磨削装置及包括该磨削装置的倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种磨削装置及包括该磨削装置的倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机一般通过砂轮对晶圆进行倒角加工，砂轮安装在主轴上，通过驱动机构驱动主轴带着砂轮高速旋转以对晶圆进行倒角磨削，砂轮使用一段时间后需要更换，然而，现有的砂轮的安装方式导致砂轮的更换操作比较复杂，用户的使用体验不佳。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的砂轮的安装方式导致砂轮的更换操作比较复杂的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种磨削装置，所述磨削装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的驱动机构、主轴、砂轮和安装组件，所述驱动机构与所述主轴的第一端连接且能够驱动所述主轴旋转，所述砂轮通过所述安装组件固定安装在所述主轴的第二端，

3、所述安装组件包括第一安装构件、第二安装构件和第三安装构件，所述第二安装构件与所述主轴可拆卸连接以将所述第一安装构件固定至所述主轴的第二端，所述第三安装构件与所述第一安装构件可拆卸连接以将所述砂轮固定至所述第一安装构件。

4、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述第一安装构件具有定位凹槽，所述主轴的第二端插入所述定位凹槽内。

5、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述主轴的第二端设为锥台结构，所述定位凹槽设为锥形凹槽，所述锥形凹槽与所述锥台结构相适配。

6、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述第一安装构件包括相连的柱状结构和板状结构，所述定位凹槽设于所述柱状结构内且所述定位凹槽的入口端位于所述柱状结构的第一端的端面，所述砂轮与所述板状结构贴合，所述柱状结构的第二端穿过所述砂轮的砂轮孔与所述第三安装构件连接以将所述砂轮压紧至所述板状结构。

7、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述第三安装构件为锁紧螺母，所述柱状结构上设有与所述锁紧螺母配合的螺纹，所述锁紧螺母通过所述螺纹与所述柱状结构螺接。

8、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述主轴的第二端的端面设有螺纹孔，所述第二安装构件为安装螺钉，所述安装螺钉穿过所述柱状结构的第二端的端面与所述螺纹孔螺接。

9、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述砂轮的圆周面上设有多个砂轮槽，多个所述砂轮槽沿所述砂轮的轴线方向分布。

10、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述驱动机构包括电机和传动组件，所述电机位于所述主轴的侧面且通过所述传动组件与所述主轴的第一端驱动连接。

11、在上述磨削装置的优选技术方案中，所述传动组件包括主动带轮、从动带轮以及用于连接所述主动带轮和所述从动带轮的传动带，所述主动带轮与所述电机的驱动轴固定连接，所述从动带轮与所述主轴的第一端固定连接或一体设置。

12、本申请第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的磨削装置。

13、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的磨削装置通过三个安装构件的配合将砂轮固定至主轴，在拆卸时，仅需要将第三安装构件与第一安装构件分离，即可将砂轮拆卸下来，操作简单方便，极大提升了用户的使用体验。

14、进一步地，本实用新型的磨削装置通过在第一安装构件上设置定位凹槽，在安装时，将主轴插入定位凹槽内，既能够提高装配精度，又能够提高装配效率。

15、又进一步地，本实用新型的磨削装置通过采用圆锥面进行定位，既能够提高定位准确性，又有利于将主轴的顶端顺利地插入定位凹槽内，提高装配效率。

16、又进一步地，本实用新型的磨削装置通过将第一安装构件设置为柱状结构和板状结构的形式，既能够提高砂轮的稳定性，又便于进行安装。

技术特征：

1.一种磨削装置，其特征在于，所述磨削装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的驱动机构、主轴、砂轮和安装组件，所述驱动机构与所述主轴的第一端连接且能够驱动所述主轴旋转，所述砂轮通过所述安装组件固定安装在所述主轴的第二端，

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其特征在于，所述第一安装构件具有定位凹槽，所述主轴的第二端插入所述定位凹槽内。

3.根据权利要求2所述的磨削装置，其特征在于，所述主轴的第二端设为锥台结构，所述定位凹槽设为锥形凹槽，所述锥形凹槽与所述锥台结构相适配。

4.根据权利要求2所述的磨削装置，其特征在于，所述第一安装构件包括相连的柱状结构和板状结构，所述定位凹槽设于所述柱状结构内且所述定位凹槽的入口端位于所述柱状结构的第一端的端面，所述砂轮与所述板状结构贴合，所述柱状结构的第二端穿过所述砂轮的砂轮孔与所述第三安装构件连接以将所述砂轮压紧至所述板状结构。

5.根据权利要求4所述的磨削装置，其特征在于，所述第三安装构件为锁紧螺母，所述柱状结构上设有与所述锁紧螺母配合的螺纹，所述锁紧螺母通过所述螺纹与所述柱状结构螺接。

6.根据权利要求4所述的磨削装置，其特征在于，所述主轴的第二端的端面设有螺纹孔，所述第二安装构件为安装螺钉，所述安装螺钉穿过所述柱状结构的第二端的端面与所述螺纹孔螺接。

7.根据权利要求1所述的磨削装置，其特征在于，所述砂轮的圆周面上设有多个砂轮槽，多个所述砂轮槽沿所述砂轮的轴线方向分布。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的磨削装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机和传动组件，所述电机位于所述主轴的侧面且通过所述传动组件与所述主轴的第一端驱动连接。

9.根据权利要求8所述的磨削装置，其特征在于，所述传动组件包括主动带轮、从动带轮以及用于连接所述主动带轮和所述从动带轮的传动带，所述主动带轮与所述电机的驱动轴固定连接，所述从动带轮与所述主轴的第一端固定连接或一体设置。

10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的磨削装置。

技术总结本申请涉及加工设备技术领域，具体涉及一种磨削装置及包括该磨削装置的倒角机。本申请旨在解决现有的砂轮的安装方式导致砂轮的更换操作比较复杂的问题。为此，本申请的磨削装置包括固定构件、驱动机构、主轴、砂轮和安装组件，驱动机构与主轴的第一端连接且能够驱动主轴旋转，安装组件包括第一安装构件、第二安装构件和第三安装构件，第二安装构件与主轴可拆卸连接以将第一安装构件固定至主轴的第二端，第三安装构件与第一安装构件可拆卸连接以将砂轮固定至第一安装构件。通过三个安装构件的配合将砂轮固定至主轴，在拆卸时，仅需要将第三安装构件与第一安装构件分离，即可将砂轮拆卸下来，操作简单方便，极大提升了用户的使用体验。技术研发人员：尹德臻,卢凯文,牛银星,孙光荣受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5