；所述第一石墨舟组件和所述第二石墨舟组件依次间隔的设置在所述承舟杆上；所述正极连杆和所述负极连杆的电极馈入端均位于所述第一石墨舟组件远离所述第二石墨舟组件的一端，且所述正极连杆和所述负极连杆均与所述第一石墨舟组件电连接。本发明可使第一石墨舟组件和第二石墨舟组件的电极馈入减少一半，并且只从第一石墨舟组件插入式馈入，稳定可靠，且容易维护。且第一石墨舟组件和第二石墨舟组件的中间电极为同一极，当有碎片掉落在中部承舟块上时，不会引起射频高频的问题。技术研发人员：严大受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29