基板研磨保护装置及基板的研磨方法与流程

本发明涉及基板研磨，具体涉及一种基板研磨保护装置及基板的研磨方法。

背景技术：

1、在相关的基板研磨工序中，一般都会采用电脑来控制基板的研磨时长。然而，在实际的工作过程中电脑可能会出现故障或者死机的现象，因此一旦电脑出现上述情况，则无法通过电脑及时对正在工作的研磨设备发出停止指令，进而可能会出现基板报废或者研磨设备损坏的情况。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种基板研磨保护装置及基板的研磨方法，以解决在相关的基板研磨工序中，无法有效防止基板研磨时长超限的问题。

2、第一方面，本发明提供了一种基板研磨保护装置，包括：

3、研磨盘，上表面用于研磨基板；

4、研磨电机，与所述研磨盘相连接，用于带动所述研磨盘旋转；

5、喷淋装置，用于对基板进行喷淋；

6、控制器，与所述研磨电机电性连接；

7、定时器，与所述研磨电机、所述喷淋装置以及所述控制器电性连接；

8、所述基板研磨保护装置具有工作状态和保护状态，在所述工作状态下，所述控制器开启所述定时器和所述研磨电机；在所述保护状态下，所述控制器关闭所述研磨电机，并开启所述喷淋装置。

9、有益效果：在工作状态下，通过开启研磨电机，能够让研磨盘对基板的表面进行清理，使得基板能够满足集成电路制作工序中的相关要求。此外，通过开启定时器，能够对研磨电机的工作时长进行监控，防止研磨盘超时转动。在保护状态下，通过关闭研磨电机，能够避免研磨盘对基板过度磨损，造成基板的报废。进一步地，通过开启喷淋装置，能够稀释基板周侧的化学溶液，避免化学溶液过度腐蚀基板的表面。

10、在一种可选的实施方式中，所述控制器包括第一子控制器和第二子控制器，所述第一子控制器与所述研磨电机以及所述定时器电性连接，所述第二子控制器与所述定时器、所述研磨电机以及所述喷淋装置电性连接；在所述工作状态下，所述第一子控制器开启所述定时器和所述研磨电机；在所述保护状态下，所述第二子控制器关闭所述研磨电机，并开启所述喷淋装置。

11、有益效果：本发明通过设置第二子控制器，能够在第一子控制器发生异常情况时，快速进行响应并采取保护措施，即关闭研磨电机和启动喷淋装置，从而可以及时防止基板报废或者研磨设备发生损坏，提高基板研磨保护装置运行稳定性。

12、在一种可选的实施方式中，所述定时器和所述第二子控制器共同组成可编程逻辑控制器。

13、有益效果：本发明通过将定时器和第二子控制器集成为可编程逻辑控制器(programmable logic controller，plc)，不仅能够降低基板研磨保护装置的结构复杂性，还能够降低基板研磨保护装置的制作成本。

14、在一种可选的实施方式中，还包括与所述定时器电性连接的输入装置，所述输入装置用于向所述定时器输入最大研磨时间。

15、有益效果：本发明通过设置输入装置，便于工作人员根据实际需要，灵活地调整基板的最大研磨时间(即定时器的计时时长)，如此一来，可满足不同生产需求，实现更加精准的产品研磨超时的保护。

16、在一种可选的实施方式中，所述喷淋装置能够对基板进行间歇喷淋。

17、有益效果：本发明通过让喷淋装置基板进行间歇喷淋，不仅能够实现对基板的保护，还可以节约水资源。

18、第二方面，本发明还提供了一种基板的研磨方法，应用于上述的基板研磨保护装置，包括以下步骤：

19、向定时器输入最大研磨时间；

20、基于所述定时器的状态，开启喷淋装置和/或关闭研磨电机。

21、有益效果：本发明通过向定时器输入最大研磨时间，能够实现对研磨过程时间的精确控制，确保每次研磨操作都在设定的时间范围内完成，提高了研磨的精度和一致性。此外，基于定时器的状态，及时地开启喷淋装置和/或关闭研磨电机，能够降低意外事件发生的可能性，提高基板加工的安全性。

