用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具及厚度测量装置的制作方法

本公开涉及，具体地，涉及一种用于蓝宝石衬底片厚度的治具及厚度测量装置。

背景技术：

1、抛光机的去除速率与蓝宝石衬底片的厚度和抛光时间有关，在抛光时间可控制的情况下，需要对蓝宝石衬底片的厚度进行测量。

2、相关技术中，用于测量蓝宝石衬底片厚度的检测组件设置在治具的一侧，即检测组件与多个支撑柱分别设置在基板的两端，其中，检测组件的重量远大于多个支撑柱的重量，因此，将检测组件设置在基板的一侧容易导致基板发生倾斜并造成整个装置不平衡，导致检测组件测量待测蓝宝石衬底片的厚度的准确性较低。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种用于蓝宝石衬底片厚度的治具及厚度测量装置，以解决相关技术中存在的技术问题。

2、为了实现上述目的，根据本公开的一个方面，本公开提供一种用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，包括基板和至少两个支撑柱；

3、至少两个所述支撑柱可拆卸地安装于所述基板，所述支撑柱远离所述基板的一端用于与陶瓷盘连接，以使所述基板悬置在所述陶瓷盘上，至少两个所述支撑柱与所述基板共同合围出容纳空间，所述容纳空间用于容纳蓝宝石衬底片；

4、所述基板的中部设置有用于安装检测组件的安装部，至少两个所述支撑柱分别位于所述安装部的两侧并以所述安装部为对称轴对称设置。

5、可选地，所述基板上设置有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别位于所述安装部的两侧；

6、至少一个所述支撑柱可拆卸地连接于所述第一连接部，至少一个所述支撑柱可拆卸地连接于所述第二连接部。

7、可选地，所述第一连接部构造为开设在所述基板上的第一螺纹孔，所述第二连接部构造为开设在所述基板上的第二螺纹孔，每个所述支撑柱均具有螺柱，所述螺柱上形成有外螺纹；

8、其中，至少一个所述支撑柱通过对应的所述螺柱与所述第一螺纹孔螺纹连接，至少一个所述支撑柱通过对应的所述螺柱与所述第二螺纹孔螺纹连接。

9、可选地，所述基板具有沿所述基板的长度方向设置的第一中轴线，所述第一螺纹孔为多个，所述第二螺纹孔为多个；

10、多个所述第一螺纹孔沿所述基板的长度方向间隔设置并构成一个第一螺纹孔组，所述第一螺纹孔组位于所述第一中轴线；

11、多个所述第二螺纹孔沿所述基板的长度方向间隔设置并构成两个平行设置的第二螺纹孔组，两个所述第二螺纹孔组以所述第一中轴线为对称轴对称设置。

12、可选地，在所述基板的长度方向上，相邻两个所述第一螺纹孔的轴心之间的直线距离与相邻两个所述第一螺纹孔的轴心之间的直线距离相等。

13、可选地，所述安装部构造为开设在所述基板上的通孔，所述通孔沿所述基板的厚度方向贯穿所述基板，所述通孔用于与所述检测组件插接配合；

14、所述治具还包括紧固件，所述紧固件连接于所述基板，所述紧固件用于将所述检测组件的一端可解锁地锁定在所述通孔内。

15、可选地，所述基板具有沿所述基板的长度方向设置的第一中轴线以及沿所述基板的宽度方向设置的第二中轴线，所述通孔的轴心落于所述第一中轴线和所述第二中轴线的交点。

16、可选地，所述通孔的孔壁上设置有沿所述基板的宽度方向延伸的第三螺纹孔，所述第三螺纹孔的一端与所述通孔连通的，所述第三螺纹孔的另一端贯穿出所述基板；

17、所述紧固件具有第一端和第二端，所述紧固件的第一端上形成有外螺纹，所述紧固件的第一端与所述第三螺纹孔螺纹连接，所述第二端形成有操作部并凸出于所述基板，以使旋拧所述操作部能够将所述紧固件的第一端与所述检测组件位于所述通孔内的部分抵顶。

