一种树脂包胶重量控制工装及控制方法与流程

本发明涉及半导体设备，具体涉及一种树脂包胶重量控制工装及控制方法。

背景技术：

1、半导体制造中晶圆是关键环节，晶圆一般由卡盘进行固定，而卡盘通过晶圆夹头实现对晶圆的夹紧，这种夹头灵敏度非常高，对重量控制有严格的要求，重量一致才能达到夹持力一致且动平衡，因此夹头每次都要严格预设重量值。

2、夹头需要进行包胶，即在夹头上包上树脂，并将夹头与包胶模具结合在一起，当前的技术工艺由于包胶操作误差，会导致整体重量不稳定，从而导致多次返工，也有可能导致夹头重量与预设重量值的差值过大直接导致报废。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。

技术实现思路

1、本发明一个目的是提供一种树脂包胶重量控制工装，能够有效控制零件总重量。本发明另一个目的是提供一种控制方法，有效控制零件总重量，避免二次加工，减少加工成本，提高加工效率。

2、为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本发明所采用的技术方案是：一种树脂包胶重量控制工装，其特征在于,包括载设于电子秤上侧的用于对零件包胶的包胶模具、可拆卸设置于所述包胶模具的挤胶架、可操纵地旋转设置于所述挤胶架的挤胶件，所述包胶模具上侧设置有用于储存树脂的储存槽，所述包胶模具设置有挤出孔，所述挤出孔与所述储存槽连通。

3、作为优选的技术方案，所述挤胶架包括后板、分别对称设置于所述后板两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板与所述包胶模具可拆卸连接，所述挤胶架上侧可拆卸有上板，所述挤胶件可操纵地旋转插设于所述上板。

4、作为优选的技术方案，所述包胶模具两侧分别设置有至少1个柱塞孔，所述第一侧板和第二侧板对应设置有安装孔。

5、作为优选的技术方案，所述挤胶件为挤胶螺栓。

6、作为优选的技术方案，所述第一侧板可拆卸垂直插设有第一紧固螺栓，所述第二侧板可拆卸垂直插设有第二紧固螺栓，所述上板可拆卸垂直插设有多个第三紧固螺栓，所述上板通过所述第三紧固螺栓分别与所述第一侧板和第二侧板可拆卸连接。

7、作为优选的技术方案，所述储存槽的宽度小于所述零件的宽度，两者之差为0.05mm-0.1mm。

8、作为优选的技术方案，所述挤出孔倾斜设置，所述挤出孔从所述储存槽的一侧向所述包胶模具上侧延伸，所述挤出孔的直径为0.4-0.6mm。

9、作为优选的技术方案，所述后板、第一侧板和第二侧板相连成一体的c形结构。

10、作为优选的技术方案，所述挤胶螺栓、第一紧固螺栓、第二紧固螺栓和第三紧固螺栓的材料采用聚醚醚酮，所述包胶模具的材料采用特氟龙。

11、本发明还提供一种包胶方法，其特征在于，采用所述工装进行包胶，包括以下步骤：

12、步骤1、组装好工装，将工装放到电子秤上进行称重；

13、步骤2、将树脂注入到储存槽中；

14、步骤3、将零件放到包胶模具上侧，且零件位于储存槽正上方；

15、步骤4、将步骤3中工装和零件放到去除工装重量的高精度电子称上，确认零件和树脂的总重；

16、步骤5、旋转挤胶件来下压零件，零件下压将树脂从挤出孔内挤出，然后将挤出的树脂去除；

17、步骤6、观察电子称度数，当重量达到预设值之后停止旋转挤胶件。

18、本发明的有益效果是：

19、1）旋转挤胶件能够下压零件，零件进入储存槽挤压树脂，树脂从挤出孔挤出，这样能够在包胶过程中逐渐将树脂挤出，并用电子秤随时观察重量，从而准确控制零件包胶后的重量；

20、2）挤胶架结构简单，支撑效果好；

21、3）挤胶件采用挤胶螺栓，操作方便；

22、4）储存槽的宽度小于零件的宽度，两者之差为0.05mm-0.1mm，这样能够保证紧配，防止树脂从储存槽边缘溢出，且增加阻尼，防止零件因为重力下沉到包胶模具底部；

23、5）挤出孔的直径为0.4-0.6mm，便于控制树脂的挤出量；

24、6）聚醚醚酮制成的螺栓有效防止划伤零件表面，特氟龙的不粘连特性实现了有效的脱模；

25、7）控制方法能够有效控制零件和包胶模具总重量，避免二次加工，减少加工成本，提高加工效率。

技术特征：

1.一种树脂包胶重量控制工装，其特征在于,包括载设于电子秤上侧的用于对零件包胶的包胶模具、可拆卸设置于所述包胶模具的挤胶架、可操纵地旋转设置于所述挤胶架的挤胶件，所述包胶模具上侧设置有用于储存树脂的储存槽，所述包胶模具设置有挤出孔，所述挤出孔与所述储存槽连通。

2.根据权利要求1所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述挤胶架包括后板、分别对称设置于所述后板两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板与所述包胶模具可拆卸连接，所述挤胶架上侧可拆卸有上板，所述挤胶件可操纵地旋转插设于所述上板。

3.根据权利要求2所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述包胶模具两侧分别设置有至少1个柱塞孔，所述第一侧板和第二侧板对应设置有安装孔。

4.根据权利要求1所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述挤胶件为挤胶螺栓。

5.根据权利要求2所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述第一侧板可拆卸垂直插设有第一紧固螺栓，所述第二侧板可拆卸垂直插设有第二紧固螺栓，所述上板可拆卸垂直插设有多个第三紧固螺栓，所述上板通过所述第三紧固螺栓分别与所述第一侧板和第二侧板可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述储存槽的宽度小于所述零件的宽度，两者之差为0.05mm-0.1mm。

7.根据权利要求1所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述挤出孔倾斜设置，所述挤出孔从所述储存槽的一侧向所述包胶模具上侧延伸，所述挤出孔的直径为0.4-0.6mm。

8.根据权利要求2所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述后板、第一侧板和第二侧板相连成一体的c形结构。

9.根据权利要求5所述的树脂包胶重量控制工装，其特征在于，所述挤胶螺栓、第一紧固螺栓、第二紧固螺栓和第三紧固螺栓的材料采用聚醚醚酮，所述包胶模具的材料采用特氟龙。

10.一种包胶方法，其特征在于，采用权利要求1-9中任一项所述工装进行包胶，包括以下步骤：

技术总结本发明公开了一种树脂包胶重量控制工装,包括载设于电子秤上侧的用于对零件包胶的包胶模具、可拆卸设置于所述包胶模具的挤胶架、可操纵地旋转设置于所述挤胶架的挤胶件，所述包胶模具上侧设置有用于储存树脂的储存槽，所述包胶模具设置有挤出孔，所述挤出孔与所述储存槽连通。本发明的控制工装能够有效控制零件总重量。本发明另一个目的是提供一种控制方法，能够有效控制零件总重量，避免二次加工，减少加工成本，提高加工效率。技术研发人员：林枫,游利,陈彦娥,陆浩受保护的技术使用者：无锡先研新材科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14