具有高密封性的基板烘烤炉的制作方法

本发明涉及一种液晶、等离子等平面显示器所使用的玻璃基板制作设备，尤其涉及用于对玻璃基板表面涂布光阻剂固化用烘烤箱炉设备，具体地说是基板烘烤箱炉高密封性能的进出料门窗结构。

背景技术：

1、影响玻璃基板烘烤质量的关键因素是烘烤温度的稳定性。在烘烤炉的烘烤腔中形成加热温度低或加热温度波动而带来的烘烤不均匀，使得玻璃基板上的光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发，在烘烤不足区域溶剂未充分挥发，曝光显影时未受光部分也被溶除形成浮胶或者使图形变形，烘烤过度又导致胶膜翘曲硬化，显影时会显不出图形或者图形留有底膜；烘烤温度的不均匀还会在玻璃基板上因温度梯度引起热应力，导致基板玻璃的开裂或破碎，降低烘烤成品率。

2、现有的玻璃基板烘烤箱炉是一可以容纳多层玻璃基板的大型箱体，其箱体的长、宽、高度可达到4-6米，甚至更大。在烘烤炉体的一侧面上活动地安装有若干可开启、关闭的门窗单元，在烘烤箱炉烘烤腔中设置有能多层搁置烘烤玻璃基板的玻璃卡架；基板玻璃卡架上每一玻璃基板搁置层均对应有一门窗单元。烘烤箱体上的门窗单元大都在30-40层，工作时各层烘烤玻璃基板能交替地被送入或取出烘烤腔，以提高烘烤效率。

3、这种结构使得每一门窗单元均为细长条的开启门扇，显然细长条状的门扇结构稳定性差，在热胀冷缩作用下难以保证门扇的开启控制和密闭性能。由于门扇内外两侧具有较大的温度差异，门扇体在热胀冷缩和温度变化和作用下会产生翘曲和热变形，而密封板的弯曲变形必然使其与烘烤炉体窗口密封面之间产生间隙，并且这种间隙在长度方向上还是不一致的。一方面门扇密封板与炉体窗口周边的间隙会造成烘烤腔中烘烤热能的泄漏，难以达到理想的烘烤温度；另一方面由于密封板长向泄漏间隙的不一致，又会引起烘烤腔内温度波动，带来对玻璃基板的烘烤不均匀。

4、门扇体的热胀冷缩还会对门扇单元两端的启闭驱动机构形成挤压破坏，导致启闭驱动的损坏或启闭动作失准。由于炉体上的各个门扇单元均为细长条状，因而在门扇单元两端均对称地设置有启闭驱动机构，目前的启闭驱动机构是驱动气缸构成的单摆杆结构，这种结构中的门扇是以摆动方式接近和离开炉体窗口的，其缺陷在于当门扇关闭时门扇的上下边的接近速度和接触压力不一，并且会以不均衡的密封挤压力贴向炉体窗口周边，形成门扇上下侧的密封不一致，尤其容易在长向侧边形成泄漏。

5、目前门扇单元与炉体进出料窗口的密封是通过安装于炉体上的橡胶密封条实现的，这种实心结构的密封条弹性不足，不能保证门扇密封贴合部位产生密实接触，直接影响门扇的密封性能。同时现有密封条是直接安装于高温炉体窗口周边的，长时期工作于高温环境下的橡胶密封件硬度会变硬，导致密封件的变形和挤压抗压性减弱，密封件紧密度降低；同时在高温环境下的密封件弹性减弱，容易形成烘烤腔内热能泄漏。

技术实现思路

1、针对现有技术所存在的上述不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有高密封性的基板烘烤炉，不仅能有效地消除热胀冷缩导致的启闭门扇变形，而且密封性能优，使用寿命长。

2、为了解决上述技术问题，本发明具有高密封性的基板烘烤炉，包括烘烤炉体，该烘烤炉体的一侧面上活动地安装有若干门扇单元，所述门扇单元的两端固定连接有门扇端块，所述门扇端块分别固定安装于门扇撑杆的两端，在门扇撑杆上安装有门扇密封板；所述门扇端块通过滑动螺栓可滑移地安装于对应的摆臂连接块上，在摆臂连接块上铰连有上摆臂和下摆臂，所述上摆臂或下摆臂上铰连有驱动气缸，该驱动气缸铰支于烘烤炉体上；每一所述门扇单元均对应有一门扇密封，各门扇密封均通过密封隔热垫板安装于烘烤炉体上，所述门扇密封为带有空腔热密封条。

3、在上述结构中，由于门扇单元并不是采用整体的板式结构，而是将用于关闭密封的门扇密封板安装于门扇撑杆上，这种分体式结构有效地避免整体密封板因热胀冷缩产生翘曲变形而引起的关闭间隙。在本发明结构中，当门扇单元因温度波动和温度变化时，门扇密封板可以相对门扇撑杆向两端延伸而保持平直，从而确保其均匀贴合的密封效果。同时在门扇撑杆的两端对称地安装有门扇端块，这种结构可以在门扇单元的两端对称安装驱动单元，有利于实现细长条状门扇的整体同步运行。

