一种碳化硅晶锭上下料轨道系统的制作方法

本发明涉及碳化硅晶锭储存设备领域，尤其是涉及一种碳化硅晶锭上下料轨道系统。

背景技术：

1、sic作为c和si稳定的化合物，其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成，每个si（或c）原子与周边包围的c（si）原子通过定向的强四面体sp3键结合，虽然sic的四面体键很强，但层错形成能量却很低，这一特点决定了sic的多型体现象，已经发现sic具有250多种多型体。

2、碳化硅晶锭是由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成，大多数晶锭是指多晶硅块。

3、目前在对碳化硅晶锭进行存储、上下料时，通常需要通过人工进行放置、分区、上下料等步骤，而无法对其进行自动整合、存储，同时由于碳化硅晶锭的圆柱体结构形式，使得碳化硅晶锭在存储时，需要在高度方向上留出足够的空间，以保证碳化硅晶锭的存储高度以及拿取时的抬升高度（由于碳化硅晶锭在存储时，需要对其底部边侧进行夹持，以避免碳化硅晶锭出现放置不稳的情况，因此碳化硅晶锭拿取时需要向上移出一定高度距离，才可完全脱离夹持范围），这也使得碳化硅晶锭在存储空间的要求上较高。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种提高碳化硅晶锭上下料的便捷的碳化硅晶锭上下料轨道系统。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种碳化硅晶锭上下料轨道系统，包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置，所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板以及若干第二储料板，所述第一储料板与第二储料板结构相同，且若干第一储料板可同步升降，若干第二储料板可同步升降；所述运输装置包括可升降设置的料架、设于料架上料端的检测组件，所述料架的出料端与若干第一储料板、若干第二储料板均呈对应设置，以使检测组件对晶锭的高度进行检测后，料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处。

3、进一步的，第一储料板处开设有第一驱动孔以及第一导向孔，第二储料板处开设有第二驱动孔以及第二导向孔，且第一驱动孔与第二导向孔相对应，第一导向孔与第二驱动孔相对应，以使第一驱动轴依次穿设经过若干第一储料板处的第一驱动孔以及若干第二储料板处的第二导向孔，第二驱动轴依次穿设经过若干第一储料板处的第一导向孔以及若干第二储料板处的第二驱动孔；所述第一驱动孔与第一驱动轴呈螺纹配合，第二驱动孔与第二驱动轴呈螺纹配合。

4、进一步的，所述第一导向孔内部转动装设有第一转动环，所述第一转动环与第二驱动轴呈移动配合，所述第二导向孔内部转动装设有第二转动环，所述第二转动环与第一驱动轴呈移动配合。

5、进一步的，第一储料板包括储料槽、移动设置于储料槽内的托盘、用于连接托盘以及储料槽的第一伸缩杆，以使料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处时，托盘移动至料架处进行上料储存。

6、进一步的，储料槽一侧具有开口，开口两侧相对设置有挡板，且挡板通过第二伸缩杆呈移动设置，所述第一伸缩杆与第二伸缩杆通过管路连通，以使第一伸缩杆伸长时，第二伸缩杆收缩。

7、进一步的，托盘靠近第一伸缩杆的一侧设置有压板，储料槽内部两侧相对设置有定位组件，所述定位组件包括设于储料槽边侧的按压腔以及定位腔，所述按压腔与定位腔内部通过连接体连通，且按压腔与压板相匹配，以使压板对按压腔进行挤压时，定位腔抵住晶锭的边侧。

8、进一步的，料架一侧设置有支撑架，支撑架边侧沿高度方向开设有移动轨道，移动轨道内移动装设有移动杆，且移动杆一端连接于料架处。

9、进一步的，所述料架的出料端开设有凹槽，且凹槽与托盘相匹配，以使托盘一侧可移动至凹槽中；所述料架的上料端转动连接有料道，且料道呈伸缩设置。

10、进一步的，检测组件包括相对设置于料架上料端两侧的第一检测杆以及第二检测杆，所述第一检测杆上沿高度方向设置有若干发射源，所述第二检测杆上沿高度方向设置有若干接受源，且发射源与接受源一一对应设置。

11、进一步的，所述第一检测杆上设置有第一增高杆，第二检测杆上设置有第二增高杆，且第一增高杆顶端倾斜设置检测件，第二增高杆沿高度方向依次布设有若干接收板，以使检测件发出的检测光接触晶锭顶部后，反射至其中一接收板处。

12、本发明的有益效果在于：由运输装置将加工后的碳化硅晶锭输送至储料装置处进行存储，以便于后续对碳化硅晶锭的再次加工；其中，经过加工后的碳化硅晶锭沿料架进行移动，并经过检测组件对晶锭的高度进行检测，判断该晶锭的存储位置，随后料架升降移动至对应的第一储料板或第二储料板处，使得晶锭可准确的存储至对应的存储区域内，以便于后续可准确的找到不同高度的晶锭；而在需要拿取晶锭时，由于晶锭需要向上移动一定距离以脱离夹持范围，为进一步增加晶锭的存储空间以及拿取空间，因此将若干第一储料板进行同步升降设置，若干第二储料板进行同步升降设置，使得第一储料板与第二储料板在存储状态下时，仅留出晶锭的存储高度空间以及一定的设定高度空间（设定高度可通过出厂设置或厂家设计），而在需要对第一储料板或第二储料板的晶锭进行拿取时，将第一储料板/第二储料板同步下降，由于此时第二储料板/第一储料板位置高度不变，使得第一储料板或第二储料板上的拿取高度空间增加，以便于对晶锭进行拿取，随后将第一储料板或第二储料板进行上升复位，即可恢复存储状态，保证晶锭的存储空间。

