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一种晶圆落槽机构的制作方法

  • 国知局
  • 2024-11-25 15:09:02

本技术涉及传送设备,特别涉及一种晶圆落槽机构。

背景技术:

1、晶圆在传送过程中需要将其放置于某个特定位置,大部分情况下采用的是通过真空手臂来实现对晶圆自上部进行抓取以及放置,此类抓取稳定性不高,晶圆底部无支撑,一旦真空发生故障或者设备发生抖动,则晶圆会出现滑落的风险,容易对晶圆造成损坏,同时真空手臂占用空间相对较大,无法在晶圆盒内进行操作,并且不适用于倒片机的使用场景。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆落槽机构,可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

3、一种晶圆落槽机构,包括晶圆支撑杆、总安装板和螺丝,所述总安装板的底端设有电机安装板,所述电机安装板上安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端连接有联轴器,所述总安装板位于联轴器的一端设置有丝杆安装块一,所述总安装板位于联轴器远离伺服电机的一端连接有丝杆安装块二,所述丝杆安装块一、丝杆安装块二之间转动连接有丝杆,所述晶圆支撑杆位于丝杆的两端均设置有导轨安装块,所述导轨安装块上均设置有导轨滑块,所述丝杆位于丝杆安装块一、丝杆安装块二之间设置有滑动板,所述滑动板靠近丝杆安装块一的端部侧壁固定有晶圆支撑杆,所述滑动板的一侧安装有感应片,所述总安装板位于感应片方向的位置上设置有两个传感器。

4、优选的,所述丝杆与丝杆安装块二的一端贯穿相通,所述丝杆穿过丝杆安装块二的一端与联轴器连接。

5、优选的,所述导轨滑块由导轨和滑块组合而成,导轨分别通过螺丝安装在导轨安装块上,滑动板的两端分别通过螺丝安装在两侧导轨滑块的滑块上,所述滑动板分别与丝杆贯穿后螺纹连接。

6、优选的,所述传感器分别通过螺丝安装在总安装板上,且所述感应片分别位于两个传感器之间,所述感应片分别与传感器信号连接。

7、优选的,所述丝杆与滑动板之间、丝杆安装块一和丝杆安装块二与总安装板之间、感应片与滑动板之间、晶圆支撑杆与滑动板之间、电机安装板和总安装板之间分别通过螺丝固定连接。

8、优选的,所述晶圆支撑杆远离滑动板的一端设有套筒,所述套筒远离晶圆支撑杆的一端固定有支撑台,所述套筒的内部粘接有橡胶套,所述晶圆支撑杆远离滑动板的一端插设于橡胶套的内部。

9、与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

10、本机构设计则通过导轨滑块进行,晶圆支撑杆用于对晶圆的托起以及落槽,由于其自身通过托接而间接达到的减震性能,避免晶圆在移动过程中发生破裂,该机构通过导轨滑块、丝杆确保了整个机构在上下移动时的精度以及稳定性。

技术特征:

1.一种晶圆落槽机构,包括晶圆支撑杆(1)、总安装板(3)和螺丝(16),其特征在于:所述总安装板(3)的底端设有电机安装板(11),所述电机安装板(11)上安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的输出端连接有联轴器(10),所述总安装板(3)位于联轴器(10)的一端设置有丝杆安装块一(2),所述总安装板(3)位于联轴器(10)远离伺服电机(15)的一端连接有丝杆安装块二(8),所述丝杆安装块一(2)、丝杆安装块二(8)之间转动连接有丝杆(7),所述晶圆支撑杆(1)位于丝杆(7)的两端均设置有导轨安装块(14),所述导轨安装块(14)上均设置有导轨滑块(6),所述丝杆(7)位于丝杆安装块一(2)、丝杆安装块二(8)之间设置有滑动板(5),所述滑动板(5)靠近丝杆安装块一(2)的端部侧壁固定有晶圆支撑杆(1),所述滑动板(5)的一侧安装有感应片(12),所述总安装板(3)位于感应片(12)方向的位置上设置有两个传感器(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆落槽机构,其特征在于:所述丝杆(7)与丝杆安装块二(8)的一端贯穿相通,所述丝杆(7)穿过丝杆安装块二(8)的一端与联轴器(10)连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆落槽机构,其特征在于:所述导轨滑块(6)由导轨和滑块组合而成,导轨分别通过螺丝(16)安装在导轨安装块(14)上,滑动板(5)的两端分别通过螺丝(16)安装在两侧导轨滑块(6)的滑块上,所述滑动板(5)分别与丝杆(7)贯穿后螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆落槽机构,其特征在于:所述传感器(13)分别通过螺丝(16)安装在总安装板(3)上,且所述感应片(12)分别位于两个传感器(13)之间,所述感应片(12)分别与传感器(13)信号连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆落槽机构,其特征在于:所述丝杆(7)与滑动板(5)之间、丝杆安装块一(2)和丝杆安装块二(8)与总安装板(3)之间、感应片(12)与滑动板(5)之间、晶圆支撑杆(1)与滑动板(5)之间、电机安装板(11)和总安装板(3)之间分别通过螺丝(16)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆落槽机构,其特征在于:所述晶圆支撑杆(1)远离滑动板(5)的一端设有套筒(4),所述套筒(4)远离晶圆支撑杆(1)的一端固定有支撑台(9),所述套筒(4)的内部粘接有橡胶套(17),所述晶圆支撑杆(1)远离滑动板(5)的一端插设于橡胶套(17)的内部。

技术总结本技术公开了一种晶圆落槽机构,涉及传送设备技术领域,包括总安装板和螺丝,所述总安装板的底端设有电机安装板,所述电机安装板上安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端连接有联轴器,所述总安装板位于联轴器的一端设置有丝杆安装块一,所述总安装板位于联轴器远离伺服电机的一端连接有丝杆安装块二,所述丝杆安装块一、丝杆安装块二之间转动连接有丝杆,本机构设计则通过导轨滑块进行,晶圆支撑杆用于对晶圆的托起以及落槽,由于其自身通过托接而间接达到的减震性能,避免晶圆在移动过程中发生破裂,该机构通过导轨滑块、丝杆确保了整个机构在上下移动时的精度以及稳定性。技术研发人员:徐卫星,马凯疆受保护的技术使用者:赛光半导体科技(苏州)有限公司技术研发日:20240129技术公布日:2024/11/21

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