碳化硅腐蚀炉及其控制方法与流程

本发明涉及晶片加工领域，具体而言，涉及一种碳化硅腐蚀炉及其控制方法。

背景技术：

1、碳化硅(sic)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景。

2、腐蚀炉是碳化硅晶片加工的常用设备之一，现有的腐蚀炉的炉盖通常为人工打开或者关闭，不仅费时费力，而且存在安全隐患。

技术实现思路

1、本发明的目的包括，例如，提供了一种碳化硅腐蚀炉及其控制方法，其能够实现碳化硅腐蚀炉的炉盖的自动开闭，不仅省时省力，而且减少安全隐患。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、第一方面，本发明提供一种碳化硅腐蚀炉，包括：

4、炉体；

5、炉盖，所述炉盖可开闭地设置于所述炉体的顶部；

6、开闭装置，所述开闭装置设置于所述炉体且与所述炉盖连接，用于驱动所述炉盖打开或者关闭；

7、腐蚀篮，所述腐蚀篮可升降地设置于所述炉体；

8、升降装置，所述升降装置设置于所述炉体且与所述腐蚀篮连接，用于驱动所述腐蚀篮从所述炉体外下降至所述炉体内或者从所述炉体内上升至所述炉体外；

9、控制装置，所述控制装置同时与所述开闭装置和所述升降装置电连接，用于根据预设指令控制所述升降装置和所述开闭装置的工况，以使所述腐蚀篮升降前打开所述炉盖并在所述腐蚀篮升降后关闭所述炉盖。

10、在可选的实施方式中，所述炉盖包括第一盖体和第二盖体，所述开闭装置包括电机、第一转轴、第一齿轮、第二转轴及第二齿轮，所述电机与所述第一转轴传动连接，所述第一转轴和所述第二转轴分别可转动地安装于所述炉体，所述第一齿轮和所述第二齿轮相互啮合且分别固定安装于所述第一转轴和所述第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴分别固定连接于所述第一盖体和所述第二盖体，所述控制装置与所述电机电连接，用于控制所述电机驱动所述第一转轴转动，以带动所述第二转轴转动，从而带动所述第一盖体和所述第二盖体相对转动以打开或者关闭所述炉盖。

11、在可选的实施方式中，所述炉盖包括第一盖体和第二盖体，所述第一盖体和所述第二盖体分别滑动连接于所述炉体，所述开闭装置包括第一伸缩件和第二伸缩件，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件分别与所述第一盖体和所述第二盖体连接，所述控制装置同时与所述第一伸缩件和所述第二伸缩件连接，用于控制所述第一伸缩件和所述第二伸缩件分别驱动所述第一盖体和所述第二盖体滑动，以使所述第一盖体和所述第二盖体相对靠近以关闭所述炉盖或者相对远离以打开所述炉盖。

12、在可选的实施方式中，所述炉体上方设置有与所述控制装置电连接的第一红外传感器，所述第一红外传感器的出光口竖直向下，当所述炉盖打开时，所述第一红外传感器发出的光线被所述炉盖遮挡。

13、在可选的实施方式中，所述炉体上方设置有与所述控制装置电连接的第二红外传感器和第三红外传感器，所述第二红外传感器的出光口竖直朝下，当所述炉盖打开时，所述第二红外传感器发出的光线被所述腐蚀篮遮挡，所述第三红外传感器的出光口水平朝向所述炉盖的上方，当所述腐蚀篮升降至所述炉盖所在水平位置时，所述第三红外传感器发出的光线被所述腐蚀篮遮挡。

