一种传感器及车辆的制作方法

本技术属于传感器，具体涉及一种传感器及车辆。

背景技术：

1、tpms(tire pressure monitoring system，轮胎气压监测系统)作用是在车辆行驶过程中对轮胎气压进行实时自动监测，并对轮胎漏气和低气压进行报警，以确保行车安全。

2、轮胎气压监测系统常用mems(microelectro mechanical systems，微电机系统)传感器，其包括气压传感器和加速度传感器，其中，气压传感器检测轮胎的压力，使得控制端根据数值进行预警判断，加速度传感器实时检测车轮加速度，并将信号传递给控制端以便汽车产生相应的动作，提高行车的安全性。

3、然而相关技术中的传感器无法同时测量压力及加速度，传感器的功能集成度较低。

技术实现思路

1、本实用新型实施例的目的是提供一种传感器及车辆，能够解决相关技术中传感器无法同时测量压力及加速度的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型实施例提供了一种传感器，包括：

4、盖板，所述盖板内开设有透气通道及进气通道，所述透气通道的一端和所述进气通道的一端均与外界连通；

5、第一检测芯片，所述第一检测芯片设置于所述盖板内，所述第一检测芯片的一侧与所述盖板形成真空腔体，所述第一检测芯片的另一侧与所述进气通道的另一端连通；

6、第二检测芯片，所述第二检测芯片设置于所述盖板内，所述第二检测芯片与所述透气通道的另一端连通。

7、可选地，所述盖板包括第一盖板及第二盖板；

8、所述第一盖板与所述第二盖板扣合形成容置空间，所述第一检测芯片与所述第二检测芯片设置于所述容置空间内；

9、所述第一盖板和/或所述第二盖板内开设有所述透气通道。

10、可选地，所述第一盖板的上表面和/或所述第二盖板的下表面开设有所述透气通道，所述透气通道由所述第一盖板的上表面或所述第二盖板的下表面延伸至所述第二检测芯片。

11、可选地，所述第一盖板的侧面和/或所述第二盖板的侧面开设有所述透气通道，所述透气通道由所述第一盖板的侧面或所述第二盖板的侧面延伸至所述第二检测芯片。

12、可选地，所述第一检测芯片包括膜片与第一检测电路；

13、所述膜片的一侧朝向所述真空腔体，所述膜片的另一侧具有凹槽，且所述凹槽与所述进气通道连通，所述第一检测电路与所述膜片电连接。

14、可选地，所述第二检测芯片包括质量块、第二检测电路及至少一个悬臂梁；

15、所述质量块的至少一侧连接有一个所述悬臂梁的一端，所述悬臂梁的另一端固定于所述盖板，所述第二检测芯片在所述悬臂梁处形成振动间隙，所述第二检测电路与所述悬臂梁电连接。

16、可选地，所述质量块两相对侧各连接有一个所述悬臂梁。

17、可选地，所述第二检测芯片的至少部分与所述盖板间隔设置以形成封装间隙。

18、可选地，所述盖板朝向所述第一检测芯片处内凹，与所述第一检测芯片形成所述真空腔体。

19、可选地，所述第一检测芯片与所述第二检测芯片为同一结构层上形成的蚀刻结构。

20、可选地，所述透气通道为微透气通道。

21、可选地，所述第一检测电路包括四个第一压敏电阻电连接组成的惠斯通电桥。

22、可选地，所述第二检测电路包括四个第二压敏电阻电连接组成的惠斯通电桥。

23、第二方面，本实用新型实施例还提供了一种车辆，包括上述任一项所述的传感器。

24、本实用新型实施例所提供的传感器包括盖板、第一检测芯片及第二检测芯片。第一检测芯片及第二检测芯片设置于盖板内。第一检测芯片的一侧与盖板形成真空腔体，第一检测芯片的另一侧与盖板上的进气通道连通，进气通道内输入外界气体，使得第一检测芯片的两侧之间产生压力差，在压差驱动下，第一检测芯片的膜片发生运动，芯片上的电阻随之发生变化，用于检测到气压数据。在加速度变化时，第二检测芯片内部发生形变振动，芯片上的电阻随之发生变化，检测到加速度数据。而由于第二检测芯片与透气通道连通，气流在透气通道中流动，使得第二检测芯片在振动过程中与气流之间产生摩擦而增加阻尼，利于第二检测芯片在感知加速度变化而产生振动后的快速复位，提升测量复位的及时性。本实用新型将压力检测功能和加速度检测功能集成于同一传感器中，可同时测量气压值和加速度值，提升了传感器的功能集成度，同时简化了传感器的结构复杂度。

25、本实用新型实施例所提供的车辆，使用上述实施例所提供的传感器，可在车辆行驶过程中，同时测量轮胎气压值和加速度值，提高了车辆轮胎气压监测系统的功能集成度，并根据气压值和加速度值控制车辆产生相应动作，提高行车的安全性。

26、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

技术特征：

1.一种传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述盖板包括第一盖板及第二盖板；

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第一盖板的上表面和/或所述第二盖板的下表面开设有所述透气通道，所述透气通道由所述第一盖板的上表面或所述第二盖板的下表面延伸至所述第二检测芯片。

4.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第一盖板的侧面和/或所述第二盖板的侧面开设有所述透气通道，所述透气通道由所述第一盖板的侧面或所述第二盖板的侧面延伸至所述第二检测芯片。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一检测芯片包括膜片与第一检测电路；

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二检测芯片包括质量块、第二检测电路及至少一个悬臂梁；

7.根据权利要求6所述的传感器，其特征在于，所述质量块的两相对侧各连接有一个所述悬臂梁。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二检测芯片的至少部分与所述盖板间隔设置以形成封装间隙。

9.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述盖板朝向所述第一检测芯片处内凹，与所述第一检测芯片形成所述真空腔体。

10.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一检测芯片与所述第二检测芯片为同一结构层上形成的蚀刻结构。

11.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述透气通道为微透气通道。

12.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述第一检测电路包括四个第一压敏电阻电连接组成的惠斯通电桥。

13.根据权利要求6所述的传感器，其特征在于，所述第二检测电路包括四个第二压敏电阻电连接组成的惠斯通电桥。

14.一种车辆，其特征在于，包括权利要求1至13任一项所述的传感器。

技术总结本技术提供了一种传感器及车辆。传感器包括盖板、第一检测芯片及第二检测芯片，盖板内开设有透气通道及进气通道，透气通道的一端和进气通道的一端均与外界连通；第一检测芯片设置于盖板内，第一检测芯片的一侧与盖板形成真空腔体，第一检测芯片的另一侧与进气通道的另一端连通；第二检测芯片设置于盖板内，第二检测芯片与透气通道的另一端连通。本技术的第二检测芯片与透气通道连通而内外压力平衡，增加振动过程中的阻尼，利于第二芯片振动后的快速复位。将压力检测功能和加速度检测功能集成于同一传感器中，可同时测量气压值和加速度值，提升了传感器的功能集成度，同时简化了传感器的结构复杂度。技术研发人员：张倩,吕飘萍,贺晓旭,刘国宁,何闵受保护的技术使用者：比亚迪半导体股份有限公司技术研发日：20240229技术公布日：2024/11/21