料盒输送装置的制作方法

本发明涉及半导体制造，特别是涉及一种料盒输送装置。

背景技术：

1、随着自动化生产技术的不断发展，特别是在半导体制造领域，对生产效率和生产过程的自动化程度提出了更高的要求。在半导体生产过程中，料盒的上下料操作是一个关键环节。传统的料盒上下料方式多种多样，但大多数都采用单一的水平或垂直上下料方式。这些方式在某些特定应用场景下可能表现良好，但在需要兼容不同尺寸料盒的情况下，往往显得不够灵活和高效。

2、传统技术中，针对不同尺寸大小的料盒进行自动上下料的方案较为有限，尤其是在需要同时处理多个料盒堆叠的应用场景中，现有的设备和方法难以满足高效、稳定的操作需求。此外，如何实现多个料盒堆叠的自动装卸载功能，并确保下层进料上层出料的顺畅进行，也是一个亟待解决的问题。

3、在半导体生产线中，自动光学检测（aoi）设备的上下料单元需要具备高效、稳定和兼容性强的特点，以适应不同规格料盒的自动化操作。因此，亟待开发一种能够兼容不同尺寸的料盒的自动上下料设备。

4、本技术的背景技术所公开的以上信息仅用于理解本技术构思的背景，并且可以包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种料盒输送装置。

2、一种料盒输送装置，其包括：

3、机架，所述机架包括相对间隔设置的第一立板和第二立板；

4、第一支撑板，所述第一支撑板设于所述第一立板和所述第二立板之间，所述第一支撑板用于承载空料盒；

5、第二支撑板，所述第二支撑板设于所述第一立板和所述第二立板之间且沿高度方向与所述第一支撑板间隔设置，所述第二支撑板用于承载装有物料的料盒；

6、第一挡板组件，所述第一挡板组件设于所述第一支撑板，所述第一挡板组件朝向第一立板能够相对所述第一立板运动以靠近或远离所述第一立板，并调整所述第一挡板组件与所述第一立板之间的间距，以将所述装有物料的料盒限制在所述第一挡板组件和所述第一立板之间；以及

7、第二挡板组件，所述第二挡板组件设于所述第二支撑板，所述第二挡板组件朝向第一立板能够相对所述第一立板运动以靠近或远离所述第一立板，并调整所述第二挡板组件与所述第一立板之间的间距，以将所述空料盒限制在所述第二挡板组件和所述第一立板之间。

8、上述料盒输送装置至少可以实现如下有益效果：通过在机架上设置第一支撑板和第二支撑板，可以同时处理空料盒和装有物料的料盒，减少了上下料的等待时间，提高了整体生产效率。采用上下层结构设计，充分利用垂直空间，减少了占用的地面面积，有助于在有限的生产空间内实现更高效的生产布局。其中，第一挡板组件和第二挡板组件能够相对第一立板运动，以调整与第一立板之间的间距。通过调节第一挡板组件与第一立板之间的间距及第二挡板组件与第一立板之间的间距，能够方便地适应不同规格的料盒，具有很强的适应性，操作简便，灵活性高。此外，第一挡板组件和第二挡板组件的设置，可以分别有效地限制料盒在第一支撑板和第二支撑板上的位置，防止料盒在输送过程中发生倾斜或掉落，保证了输送过程的稳定性和安全性。

9、在其中一个实施例中，所述料盒输送装置还包括定位组件和输送组件，所述输送组件设于所述第一支撑板，所述输送组件用于承载装有物料的料盒并将所述料盒沿第一方向输送，所述定位组件设于所述机架且位于所述输送组件在所述第一方向上的末端，并用于与所述输送组件上的所述料盒抵接以限制所述料盒的移动。所述输送组件设于第一支撑板上，能够自动承载并输送装有物料的料盒，减少了人工干预，提高了生产的自动化程度和效率。定位组件可以对输送组件上的料盒起到拦截作用，当料盒输送至预定位置便被定位组件所限位，从而方便其他设备对料盒内的物料进行取用。

10、在其中一个实施例中，所述输送组件包括多个输送带，多个所述输送带均沿所述第一方向与所述第一挡板组件平行，且多个所述输送带间隔设置于所述第一挡板组件和所述第一立板之间，多个所述输送带用于共同承载并输送所述装有物料的料盒。多个输送带均匀分布在第一挡板组件和第一立板之间，能够共同承载装有物料的料盒，分散了料盒的重量，避免单一输送带承载过重导致的磨损或损坏。多个输送带的设置可以更均匀地支撑料盒，使其在输送过程中保持平稳，减少颠簸和倾斜，进一步保证了输送过程的稳定性。由于多个输送带共同作用，即使其中一个输送带出现故障，其他输送带仍能继续支撑料盒，防止料盒在输送过程中倾斜或掉落，增加了系统的可靠性。多个输送带的间隔设置，使得装置能够适应不同尺寸和形状的料盒，具有很强的适应性，适合多种生产需求。需要说明的是，输送带的数量和间距可以根据实际需求进行调整，灵活配置以适应不同的生产环境和工艺要求。