4、由于安装于门扇撑杆两端的门扇端块是通过滑动螺栓可滑移地安装于摆臂连接块上的，滑动螺栓不仅能够提供门扇端块和摆臂连接块两者的结合力，而且还能够保证门扇端块和摆臂连接间的相对微量滑移，这样当门扇撑杆因热胀冷缩而产生长度变化时，门扇端块和摆臂连接块的相对滑移可以补偿和消除这种长度变化，既不会因温度变化而引起门扇及撑杆的翘曲变形，也不会因这种长度变化形成对两端启闭驱动机构的挤压破坏。

5、由于在摆臂连接块上铰连有上摆臂和下摆臂，在上摆臂或下摆臂上铰连有支承于炉体上的驱动气缸，摆臂连接块、上摆臂、下摆臂及炉体能构成平行四杆机构，这样与摆臂连接块固定连接的门扇密封面可以均衡同步地贴近炉体上进出料窗口位置，使门扇单元的密封板与进出料窗口边保持均衡压紧贴合效果，密封性更加稳定可靠。铰连于摆臂上的驱动气缸可以通过较小的伸缩位移量而获得门扇单元较大的平动启闭平动量。

6、由于门扇密封为带有空腔的密封条，可以有效地增加密封条的弹性和密封变形量，不仅增加了密封贴合面的面积，稳定密封效果，而且能有效地补偿和避免门扇形变对密封效果带来的不利影响，特别适用于细长条状门扇的可靠密封。同时在密封条中设置空腔，又提高密封条的阻热效果，因此带有密封空腔的密封条能大大提高密封质量和可靠性，从而稳定烘烤炉的烘烤质量。

7、由于门扇密封是通过密封隔热垫板安装于烘烤炉体上的，烘烤炉体的高温会使密封件硬度变硬，导致密封变形和挤压失效，高温还会导致密封圈弹性减弱，难以恢复原状，弹性的减弱还会使密封条的紧密度降低，增加泄漏的风险。本发明在门扇密封与烘烤炉体之间安装有密封隔热垫板后，阻断了烘烤炉高温对门扇密封的影响，不仅保证了密封件弹性和抗压性能，而且能有效减缓密封件的老化速度，既稳定了密封性能，又延长了密封件的使用寿命。

8、本发明的一种优选实施方式，所述门扇单元包括两端的门扇端块，在两门扇端块之间固定连接有两根相互平行的门扇撑杆，所述门扇密封板安装于门扇撑杆上。所述滑动螺栓包括螺栓和螺母；所述门扇端块或摆臂连接块上设置有滑移腰孔，用于连接门扇端块和摆臂连接块的螺栓穿过所述滑移腰孔，安装时该螺栓具有设定扭矩值。既能门扇单元的可靠支承，又能实现门扇单元的伸缩滑移。

9、本发明的另一种优选实施方式，所述滑动螺栓包括螺栓和螺母；所述门扇端块或摆臂连接块上设置有滑移腰孔，用于连接门扇端块和摆臂连接块的螺栓穿过所述滑移腰孔，所述螺栓上套装有弹簧或弹性套。能够保持稳定摩擦力和弹性力，实现可靠连接和相对滑移。

10、本发明的进一步实施方式，所述上摆臂和下摆臂的铰支端铰支于摆臂铰支座上，该摆臂铰支座通过启闭机构安装座固定安装于烘烤炉体上；所述驱动气缸的活塞杆通过活塞杆铰连头铰连于活塞杆端，所述驱动气缸的缸体通过启闭机构安装座固定安装于烘烤炉体上；安装于所述烘烤炉体上的上摆臂、下摆臂及摆臂连接块构成平行四边形机构。能够使门扇单元以平动的方式贴紧炉体窗口，密封挤压力均匀，密封效果优。

11、本发明的一种优选实施方式，所述门扇密封板位于门扇单元的面热侧；该门扇密封板的中部固定安装于门扇撑杆中部位置，门扇密封板的两端沿长度方向向两端自由伸展。能保持门扇密封板的平直，结构简单，密封性能好。

12、本发明的另一种优选实施方式，所述门扇密封板位于门扇单元的面热侧；该门扇密封板包括有若干块密封板，各密封板均安装于门扇撑杆上。能保持门扇密封板的平直和可靠的密封性。

13、本发明的进一步实施方式，所述门扇密封的本体带有密封空腔，在该密封空腔中设置有密封腔横肋；所述门扇密封的密封面上设置有密封凸棱，在门扇密封的安装端设置有安装卡槽。能够保证良好的密封弹性和可靠的密封性能。

14、本发明的一种优选实施方式，所述门扇密封通过折形安装板和插入安装板安装于密封隔热垫板上；所述折形安装板的本体上设置有限位折边，所述插入安装板设置有倾斜的插入边。结构简单，安装方便。

15、本发明的一种优选实施方式，所述门扇密封由硅橡胶或氟橡胶制成，所述密封隔热垫板为白云母板。有效地提高门扇密封的耐热性能，延长使用寿命。