18、可选地，所述支撑柱构造为白钢测头；

19、所述支撑柱的长度为7.5mm-8mm。

20、根据本公开的另一方面，提供一种厚度测量装置，包括检测组件和上述的治具，所述检测组件连接于所述治具的所述基板的安装部上，所述检测组件的检测端位于所述容纳空间内，所述检测组件用于检测所述蓝宝石衬底片的厚度。

21、通过上述技术方案，通过设置的至少两个支撑柱，可以使得基板悬置在陶瓷盘上，并且，基板的底部能够与至少两个支撑柱共同合围出用于容纳位于陶瓷盘上的蓝宝石衬底片的容纳空间。由于用于安装检测组件的安装部位于基板的中部位置，并且，通过将至少两个支撑柱分别位于安装部的两侧并以安装部为对称轴对称设置，因此，在将检测组件安装在治具上时，可以使得检测组件的重心平稳，使得检测组件的重力能够均匀地传递到支撑柱上，有利于提高整体的稳定性。

22、另外，由于支撑柱与基板为可拆卸连接，因此，在不需要使用治具时，可以将支撑柱从基板上拆卸下来，以便于操作人员对治具收纳和携带。

23、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，包括基板和至少两个支撑柱；

2.根据权利要求1所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述基板上设置有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别位于所述安装部的两侧；

3.根据权利要求2所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述第一连接部构造为开设在所述基板上的第一螺纹孔，所述第二连接部构造为开设在所述基板上的第二螺纹孔，每个所述支撑柱均具有螺柱，所述螺柱上形成有外螺纹；

4.根据权利要求3所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述基板具有沿所述基板的长度方向设置的第一中轴线，所述第一螺纹孔为多个，所述第二螺纹孔为多个；

5.根据权利要求4所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，在所述基板的长度方向上，相邻两个所述第一螺纹孔的轴心之间的直线距离与相邻两个所述第二螺纹孔的轴心之间的直线距离相等。

6.根据权利要求2所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述安装部构造为开设在所述基板上的通孔，所述通孔沿所述基板的厚度方向贯穿所述基板，所述通孔用于与所述检测组件插接配合；

7.根据权利要求6所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述基板具有沿所述基板的长度方向设置的第一中轴线以及沿所述基板的宽度方向设置的第二中轴线，所述通孔的轴心落于所述第一中轴线和所述第二中轴线的交点。

8.根据权利要求6所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述通孔的孔壁上设置有沿所述基板的宽度方向延伸的第三螺纹孔，所述第三螺纹孔的一端与所述通孔连通的，所述第三螺纹孔的另一端贯穿出所述基板；

9.根据权利要求1-8中任一项所述的用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具，其特征在于，所述支撑柱构造为白钢测头；

10.一种厚度测量装置，其特征在于，包括检测组件和根据权利要求1-9中任一项所述的治具，所述检测组件连接于所述治具的所述基板的安装部上，所述检测组件的检测端位于所述容纳空间内，所述检测组件用于检测所述蓝宝石衬底片的厚度。

技术总结本公开涉及一种用于测量蓝宝石衬底片厚度的治具及厚度测量装置，包括基板和至少两个支撑柱,至少两个支撑柱可拆卸地安装于基板，支撑柱远离基板的一端用于与陶瓷盘连接，以使基板悬置在陶瓷盘上，至少两个支撑柱与基板共同合围出容纳空间，容纳空间用于容纳蓝宝石衬底片,基板的中部设置有用于安装检测组件的安装部，至少两个支撑柱分别位于安装部的两侧并以安装部为对称轴对称设置。由于用于安装检测组件的安装部位于基板的中部位置，并且，通过将至少两个支撑柱分别位于安装部的两侧并以安装部为对称轴对称设置，因此，在将检测组件安装在治具上时，可以使得检测组件的重心平稳，使得检测组件的重力均匀地传递到支撑柱上，有利于提高整体的稳定性。技术研发人员：杨宁峰,李学东,方勇受保护的技术使用者：新疆蓝晶新材料科技有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/6/13