11、在其中一个实施例中，所述定位组件包括固定架、限位块和定位感应器，所述固定架设于所述机架，所述限位块设于所述固定架，所述限位块位于所述输送组件在所述第一方向上的末端，且所述限位块至少部分凸出于所述输送组件的上表面以用于拦截料盒，所述定位感应器设于所述固定架且能够在所述限位块与所述料盒抵接时检测到所述料盒。通过限位块的设计，当料盒输送至预定位置时，限位块能够有效拦截料盒，确保料盒准确停留在指定位置，提供了精确的定位效果。定位感应器能够在限位块与料盒抵接时检测到料盒的存在，从而自动进行后续操作，可以与其他设备联动，方便其他设备对料盒内的物料进行取用，提升了生产过程的协调性和效率。

12、在其中一个实施例中，所述料盒输送装置还包括多个用于与所述空料盒底部抵接的滑条，多个所述滑条均设于所述第二支撑板上且间隔排列。相较于直接让空料盒直接在第一支撑板上滑动，滑条的设计能够减少其与料盒的接触面积，从而减少料盒在输送过程中的摩擦力，使得料盒能够更加顺畅地在输送组件上移动，提高了输送效率。多个滑条间隔排列，能够有效支撑料盒底部，提供均匀的受力分布，防止料盒在输送过程中的倾斜或晃动，保证了输送过程的稳定性。滑条的间隔排列设计，使得装置能够适应不同尺寸的料盒，具有较强的通用性和灵活性。

13、在其中一个实施例中，所述料盒输送装置还包括支架、报警感应器和拦截板，所述拦截板设于所述第二支撑板的边缘并用于拦截所述空料盒，所述支架设于所述第二支撑板，所述第二支撑板上开设有邻近所述拦截板的通孔，所述报警感应器设于所述支架且位于所述通孔下方，当所述第二支撑板上堆放有多个所述空料盒且所述拦截板拦截住所述空料盒时，所述报警感应器能够透过所述通孔检测到所述第二支撑板上方被所述拦截板所拦截的所述空料盒，并发出警报以提示所述第二支撑板上的所述空料盒已满。拦截板设于第二支撑板的边缘，用于拦截空料盒，防止料盒在堆放过程中溢出或掉落，保证了堆放的整齐和安全。当第二支撑板上堆放的空料盒达到一定数量并被拦截板拦截时，报警感应器能够透过通孔检测到，并发出警报，提示操作人员第二支撑板上的空料盒已满，避免因料盒堆积过多而导致的设备故障或安全隐患。自动报警功能减少了人工对料盒堆放状态的监控，减少了人工检查的频率和时间，使操作人员能够及时处理满载的空料盒，提高了工作效率和生产节奏的连贯性。

14、在其中一个实施例中，所述第一挡板组件包括第一调节件、第一滑动部及与所述第一滑动部连接的第一抵接部，所述第一抵接部与所述第一滑动部垂直，所述第一抵接部朝向所述第一立板并与所述第一立板平行，以将所述装有物料的料盒限制在所述第一抵接部和所述第一立板之间，所述第一支撑板上开设有第一限位滑槽，所述第一限位滑槽与所述第一方向垂直，所述第一调节件穿设于所述第一滑动部并伸入所述第一限位滑槽内与所述第一支撑板连接，以调整所述第一滑动部与所述第一支撑板之间的松紧程度，所述第一调节件调紧时能够将所述第一滑动部与所述第一支撑板固定，所述第一调节件调松时所述第一滑动部能够带动所述第一抵接部沿所述第一限位滑槽的长度延伸方向滑动，以调整所述第一抵接部与所述第一立板之间的间距。通过第一调节件的设计，能够灵活调整第一滑动部与第一支撑板之间的松紧程度。第一调节件调松时使得第一抵接部可以沿第一限位滑槽的长度方向滑动，从而调整第一抵接部与第一立板之间的间距；当间距调整完毕，便可将第一调节件调紧，实现第一滑动部与第一支撑板的相对固定，即维持当下的第一抵接部和第一立板之间的间距。这种灵活性使得装置可以适应不同尺寸的料盒，提高了装置的通用性。第一抵接部与第一立板平行，能够有效限制装有物料的料盒在第一抵接部和第一立板之间，提供稳定的支撑，防止料盒在输送过程中倾斜或移动，保证了物料输送的稳定性和安全性。由于第一抵接部和第一立板提供了稳定的限制，减少了料盒在输送过程中可能出现的倾斜、滑动等问题，提高了物料输送的安全性，降低了生产过程中的风险。

