一种串联式多坩埚设备及使用方法与流程

本发明涉及晶体生长，具体而言，涉及一种串联式多坩埚设备及使用方法。

背景技术：

1、目前，高纯碳化硅原料的合成主流工艺技术是将高纯碳粉和高纯硅粉充分混合后放入石墨坩埚内进行高温烧结合成。现有技术中的坩埚设备存在每次只安装一个石墨坩埚，每次只能合成一埚原料，生产效率低下的技术问题。

技术实现思路

1、本发明提供了一种串联式多坩埚设备及使用方法，其能够一次安装多个坩埚，从而增加一次生产过程中合成的碳化硅原料的数量，提高生产效率。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、本发明的实施例提供了一种串联式多坩埚设备，其包括：

4、保温筒，所述保温筒具有沿竖直方向设置的空腔，所述空腔包括相互连通的加热腔和存储腔；

5、加热件，所述加热件设置于所述保温筒的外部，且所述加热件的位置和所述加热腔的位置相对应；

6、至少两个坩埚，至少两个所述坩埚均设置于所述空腔内；

7、升降装置，所述升降装置和所述坩埚连接，所述升降装置带动至少两个所述坩埚在所述空腔内沿竖直方向滑动，使得至少两个所述坩埚依次到达所述加热腔以及所述存储腔，从而依次进行加热工作以及加热后的存储工作；

8、所述坩埚的数量为n个，n个所述坩埚沿竖直方向层叠设置，所述存储腔的高度不小于n﹣1个所述坩埚的总高度；

9、所述加热件的高度是所述加热腔的高度的1.1倍-2倍；

10、所述升降装置包括滑动框体以及驱动件，所述驱动件和所述滑动框体连接，所述滑动框体可滑动地设置于所述空腔，至少两个所述坩埚均设置于所述滑动框体内；

11、所述滑动框体包括下保温板以及隔热板，所述下保温板的底部和所述驱动件连接，至少两个所述坩埚均承托在所述下保温板上，且所述隔热板设置于相邻两个所述坩埚之间。

12、可选地，所述坩埚的数量为三个，所述升降装置和位于底部的所述坩埚连接, 所述存储腔的高度不小于两个所述坩埚的总高度。

13、可选地，所述坩埚的侧壁设有排气孔，所述坩埚内部的无用元素通过所述排气孔排出。

14、可选地，所述串联式多坩埚设备还包括石英管，所述石英管套设于所述保温筒的外部，所述加热件位于所述石英管的外部。

15、可选地，所述加热件包括感应加热件和/或电阻加热件。

16、本发明的实施例还提供了一种串联式多坩埚设备的使用方法，利用串联式多坩埚设备进行工作，所述串联式多坩埚设备的使用方法包括：

17、驱动所述升降装置滑动，使得所述升降装置带动至少两个所述坩埚在所述空腔内滑动；

18、驱动第一个所述坩埚到达所述加热腔，所述加热件对位于所述加热腔内的所述坩埚进行加热，并对下一个到达所述加热腔的所述坩埚进行预热；

19、在位于所述加热腔内的所述坩埚加热完毕后，驱动所述升降装置继续滑动，加热完毕的第一个所述坩埚移动至所述存储腔进行保温存储，使得下一个所述坩埚进入所述加热腔，并通过所述加热件进行加热。

20、本发明实施例的串联式多坩埚设备及使用方法的有益效果包括，例如：

21、该串联式多坩埚设备包括保温筒、加热件、升降装置以及至少两个坩埚，所述保温筒具有沿竖直方向设置的空腔，所述空腔包括相互连通的加热腔和存储腔，所述加热件设置于所述保温筒的外部，且所述加热件的位置和所述加热腔的位置相对应，至少两个所述坩埚均设置于所述空腔内，所述升降装置和所述坩埚连接，所述升降装置带动至少两个所述坩埚在所述空腔内沿竖直方向滑动，使得至少两个所述坩埚依次到达所述加热腔以及所述存储腔，从而依次进行加热工作以及加热后的存储工作。使用时，将至少两个坩埚放置在保温筒的空腔中，升降装置能带动至少两个坩埚相对于空腔滑动，使得至少两个坩埚依次进入加热腔内，并通过加热件进行加热合成工作，从而形成碳化硅原料，加热完毕后依次进入存储腔内进行保温存储，从而增加一次生产过程中合成的碳化硅原料的数量，提高生产效率。

22、该串联式多坩埚设备的使用方法利用串联式多坩埚设备进行工作，所述串联式多坩埚设备的使用方法包括：驱动所述升降装置滑动，使得所述升降装置带动至少两个所述坩埚在所述空腔内滑动；驱动第一个所述坩埚到达所述加热腔，所述加热件对位于所述加热腔内的所述坩埚进行加热，并对下一个到达所述加热腔的所述坩埚进行预热；在位于所述加热腔内的所述坩埚加热完毕后，驱动所述升降装置继续滑动，加热完毕的第一个所述坩埚移动至所述存储腔进行保温存储，使得下一个所述坩埚进入所述加热腔，并通过所述加热件进行加热。该串联式多坩埚设备的使用方法能够增加一次生产过程中合成的碳化硅原料的数量，提高生产效率。

技术特征：

1.一种串联式多坩埚设备，其特征在于，包括：

2. 根据权利要求1所述的串联式多坩埚设备，其特征在于，所述坩埚（30）的数量为三个，所述升降装置（40）和位于底部的所述坩埚（30）连接, 所述存储腔（12）的高度不小于两个所述坩埚（30）的总高度。

3.根据权利要求1所述的串联式多坩埚设备，其特征在于，所述坩埚（30）的侧壁设有排气孔（31），所述坩埚（30）内部的无用元素通过所述排气孔（31）排出。

4.根据权利要求1所述的串联式多坩埚设备，其特征在于，所述串联式多坩埚设备（1000）还包括石英管（50），所述石英管（50）套设于所述保温筒（10）的外部，所述加热件（20）位于所述石英管（50）的外部。

5.根据权利要求1-4任一项所述的串联式多坩埚设备，其特征在于，所述加热件（20）包括感应加热件和/或电阻加热件。

6.一种串联式多坩埚设备的使用方法，其特征在于，利用权利要求1-5任一项所述的串联式多坩埚设备进行工作，所述串联式多坩埚设备（1000）的使用方法包括：

技术总结本发明的实施例提供了一种串联式多坩埚设备及使用方法，涉及晶体生长领域。该串联式多坩埚设备包括保温筒、加热件、升降装置以及至少两个坩埚，保温筒具有沿竖直方向设置的空腔，空腔包括相互连通的加热腔和存储腔，加热件设置于保温筒的外部，且加热件的位置和加热腔的位置相对应，至少两个坩埚均设置于空腔内，升降装置和坩埚连接，升降装置带动至少两个坩埚在空腔内沿竖直方向滑动，使得至少两个坩埚依次到达加热腔以及存储腔，从而依次进行加热工作以及加热后的存储工作。从而增加一次生产过程中合成的碳化硅原料的数量，提高生产效率。技术研发人员：蔡金荣,陈建明,赵文超,张江涛,杨洪雨受保护的技术使用者：苏州优晶半导体科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26