半导体存储装置的制作方法

本实施方式涉及一种半导体存储装置。

背景技术：

1、已知有一种半导体存储装置，具备：存储器串，包含第1存储器晶体管；第1字线，与第1存储器晶体管的栅极电极连接；及源极线，与存储器串的一端连接。

技术实现思路

1、实施方式提供一种高速动作的半导体存储装置。

2、[解决问题的技术手段]

3、一实施方式的半导体存储装置具备：存储器串，包含第1存储器晶体管；第1字线，与第1存储器晶体管的栅极电极连接；源极线，与存储器串的一端连接；以及第1连接晶体管，与第1字线及源极线连接。

4、一实施方式的半导体存储装置具备：存储器串，包含第1存储器晶体管及第1选择晶体管；第1字线，与第1存储器晶体管的栅极电极连接；第1选择栅极线，与第1选择晶体管的栅极电极连接；及源极线，与存储器串的一端连接。在删除第1存储器晶体管的数据的删除动作的第1时点，第1字线的电压成为第1电压，第1选择栅极线的电压成为大于第1电压的第2电压，源极线的电压成为大于第2电压的第3电压。在第1时点之后的第2时点，第1字线的电压成为大于第1电压且小于第3电压的第4电压，第1选择栅极线的电压成为小于第3电压的第5电压。在第2时点之后的第3时点，源极线的电压成为小于第3电压的第6电压。

技术特征：

1.一种半导体存储装置，具备：

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置，还具备：

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置，其中

4.根据权利要求3所述的半导体存储装置，还具备：

5.根据权利要求4所述的半导体存储装置，还具备：

6.根据权利要求5所述的半导体存储装置，还具备：

7.根据权利要求6所述的半导体存储装置，还具备：

8.根据权利要求7所述的半导体存储装置，还具备：

9.根据权利要求7所述的半导体存储装置，还具备：

10.根据权利要求7所述的半导体存储装置，还具备：

11.根据权利要求1所述的半导体存储装置，还具备：

12.根据权利要求1所述的半导体存储装置，还具备：

13.根据权利要求1所述的半导体存储装置，还具备：

14.根据权利要求13所述的半导体存储装置，还具备：

15.根据权利要求14所述的半导体存储装置，其中

技术总结实施方式提供一种高速动作的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备：存储器串，包含第1存储器晶体管；第1字线，与第1存储器晶体管的栅极电极连接；源极线，与存储器串的一端连接；以及第1连接晶体管，与第1字线及源极线连接。技术研发人员：沙納德·布什納克,熊崎规泰,山冈雅史受保护的技术使用者：铠侠股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/22