22、在一种可选的实施方式中，所述基于所述定时器的状态，开启喷淋装置或者关闭研磨电机的步骤，具体包括：

23、若基板的研磨操作完成时，所述定时器还未到达最大研磨时间，此时控制器对所述定时器进行复位，并结束本次研磨。

24、有益效果：当定时器到达最大研磨时间时，通过控制器关闭研磨电机，可以让研磨盘及时停止对基板的研磨操作，避免对基板过度研磨，确保基板的完整性和质量。此外，通过控制器对定时器进行复位，可以为下一轮的研磨操作重新开始计时，如此一来，可以让每个基板的研磨过程都得到良好的把控，从而可以提高基板的产品质量。

25、在一种可选的实施方式中，所述基于所述定时器的状态，开启喷淋装置或者关闭研磨电机的步骤，具体包括：

26、若所述定时器到达最大研磨时间时，还未被控制器复位，所述控制器关闭所述研磨电机，并开启所述喷淋装置。

27、有益效果：本发明在定时器到达最大研磨时间但未被控制器复位时，通过关闭研磨电机可以及时停止研磨操作，避免过度研磨，保护基板的质量。此外，通过开启喷淋装置可以在研磨结束后对基板进行清洗，从而可以进一步降低基板受到损伤的概率。

28、在一种可选的实施方式中，所述向定时器输入最大研磨时间的步骤，具体包括：

29、计算基板的最大研磨时间，并通过输入装置将最大研磨时间输入所述定时器。

30、有益效果：本发明通过计算基板的最大研磨时间，可以更准确地确定不同基板所需的最大研磨时间，从而可以提高研磨的精准度以及基板的质量。

31、在一种可选的实施方式中，所述向定时器输入最大研磨时间的步骤，具体包括：

32、通过控制器控制所述定时器开始计时以及所述研磨电机开始工作。

33、有益效果：本发明利用控制器对定时器和研磨电机进行精准控制，可以确保定时器和研磨电机的启动时间完全同步，提高了研磨过程的精度和可控性。

技术特征：

1.一种基板研磨保护装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基板研磨保护装置，其特征在于，所述控制器包括第一子控制器(6)和第二子控制器(7)，所述第一子控制器(6)与所述研磨电机(3)以及所述定时器(5)电性连接，所述第二子控制器(7)与所述定时器(5)、所述研磨电机(3)以及所述喷淋装置(4)电性连接；在所述工作状态下，所述第一子控制器(6)开启所述定时器(5)和所述研磨电机(3)；在所述保护状态下，所述第二子控制器(7)关闭所述研磨电机(3)，并开启所述喷淋装置(4)。

3.根据权利要求2所述的基板研磨保护装置，其特征在于，所述定时器(5)和所述第二子控制器(7)集共同组成可编程逻辑控制器。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板研磨保护装置，其特征在于，还包括与所述定时器(5)电性连接的输入装置，所述输入装置用于向所述定时器(5)输入最大研磨时间。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的基板研磨保护装置，其特征在于，所述喷淋装置(4)能够对基板(2)进行间歇喷淋。

6.一种基板的研磨方法，应用于权利要求1至5中任一项所述的基板研磨保护装置，其特征在于，包括以下步骤：

7.根据权利要求6所述的基板的研磨方法，其特征在于，所述基于所述定时器(5)的状态，开启喷淋装置(4)或者关闭研磨电机(3)的步骤，具体包括：

8.根据权利要求6所述的基板的研磨方法，其特征在于，所述基于所述定时器(5)的状态，开启喷淋装置(4)或者关闭研磨电机(3)的步骤，具体包括：

9.根据权利要求6至8中任一项所述的基板的研磨方法，其特征在于，所述向定时器(5)输入最大研磨时间的步骤，具体包括：

10.根据权利要求6至8中任一项所述的基板的研磨方法，其特征在于，所述向定时器(5)输入最大研磨时间的步骤，具体包括：

技术总结本发明涉及基板研磨技术领域，公开了一种基板研磨保护装置及基板的研磨方法。其中，基板研磨保护装置包括：研磨盘，上表面用于研磨基板；研磨电机，与研磨盘相连接，用于带动研磨盘旋转；喷淋装置，用于对基板进行喷淋；控制器，与研磨电机电性连接；定时器，与研磨电机、喷淋装置以及控制器电性连接；基板研磨保护装置具有工作状态和保护状态，在工作状态下，控制器开启定时器和研磨电机；在保护状态下，控制器关闭研磨电机，并开启喷淋装置。本发明通过在基板研磨保护装置内加入定时器，能够有效防止研磨盘超时转动，降低基板的加工风险。技术研发人员：周庆亚,戴豪,杨宽,张为强受保护的技术使用者：北京晶亦精微科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/11