晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统与流程

本申请属于晶圆校准，尤其涉及一种晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统。

背景技术：

1、晶圆在传片系统上的位置精度对晶圆的产量和产率影响重大，因此对传片系统上晶圆位置的监测和校准至关重要。

2、现有方法中，主要依靠人为判断晶圆是否位于传片系统上静电吸盘的中心位置。

3、然而，该方法无法量化晶圆在静电吸盘上的精准位置，导致晶圆位置校准的准确度较低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统，能够提高晶圆位置校准的准确度。

2、本申请实施例的一方面，提供一种晶圆位置的校准方法，包括：

3、获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像，多张间隔区域图像包括两张第一间隔区域图像和一张第二间隔区域图像，两张第一间隔区域图像为对第一方向的晶圆两侧的间隔区域拍摄图像，一张第二间隔区域图像为对第二方向的晶圆任意一侧的间隔区域拍摄图像，第一方向与所述第二方向垂直；

4、分别对每张第一间隔区域图像以及每张第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像；

5、根据两张第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据一张第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量；

6、根据两组第一像素点数量、一组第二像素点数量以及像素点尺寸，确定晶圆与静电吸盘的位置偏差值；

7、根据位置偏差值，对晶圆进行位置校准。

8、本申请实施例的一方面，提供一种晶圆位置的校准装置，包括：

9、图像获取模块，用于获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像，多张间隔区域图像包括两张第一间隔区域图像和一张第二间隔区域图像，两张第一间隔区域图像为对第一方向的晶圆两侧的间隔区域拍摄图像，一张第二间隔区域图像为对第二方向的晶圆任意一侧的间隔区域拍摄图像，第一方向与所述第二方向垂直；

10、二值化处理模块，用于分别对每张第一间隔区域图像以及每张第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像；

11、像素点确定模块，用于根据两张第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据一张第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量；

12、偏差值确定模块，用于根据两组第一像素点数量、一组第二像素点数量以及像素点尺寸，确定晶圆与静电吸盘的位置偏差值；

13、位置校准模块，用于根据位置偏差值，对晶圆进行位置校准。

14、本申请实施例的一方面，提供一种晶圆传片系统，该晶圆传片系统包括晶圆传送组件、载台、光学成像设备以及控制器；

15、晶圆传送组件，用于将晶圆传送至载台；

16、载台上包括静电吸盘，静电吸盘用于吸附晶圆；

17、光学成像设备，用于获取放置在静电吸盘上的晶圆的多张间隔区域图像；

18、控制器，用于执行如上述本申请实施例的任意一方面提供的晶圆位置的校准方法。

19、本申请实施例的一方面，提供一种电子设备，该设备包括：存储器及存储在存储器上并可在处理器上运行的程序或指令，程序或指令被处理器执行时实现如上述本申请实施例的任意一方面提供的晶圆位置的校准方法。

20、本申请实施例的一方面，提供一种可读存储介质，可读存储介质上存储程序或指令，程序或指令被处理器执行时实现如上述本申请实施例的任意一方面提供的晶圆位置的校准方法。

21、本申请实施例的一方面，提供一种计算机程序产品，计算机程序产品中的指令由电子设备的处理器执行时，使得电子设备执行如上述本申请实施例的任意一方面提供的晶圆位置的校准方法。

22、本申请实施例提供的晶圆位置的校准方法中，通过对晶圆的第一间隔区域图像以及第二间隔区域图像进行二值化处理，得到第一二值化图像和第二二值化图像。再根据第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的第一像素点数量，以及根据第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的第二像素点数量。通过确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的像素点数量，实现对晶圆在静电吸盘上的位置进行量化。然后根据第一像素点数量、第二像素点数量以及像素点尺寸，即可确定目标晶圆的位置偏差值，最后根据位置偏差值对晶圆进行位置校准。如此，本申请实施例通过确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的像素点数量，实现对晶圆在静电吸盘上的位置进行量化，从而能够确定晶圆在静电吸盘上的精准位置，进而提高晶圆位置校准的准确度。

技术特征：

1.一种晶圆位置的校准方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述两张第一二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据所述一张第二二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述分别对每张所述第一间隔区域图像以及每张所述第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像之后，所述方法还包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置偏差值包括所述第一方向的位置偏差值以及所述第二方向的位置偏差值；

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述两组第一像素点数量以及所述像素点尺寸，确定所述晶圆与所述静电吸盘在所述第一方向的两个第一边缘距离以及所述晶圆的位置基准值，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述位置偏差值，对所述晶圆进行位置校准，包括：

7.根据权利要求1-6任意一项所述的方法，其特征在于，所述间隔区域图像通过光学成像设备进行采集；

8.根据权利要求1-6任意一项所述的方法，其特征在于，所述分别对每张所述第一间隔区域图像以及每张所述第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像之前，所述方法还包括：

9.一种晶圆位置的校准装置，其特征在于，所述装置包括：

10.一种晶圆传片系统，其特征在于，所述晶圆传片系统包括晶圆传送组件、载台、光学成像设备以及控制器；

技术总结本申请公开了一种晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统，涉及晶圆校准技术领域。该晶圆位置的校准方法包括：获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像；分别对每张第一间隔区域图像以及每张第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像；根据两张第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据一张第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量；根据两组第一像素点数量、一组第二像素点数量以及像素点尺寸，确定晶圆与静电吸盘的位置偏差值；根据位置偏差值，对晶圆进行位置校准。技术研发人员：张晨泽,史晋峰受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2