14、第二方面，本发明提供一种碳化硅腐蚀炉的控制方法，用于控制前述实施方式任一项所述的碳化硅腐蚀炉，包括：

15、获取预设指令；

16、根据所述预设指令控制所述升降装置和开闭装置的工况，以使所述腐蚀篮升降前打开所述炉盖并在所述腐蚀篮升降后关闭所述炉盖。

17、在可选的实施方式中，所述预设指令包括：

18、在所述腐蚀篮升降前预设时间控制所述开闭装置打开所述炉盖；

19、判断所述炉盖是否打开；

20、在所述炉盖打开的情况下控制所述升降装置驱动所述腐蚀篮升降；

21、判断所述腐蚀篮是否升降到位；

22、在所述腐蚀篮升降到位的情况下控制所述开闭装置关闭所述炉盖。

23、在可选的实施方式中，前述实施方式所述的碳化硅腐蚀炉的控制方法还包括：

24、获取外部指令并根据所述外部指令控制所述升降装置和所述开闭装置的工况，其中，所述外部指令的优先级高于所述预设指令的优先级。

25、本发明实施例的有益效果包括，例如：

26、本发明提供的碳化硅腐蚀炉包括炉体、炉盖、开闭装置、腐蚀篮、升降装置及控制装置，炉盖可开闭地设置于炉体的顶部，开闭装置设置于炉体且与炉盖连接，用于驱动炉盖打开或者关闭，腐蚀篮可升降地设置于炉体，升降装置设置于炉体且与腐蚀篮连接，用于驱动腐蚀篮从炉体外下降至炉体内或者从炉体内上升至炉体外，控制装置同时与开闭装置和升降装置电连接，用于根据预设指令控制升降装置和开闭装置的工况，以使腐蚀篮升降前打开炉盖并在腐蚀篮升降后关闭炉盖。本碳化硅腐蚀炉可以根据预设指令控制升降装置和开闭装置的工况，从而自动控制炉盖的打开或者关闭，不仅省时省力，效率高，而且减少了安全隐患，保证人员安全，有效弥补了现有技术的缺陷。

技术特征：

1.一种碳化硅腐蚀炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖(200)包括第一盖体(210)和第二盖体(220)，所述开闭装置(300)包括电机(310)、第一转轴(312)、第一齿轮(316)、第二转轴(314)及第二齿轮(318)，所述电机(310)与所述第一转轴(312)传动连接，所述第一转轴(312)和所述第二转轴(314)分别可转动地安装于所述炉体(100)，所述第一齿轮(316)和所述第二齿轮(318)相互啮合且分别固定安装于所述第一转轴(312)和所述第二转轴(314)，所述第一转轴(312)和所述第二转轴(314)分别固定连接于所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)，所述控制装置(600)与所述电机(310)电连接，用于控制所述电机(310)驱动所述第一转轴(312)转动，以带动所述第二转轴(314)转动，从而带动所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)相对转动以打开或者关闭所述炉盖(200)。

3.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉盖(200)包括第一盖体(210)和第二盖体(220)，所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)分别滑动连接于所述炉体(100)，所述开闭装置(300)包括第一伸缩件(340)和第二伸缩件(350)，所述第一伸缩件(340)和所述第二伸缩件(350)分别与所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)连接，所述控制装置(600)同时与所述第一伸缩件(340)和所述第二伸缩件(350)连接，用于控制所述第一伸缩件(340)和所述第二伸缩件(350)分别驱动所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)滑动，以使所述第一盖体(210)和所述第二盖体(220)相对靠近以关闭所述炉盖(200)或者相对远离以打开所述炉盖(200)。

4.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉体(100)上方设置有与所述控制装置(600)电连接的第一红外传感器(610)，所述第一红外传感器(610)的出光口竖直向下，当所述炉盖(200)打开时，所述第一红外传感器(610)发出的光线被所述炉盖(200)遮挡。

5.根据权利要求1所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，所述炉体(100)上方设置有与所述控制装置(600)电连接的第二红外传感器(620)和第三红外传感器(630)，所述第二红外传感器(620)的出光口竖直朝下，当所述炉盖(200)打开时，所述第二红外传感器(620)发出的光线被所述腐蚀篮(400)遮挡，所述第三红外传感器(630)的出光口水平朝向所述炉盖(200)的上方，当所述腐蚀篮(400)升降至所述炉盖(200)所在水平位置时，所述第三红外传感器(630)发出的光线被所述腐蚀篮(400)遮挡。

6.一种碳化硅腐蚀炉的控制方法，用于控制权利要求1-5任一项所述的碳化硅腐蚀炉，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的碳化硅腐蚀炉的控制方法，其特征在于，所述预设指令包括：

8.根据权利要求6所述的碳化硅腐蚀炉的控制方法，其特征在于，还包括：

技术总结本发明提供了一种碳化硅腐蚀炉及其控制方法，涉及晶片加工领域，碳化硅腐蚀炉包括炉体、炉盖、开闭装置、腐蚀篮、升降装置及控制装置，炉盖可开闭地设置于炉体的顶部，开闭装置设置于炉体且与炉盖连接，用于驱动炉盖打开或者关闭，腐蚀篮可升降地设置于炉体，升降装置设置于炉体且与腐蚀篮连接，用于驱动腐蚀篮从炉体外下降至炉体内或者从炉体内上升至炉体外，控制装置同时与开闭装置和升降装置电连接，用于根据预设指令控制升降装置和开闭装置的工况，以使腐蚀篮升降前打开炉盖并在腐蚀篮升降后关闭炉盖。本碳化硅腐蚀炉及其控制方法可以实现炉盖的自动开闭，不仅省时省力，效率高，而且减少了安全隐患。技术研发人员：苗家旺,吕芳栋,罗鸿,郝运达受保护的技术使用者：通威微电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27