一种高精度机台锁紧装置的制作方法

本发明涉及一种锁紧装置，尤其是涉及一种高精度机台锁紧装置。

背景技术：

1、在机台生产加工领域，机台安装的精密性和稳定性是机台生产加工的关键性指标。然而，现有的锁紧装置在机台的定位工装和锁紧结构件方面存在着一些局限性，主要包括以下几个方面：

2、第一，现有的锁紧装置设计难以实现对半导体设备零部件的精准定位，导致在设备组装过程中出现位置偏差。同时，设备安装调试完成后，不同设备之间的相对位置会存在尺寸偏差，传统锁紧装置强制锁紧，会迫使已经调试完成的设备产生位置的偏移，严重影响了半导体设备的性能指标和工作稳定性，致使成品的次品率升高。

3、第二，现有的锁紧装置支撑力度不够致使锁紧不牢固，容易使零部件在设备运行过程中出现松动、移位等情况，进而影响设备的正常工作，甚至导致设备损坏或故障。

4、第三，现有的锁紧装置在面对不同规格、型号的半导体设备时，缺乏足够的通用性和灵活性，往往需要针对特定设备进行专门的设计和改造，增加了成本和时间投入。

5、因此，有必要改进锁紧装置。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题中的至少一条，本发明提供一种高精度机台锁紧装置，该装置能够实现对机台设备零部件的高度精准定位，适应不同设备之间的相对位置尺寸偏差，可广泛应用于不同类型的机床设备。

2、该一种高精度机台锁紧装置，包括：

3、呈l形的第一连接板和呈l形的第二连接板，第一连接板和第二连接板均包括彼此连接的连接段和固定段，固定段上设置有槽孔，连接段上设置有锥形孔，第一连接板的连接段上设置有定位螺纹孔；固定件，用于穿过第一连接板的槽孔从而将第一连接板固定于第一结构件，还用于穿过第二连接板的槽孔从而将第二连接板固定于第二结构件；定位件，用于穿过所述定位螺纹孔以顶住第二连接板实现定位；锁紧组件，包括锁紧双头螺杆、锁紧螺母、锥形套，锥形套为两端开口设计并用于放置于锥形孔中，锁紧双头螺杆穿过锥形套和锥形孔与锁紧螺母相互配合实现锁紧。

4、在一些实施方案中，定位件为定位螺栓。

5、在一些实施方案中，定位件与第二连接板接触的一端设置有垫片。

6、在一些实施方案中，定位螺纹孔至少为3个，定位件至少为3个；

7、在一些实施方案中，锥形套具有回弹力。

8、在一些实施方案中，锥形套为非刚性材料。

9、在一些实施方案中，锥形孔的孔壁和中轴线具有夹角γ，锥形套的外壁与中轴线具有夹角β，夹角β≤夹角γ。

10、在一些实施方案中，固定件为固定螺栓。

11、优选地，第一连接板和第二连接板还均包括加强板，加强板的一端与连接段连接，另一端与固定段连接。

12、优选地，第一连接板和第二连接板还均包括加强板，加强板呈三角形，其两条边分别与连接段和固定段连接，使得由该两条边形成的顶点与连接段和固定段的连接处相连。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果体现在：本发明通过定位件(定位件顶住第二连接板)、锥形孔和锥形套的设置使得其兼容待锁紧结构件(比如第一结构件和第二结构件)之间因调试或者长期工作而形成的夹角和位移，从而具有良好的通用性和适应性，能够广泛应用于不同类型的机台设备(比如半导体设备)。

14、此外，在本发明的一些实施方案中，定位件数量被设定为3个以上(含3个)，由于三点可固定一个平面，故形成的空间通过3个以上定位件形成的定位面可更加精准固定机台设备零部件，实现更精准的定位。

15、再者，本发明在连接板上设置锥形孔，并将锥形套放置于锥形孔内，将锁紧双头螺杆穿过锥形套和锥形孔，锁紧双头螺杆与锁紧螺母相互拧紧。由于锥形套具有回弹性能(或者为非刚性材料)，故在待锁紧结构件之间有夹角和位移的情况下，锁紧双头螺杆仍有较大的受力面积进行支撑，使得调试完成的待锁紧结构件之间的位移、夹角维持恒定，从而使得机台设备零部件之间保持高强度锁紧固定。即使待锁紧结构件之间的夹角较大，有回弹性的锥形套也能够辅助锁紧双头螺杆和锁紧螺母将连接板(即第一连接板和第二连接板的统称)锁紧。

16、本发明通过连接板、固定件、定位件、锁紧组件的组合，实现了对不同规格机台设备零部件之间的灵活连接和固定。使用时，可以将连接板放置在不同规格的待锁紧结构件之间，通过固定件将连接板与待锁紧结构件进行固定，通过定位件对待锁紧结构件进行精确定位，确保其位置准确，通过锁紧组件对待锁紧结构件进行高强度固定。本发明操作简单，无需针对特定机台进行专门设计和改造，大大增加了安装效率，节省人力和成本。

17、以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本发明的目的、特征和效果。

技术特征：

1.一种高精度机台锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)为定位螺栓。

3.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)与所述第二连接板(12)接触的一端设置有垫片。

4.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位螺纹孔(5)至少为3个，所述定位件(7)至少为3个。

5.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)具有回弹力。

6.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)为非刚性材料。

7.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形孔(4)的孔壁和中轴线具有夹角γ，所述锥形套(83)的外壁与中轴线具有夹角β，所述夹角β≤所述夹角γ。

8.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述固定件(6)为固定螺栓。

9.根据权利要求1-8任一项所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述第一连接板(11)和所述第二连接板(12)还均包括加强板(9)；所述加强板(9)的一端与所述连接段(111)连接，另一端和所述固定段(112)连接。

10.根据权利要求1-8任一项所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述第一连接板(11)和所述第二连接板(12)还均包括加强板(9)；所述加强板(9)呈三角形，其两条边分别与所述连接段(111)和所述固定段(112)连接，使得由该两条边形成的顶点与所述连接段(111)和所述固定段(112)的连接处相连。

技术总结本发明涉及一种高精度机台锁紧装置，其包括第一连接板和第二连接板，第一连接板和第二连接板均包括彼此连接的连接段和固定段，连接段上设置有锥形孔，第一连接板的连接段上设置有定位螺纹孔；定位件，用于穿过所述定位螺纹孔以顶住第二连接板实现定位；锁紧组件，包括锁紧双头螺杆、锁紧螺母、锥形套，锥形套为两端开口设计并用于放置于锥形孔中，锁紧双头螺杆穿过锥形套和锥形孔与锁紧螺母相互配合实现锁紧。本发明通过定位件、锥形孔和锥形套的设置使得其兼容待锁紧结构件之间因调试或者长期工作而形成的夹角和位移，从而具有良好的通用性和适应性，能够广泛应用于不同类型的机台设备。技术研发人员：史庆飞,许志彬,兰海燕,李士昌受保护的技术使用者：盛吉盛精密装备（上海）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2