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一种氮化硅纳米材料的制备方法
本发明属于氮化硅纳米材料，具体地说涉及一种氮化硅纳米材料的制备方法。背景技术：1、氮化硅陶瓷因其具有的高比强、耐高温、抗氧化、抗辐射以及自润滑性等优良特性，已广泛应用在汽车、机械及航空航天等领域。氮化......
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氮化硅粉体及其制备方法、氮化硅陶瓷
本技术涉及材料，且尤指一种氮化硅粉体及其制备方法、氮化硅陶瓷。背景技术：1、目前，用于制备氮化硅粉体的液相氨解法通常需要添加有机溶剂，通过液相界面反应控制合成反应的速率，但这样容易引入碳杂质，且反应器......
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集成电路用硅、氮化硅蚀刻液的制作方法
本发明涉及集成电路刻蚀，具体涉及集成电路用硅、氮化硅蚀刻液。背景技术：1、氮化硅在芯片制程工业中被广泛用作绝缘层或顶部屏障层以防止污染物扩散在芯片中,同时为了减缓氮化硅层与底部硅基体间热膨胀倍率不匹配......
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具有增强选择性的氮化硅沉积的制作方法
本发明涉及一种用于将氮化硅选择性地沉积到微电子装置的某些表面上的工艺。背景技术：1、氮化硅通常用于集成电路的制造。例如，其通常用作制造例如存储器单元、逻辑装置、存储器阵列等的微电子装置中的绝缘材料。传......
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基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺
1.本发明属于微纳加工技术领域，涉及一种基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺。背景技术：2.单晶硅是一种良好的各向异性材料，在微机电系统技术中具有广泛的应用。根据硅片表面的晶面，常见的硅片又可以分......
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用于支撑微桥结构的氮化硅-钛-氮化硅悬臂梁制造方法与流程
本发明属于微电子加工技术领域，特别是一种用于支撑微桥结构的氮化硅—钛—氮化硅悬臂梁制造方法。背景技术：红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件。随着mems技术的飞速发展，高性能、低成本的非制冷红外焦平......
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一种氮化硅陶瓷球的制备方法与流程
本发明涉及一种氮化硅陶瓷球的制备方法，特别是涉及应用于陶瓷球制备领域的一种氮化硅陶瓷球的制备方法。背景技术：1、氮化硅陶瓷球是在非氧化气氛中高温烧结的精密陶瓷，具有高强度，高耐磨性，耐高温，耐腐蚀，耐......
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高效催化氮化制备氮化硅的方法及氮化硅产品与应用与流程
本申请涉及氮化硅制备，具体涉及一种高效催化氮化制备氮化硅的方法及由此制得的氮化硅产品与应用。背景技术：1、直接氮化法是生产氮化硅（si3n4）的常用方法，该方法以单质si为硅源，在nh3或n2气氛下加......
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生片、氮化硅烧结体的制造方法及氮化硅烧结体与流程
本发明涉及生片(也称“生胚片”(green sheet))、氮化硅烧结体的制造方法及氮化硅烧结体。背景技术：1、将氮化硅、氮化铝和氮化硼等陶瓷粉末烧结得到的陶瓷烧结体一般具有高热传导性、高绝缘性、高强......
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一种大批量制备氮化硅纳米线的方法
本发明涉及一种大批量制备氮化硅纳米线的方法，属于陶瓷材料制备。背景技术：1、氮化硅纳米线是一种重要的半导体化合物和陶瓷材料，具有高的长径比、良好的耐高温性、化学稳定性，光电特性、力学特性等一系列优异性......
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氮化硅陶瓷及其制备方法
本发明属于陶瓷材料，具体地，涉及一种氮化硅陶瓷及其制备方法。背景技术：1、氮化硅陶瓷在广泛的温度范围内具有优异的机械、热、化学和电气特性，是一种极具发展前景的材料，在航空航天、风力发电、电动汽车等领域......
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