固态源蒸发态真空分配器的制作方法

本技术涉及一种真空分配器，具体为固态源蒸发态真空分配器，属于真空分配器。

背景技术：

1、此装置主要应用于cvd设备领域，主要解决cvd设备内的供气与匀气问题，cvd设备最重要的气体均匀控制且在匀气的过程不能使气体提前产生化学反应。

2、薄膜在生长的过程中，不具备小体积多通路气体混合匀气的功能，并且不能均匀控制气体，且在匀气的过程气体容易提前产生化学反应，因此不能实现对固态源的快速增补，并且不能满足高温高真空的环境下使用，薄膜生长的均匀性较差。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型的目的就在于为了解决上述在匀气的过程气体容易提前产生化学反应，因此不能实现对固态源的快速增补，并且不能满足在1000℃以上高温高真空的环境下使用，薄膜生长的均匀性较差的问题。

3、(二)技术方案

4、本实用新型通过以下技术方案予以实现：固态源蒸发态真空分配器，包括真空分配器本体，所述真空分配器本体顶部安装有固态源加料口，所述固态源加料口一侧安装有b气进气嘴，所述固态源加料口内部固定连接有挡气层，所述挡气层一侧设置有a气室，所述a气室底部开设有a气匀气孔，所述固态源加料口底部开设有蒸发气孔，所述蒸发气孔和a气匀气孔底部设置有蒸发混合气体，所述蒸发混合气体底部开设有匀气孔。

5、优选地，所述真空分配器本体内部密封设置有匀气板，匀气板，主要为了将混合好的气体进一步进行匀气，匀气板是可拆卸式的，可以根据匀气效果更换，且为清洗维护提供了便利，所述匀气板内部转动连接有清理板，所述清理板外侧固定连接有齿轮，所述齿轮一侧啮合连接有齿条，通过设置清理板用于把匀气板顶部的化学反应产生的化学物质刮除。

6、优选地，所述匀气板底部滑动连接有套筒，所述套筒内部固定连接有弹簧，所述齿条滑动连接于套筒内部，所述齿条固定连接于弹簧一端，通过设置弹簧用于使齿条的位置可以复位，同时也是对齿条支撑。

7、优选地，所述套筒贯穿真空分配器本体并与真空分配器本体滑动连接，所述套筒外侧固定连接有螺栓套筒，所述螺栓套筒螺纹连接于真空分配器本体一侧，通过设置螺栓套筒用于调节匀气板的方向，并对匀气板进行固定和限位。

8、优选地，所述a气室顶部固定连接有a气进气嘴，所述a气室一侧固定连接有c气进气嘴，所述固态源加料口内部设置有固态源颗粒，通过设置a气进气嘴和c气进气嘴使不同气体可以从不同的腔室进入，避免气体提前发生反应。

9、优选地，所述真空分配器本体内部安装有储料桶，所述储料桶底部密封螺纹连接有螺纹筒，通过设置螺纹筒用于排出储料桶化学反应后的残余物质。

10、优选地，所述匀气板顶部一侧设置有开口，所述匀气板的截面形状设置为u形。

11、本实用新型提供了固态源蒸发态真空分配器，其具备的有益效果如下：

12、1、该固态源蒸发态真空分配器，把蒸发的气体从蒸发气孔带入到蒸发混合气体中，同时a气室持续通入一定量的气体，一起在蒸发混合气体内部均匀的混合，最终混合完成的气体从底部的匀气孔送入真空分配器本体内，这样既避免了气室之间的相互污染也阻止了不同气体可能带来的提前反应，因为整体为石英加工而成，在不需要冷却水的情况下也能耐1000℃以上的高温。

13、2、该固态源蒸发态真空分配器，清理板可以把拦截在匀气板顶部的化学物质进行刮除，使刮除的化学物质可以通过匀气板的开口处流入到储料桶内部，随着储料桶中的化学物质越积越多，此时可以打开螺纹筒把储料桶中的化学物质排出，此结构有益于方便拦截气体中夹带的化学反应产生的化学物质，同时方便把化学物质清理出来，结构简单，操作方便，节省时间，节省人力。

技术特征：

1.固态源蒸发态真空分配器，包括真空分配器本体(1)，其特征在于：所述真空分配器本体(1)顶部安装有固态源加料口(10)，所述固态源加料口(10)一侧安装有b气进气嘴(11)，所述固态源加料口(10)内部固定连接有挡气层(12)，所述挡气层(12)一侧设置有a气室(5)，所述a气室(5)底部开设有a气匀气孔(6)，所述固态源加料口(10)底部开设有蒸发气孔(3)，所述蒸发气孔(3)和a气匀气孔(6)底部设置有蒸发混合气体(4)，所述蒸发混合气体(4)底部开设有匀气孔(7)。

2.根据权利要求1所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述真空分配器本体(1)内部密封设置有匀气板(19)，所述匀气板(19)内部转动连接有清理板(14)，所述清理板(14)外侧固定连接有齿轮(15)，所述齿轮(15)一侧啮合连接有齿条(16)。

3.根据权利要求2所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述匀气板(19)底部滑动连接有套筒(13)，所述套筒(13)内部固定连接有弹簧(17)，所述齿条(16)滑动连接于套筒(13)内部，所述齿条(16)固定连接于弹簧(17)一端。

4.根据权利要求3所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述套筒(13)贯穿真空分配器本体(1)并与真空分配器本体(1)滑动连接，所述套筒(13)外侧固定连接有螺栓套筒(21)，所述螺栓套筒(21)螺纹连接于真空分配器本体(1)一侧。

5.根据权利要求1所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述a气室(5)顶部固定连接有a气进气嘴(8)，所述a气室(5)一侧固定连接有c气进气嘴(9)，所述固态源加料口(10)内部设置有固态源颗粒(2)。

6.根据权利要求1所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述真空分配器本体(1)内部安装有储料桶(20)，所述储料桶(20)底部密封螺纹连接有螺纹筒(18)。

7.根据权利要求2所述的固态源蒸发态真空分配器，其特征在于：所述匀气板(19)顶部一侧设置有开口，所述匀气板(19)的截面形状设置为u形。

技术总结本技术提供固态源蒸发态真空分配器，涉及真空分配器技术领域。该固态源蒸发态真空分配器包括真空分配器本体，所述真空分配器本体顶部安装有固态源加料口，所述固态源加料口一侧安装有B气进气嘴，所述固态源加料口内部固定连接有挡气层。该固态源蒸发态真空分配器，把蒸发的气体从蒸发气孔带入到蒸发混合气体中，A气室持续通入一定量的气体，一起在蒸发混合气体内部均匀的混合，最终混合完成的气体从底部的匀气孔送入真空分配器本体内，这样既避免了气室之间的相互污染也阻止了不同气体可能带来的提前反应，因为整体为石英加工而成，在不需要冷却水的情况下也能耐1000℃以上的高温。技术研发人员：张义颖,雍晓龙,何奇受保护的技术使用者：苏州镓耀半导体科技有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/6/13