抛光机及其抛光盘冲洗装置的制作方法

本公开涉及抛光机，具体地，涉及一种抛光机及其抛光盘冲洗装置。

背景技术：

1、在对碳化硅衬底加工过程中，需要通过抛光机对碳化硅衬底进行抛光打磨，抛光打磨结束后需要人工对抛光机的抛光盘进行刷洗后再用水枪进行冲洗。

2、在上述人工清洗抛光盘的过程中，人工清洗抛光盘的方式比较浪费人力，并且由于抛光盘上残留的抛光液容易对作业人员造成化学伤害，影响作业人员的身体健康。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种抛光机及其抛光盘冲洗装置，实现对抛光盘的自动冲洗，能够节省人力，并避免操作人员与残留的抛光液直接接触。

2、为了实现上述目的，本公开提供一种抛光盘冲洗装置，包括：

3、药液箱，用于容纳能够中和抛光盘上残留的抛光液的药液；

4、水箱，用于容纳冲洗所述抛光盘的水；

5、第一水泵，所述第一水泵的进液口与所述药液箱连通；

6、第二水泵，所述第二水泵的进液口与所述水箱连通；

7、送药管，所述第一水泵的出液口与所述送药管的进液口连通，所述送药管上形成有喷药口，所述喷药口设置为朝向所述抛光盘，以能够向所述抛光盘喷洒药液；以及

8、冲洗管，所述第二水泵的出液口与所述冲洗管的进液口连通，所述冲洗管上形成有喷水口，所述喷水口设置为朝向所述抛光盘，以能够向所述抛光盘喷水。

9、可选地，所述喷药口和所述喷水口均朝向所述抛光盘的端面，且所述喷药口和所述喷水口位于所述抛光盘的同一侧。

10、可选地，所述喷药口和所述喷水口中的一者的轴线与所述抛光盘的轴线重合，所述喷药口和所述喷水口中的另一者的轴线与所述抛光盘的轴线平行且间隔设置，所述抛光盘沿其轴向的投影能够覆盖所述喷药口和所述喷水口。

11、可选地，所述喷药口的轴线与所述抛光盘的轴线重合，所述喷水口为多个，多个所述喷水口沿所述抛光盘的径向间隔设置。

12、可选地，所述抛光盘冲洗装置还包括供气管，所述供气管的进气口用于与供气装置连通，所述供气管的出气口旁接在所述冲洗管上。

13、可选地，所述供气管上设置有电磁阀。

14、可选地，所述供气装置为抛光机的气动三联件。

15、可选地，所述第一水泵和所述第二水泵均为蠕动泵。

16、可选地，所述水箱和所述药液箱固定连接为一体。

17、根据本公开的第二方面，还提供抛光机，包括抛光盘和上述的抛光盘冲洗装置。

18、通过上述技术方案，当需要对抛光机的抛光盘进行清理时，通过第一水泵将药液箱中的药液抽送至送药管内，送药管内的药液通过喷液口朝向抛光盘喷洒药液，使得药液与抛光盘上残留的抛光液的药液进行中和；再通过第二水泵将水箱中的水抽送至冲洗管内，冲洗管内的水通过喷水口朝向抛光盘喷水，以冲走抛光盘上与药液中和后的抛光液，从而实现对抛光盘的自动冲洗，节省人力，避免操作人员与残留的抛光液直接接触。

19、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种抛光盘冲洗装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述喷药口和所述喷水口均朝向所述抛光盘的端面，且所述喷药口和所述喷水口位于所述抛光盘的同一侧。

3.根据权利要求2所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述喷药口和所述喷水口中的一者的轴线与所述抛光盘的轴线重合，所述喷药口和所述喷水口中的另一者的轴线与所述抛光盘的轴线平行且间隔设置，所述抛光盘沿其轴向的投影能够覆盖所述喷药口和所述喷水口。

4.根据权利要求3所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述喷药口的轴线与所述抛光盘的轴线重合，所述喷水口为多个，多个所述喷水口沿所述抛光盘的径向间隔设置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述抛光盘冲洗装置还包括供气管，所述供气管的进气口用于与供气装置连通，所述供气管的出气口旁接在所述冲洗管上。

6.根据权利要求5所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述供气管上设置有电磁阀。

7.根据权利要求5所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述供气装置为抛光机的气动三联件。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述第一水泵和所述第二水泵均为蠕动泵。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的抛光盘冲洗装置，其特征在于，所述水箱和所述药液箱固定连接为一体。

10.一种抛光机，其特征在于，包括抛光盘和上述权利要求1-9中任一项所述的抛光盘冲洗装置。

技术总结本公开涉及一种抛光机及其抛光盘冲洗装置，该抛光盘冲洗装置包括药液箱、水箱、第一水泵、第二水泵、送药管以及冲洗管。药液箱用于容纳能够中和抛光盘上残留的抛光液的药液，水箱用于容纳冲洗抛光盘的水。第一水泵的进液口与药液箱连通，第一水泵的出液口与送药管的进液口连通，送药管上形成有喷药口，喷药口设置为朝向抛光盘，以能够向抛光盘喷洒药液。第二水泵的进液口与水箱连通，第二水泵的出液口与冲洗管的进液口连通，冲洗管上形成有喷水口，喷水口设置为朝向抛光盘，以能够向抛光盘喷水。本抛光盘冲洗装置可以实现对抛光盘的自动冲洗，节省人力，避免操作人员与残留的抛光液直接接触。技术研发人员：张志高,翟虎,林宏达,孙金梅受保护的技术使用者：浙江兆晶新材料科技有限公司技术研发日：20231107技术公布日：2024/6/11