15、在其中一个实施例中，所述第一限位滑槽的数量设置为多个，多个所述第一限位滑槽平行间隔设置，所述第一调节件的数量设置为多个，所述第一调节件与所述第一限位滑槽一一对应。多个第一限位滑槽和对应的第一调节件能够提供更加稳定的支撑和定位，减少了单一滑槽可能带来的倾斜和不稳定性，提高了整体装置的稳定性。

16、在其中一个实施例中，所述第二挡板组件包括第二调节件、第二滑动部及与所述第二滑动部连接的第二抵接部，所述第二抵接部与所述第二滑动部垂直，所述第二抵接部朝向所述第一立板并与所述第一立板平行，以将所述装有物料的料盒限制在所述第二抵接部和所述第一立板之间，所述第二支撑板上开设有第二限位滑槽，所述第二限位滑槽与所述第一方向垂直，所述第二调节件穿设于所述第二滑动部并伸入所述第二限位滑槽内与所述第二支撑板连接，以调整所述第二滑动部与所述第二支撑板之间的松紧程度，所述第二调节件调紧时能够将所述第二滑动部与所述第二支撑板固定，所述第二调节件调松时所述第二滑动部能够带动所述第二抵接部沿所述第二限位滑槽的长度延伸方向滑动，以调整所述第二抵接部与所述第一立板之间的间距。通过第二调节件的设计，能够灵活调整第二滑动部与第二支撑板之间的松紧程度。第二调节件调松时使得第二抵接部可以沿第二限位滑槽的长度方向滑动，从而调整第二抵接部与第一立板之间的间距；当间距调整完毕，便可将第二调节件调紧，实现第二滑动部与第二支撑板的相对固定，即维持当下的第二抵接部和第一立板之间的间距。这种灵活性使得装置可以适应不同尺寸的料盒，提高了装置的通用性。第二抵接部与第一立板平行，能够有效限制装有物料的料盒在第二抵接部和第一立板之间，提供稳定的支撑，防止料盒在输送过程中倾斜或移动，保证了物料输送的稳定性和安全性。由于第二抵接部和第一立板提供了稳定的限制，减少了料盒在输送过程中可能出现的倾斜、滑动等问题，提高了物料输送的安全性，降低了生产过程中的风险。

17、在其中一个实施例中，所述第二限位滑槽的数量设置为多个，多个所述第二限位滑槽平行间隔设置，所述第二调节件的数量设置为多个，所述第二调节件与所述第二限位滑槽一一对应。多个第二限位滑槽和对应的第二调节件能够提供更加稳定的支撑和定位，减少了单一滑槽可能带来的倾斜和不稳定性，提高了整体装置的稳定性。

18、在其中一个实施例中，所述第一挡板组件还包括两个第一档条，两个所述第一档条分别连接于所述第一挡板组件和所述第一立板，两个所述第一档条位于所述第一挡板组件和所述第一立板之间且相对间隔设置。空料盒在第一支撑板上滑动时，空料盒两侧的第一档条可以保证空料盒侧面运动顺畅。

19、在其中一个实施例中，所述第二挡板组件还包括两个第二档条，两个所述第二档条分别连接于所述第二挡板组件和所述第一立板，两个所述第二档条位于所述第二挡板组件和所述第一立板之间且相对间隔设置。空料盒在第二支撑板上滑动时，空料盒两侧的第二档条可以保证空料盒侧面运动顺畅。

20、在其中一个实施例中，所述料盒输送装置还包括物料转移组件，所述物料转移组件用于将所述第一支撑板上的物料耗尽的空料盒转移至所述第二支撑板上。物料转移组件能够自动将第一支撑板上的空料盒转移至第二支撑板上，使生产线连续运行，无需人工搬运，减少了对人工操作的依赖，降低了人力成本，同时也减少了因人工操作带来的误差和安全隐患，显著提高了整体生产效率。通过自动转移空料盒，能够更好地利用生产线空间，优化物料的堆放和输送，提高了生产线的空间利用率。

21、在其中一个实施例中，所述料盒输送装置还包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板设于所述第一立板背向所述第二立板的一侧，所述第二侧板设于所述第二立板背向所述第一立板的一侧。