技术特征：

1.一种碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置，所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板(1)以及若干第二储料板(2)，所述第一储料板(1)与第二储料板(2)结构相同，且若干第一储料板(1)可同步升降，若干第二储料板(2)可同步升降；所述运输装置包括可升降设置的料架(3)、设于料架(3)上料端的检测组件，所述料架(3)的出料端与若干第一储料板(1)、若干第二储料板(2)均呈对应设置，以使检测组件对晶锭的高度进行检测后，料架(3)将晶锭运输至对应的第一储料板(1)或第二储料板(2)处。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：第一储料板(1)处开设有第一驱动孔(4)以及第一导向孔(5)，第二储料板(2)处开设有第二驱动孔(6)以及第二导向孔(7)，且第一驱动孔(4)与第二导向孔(7)相对应，第一导向孔(5)与第二驱动孔(6)相对应，以使第一驱动轴(8)依次穿设经过若干第一储料板(1)处的第一驱动孔(4)以及若干第二储料板(2)处的第二导向孔(7)，第二驱动轴(9)依次穿设经过若干第一储料板(1)处的第一导向孔(5)以及若干第二储料板(2)处的第二驱动孔(6)；所述第一驱动孔(4)与第一驱动轴(8)呈螺纹配合，第二驱动孔(6)与第二驱动轴(9)呈螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：所述第一导向孔(5)内部转动装设有第一转动环(10)，所述第一转动环(10)与第二驱动轴(9)呈移动配合，所述第二导向孔(7)内部转动装设有第二转动环(11)，所述第二转动环(11)与第一驱动轴(8)呈移动配合。

4.根据权利要求1所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：第一储料板(1)包括储料槽(12)、移动设置于储料槽(12)内的托盘(13)、用于连接托盘(13)以及储料槽(12)的第一伸缩杆(14)，以使料架(3)将晶锭运输至对应的第一储料板(1)或第二储料板(2)处时，托盘(13)移动至料架(3)处进行上料储存。

5.根据权利要求4所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：储料槽(12)一侧具有开口，开口两侧相对设置有挡板(15)，且挡板(15)通过第二伸缩杆(16)呈移动设置，所述第一伸缩杆(14)与第二伸缩杆(16)通过管路连通，以使第一伸缩杆(14)伸长时，第二伸缩杆(16)收缩。

6.根据权利要求4所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：托盘(13)靠近第一伸缩杆(14)的一侧设置有压板(17)，储料槽(12)内部两侧相对设置有定位组件，所述定位组件包括设于储料槽(12)边侧的按压腔(18)以及定位腔(19)，所述按压腔(18)与定位腔(19)内部通过连接体(20)连通，且按压腔(18)与压板(17)相匹配，以使压板(17)对按压腔(18)进行挤压时，定位腔(19)抵住晶锭的边侧。

7.根据权利要求1所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：料架(3)一侧设置有支撑架(21)，支撑架(21)边侧沿高度方向开设有移动轨道(22)，移动轨道(22)内移动装设有移动杆(23)，且移动杆(23)一端连接于料架(3)处。

8.根据权利要求1所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：所述料架(3)的出料端开设有凹槽(24)，且凹槽(24)与托盘(13)相匹配，以使托盘(13)一侧可移动至凹槽(24)中；所述料架(3)的上料端转动连接有料道(25)，且料道(25)呈伸缩设置。

9.根据权利要求1所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：检测组件包括相对设置于料架(3)上料端两侧的第一检测杆(26)以及第二检测杆(27)，所述第一检测杆(26)上沿高度方向设置有若干发射源(28)，所述第二检测杆(27)上沿高度方向设置有若干接受源(29)，且发射源(28)与接受源(29)一一对应设置。

10.根据权利要求9所述的碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：所述第一检测杆(26)上设置有第一增高杆(30)，第二检测杆(27)上设置有第二增高杆(31)，且第一增高杆(30)顶端倾斜设置检测件(32)，第二增高杆(31)沿高度方向依次布设有若干接收板(33)，以使检测件(32)发出的检测光接触晶锭顶部后，反射至其中一接收板(33)处。

技术总结本发明提供一种碳化硅晶锭上下料轨道系统，包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置，所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板以及若干第二储料板，所述第一储料板与第二储料板结构相同，且若干第一储料板可同步升降，若干第二储料板可同步升降；所述运输装置包括可升降设置的料架、设于料架上料端的检测组件，所述料架的出料端与若干第一储料板、若干第二储料板均呈对应设置，以使检测组件对晶锭的高度进行检测后，料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处；本发明提高碳化硅晶锭上下料的便捷。技术研发人员：刘东立,朱伟杰受保护的技术使用者：西湖仪器（杭州）技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2