一种多工位组合式晶棒加工设备的制作方法

本发明涉及晶棒加工，具体为一种多工位组合式晶棒加工设备。

背景技术：

1、晶棒主要用于半导体产业和光电子应用，包括但不限于集成电路、太阳能电池、光纤等领域，且晶棒在加工时需要进行打磨与抛光处理。

2、现有晶棒加工用加工设备功能单一，无法实现打磨与抛光工序的组合集成，从而降低了加工设备的功能性、实用性与加工效率，且现有加工设备上缺乏换位机构与夹持机构的替补组件，进而在换位机构与夹持机构出现损坏时无法保障加工设备的正常运行，此外，现有加工设备无法实现水源的循环利用，从而浪费了水资源，且增加了生产成本。

3、针对上述问题，发明人提出一种多工位组合式晶棒加工设备用于解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有晶棒加工用加工设备功能单一、无法实现打磨与抛光工序的组合集成、在换位机构与夹持机构出现损坏时无法保障加工设备正常运行以及无法实现水源循环利用的问题；本发明的目的在于提供一种多工位组合式晶棒加工设备。

2、为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种多工位组合式晶棒加工设备，包括支撑底板，支撑底板的一侧设有转动机构，且转动机构上设有配合使用的换位机构与夹持机构，转动机构的上端设有与换位机构配合使用的转换机构，且支撑底板的另一侧设有配合使用的回收机构与抛磨机构，支撑底板上设有与回收机构配合使用的冲洗机构，且回收机构上设有配合使用的扩容机构，转动机构、换位机构、夹持机构与抛磨机构的配合使用能够同步开展晶棒立柱打磨作业、抛光作业与冲洗作业的同步开展，从而实现了晶棒立柱打磨与抛光工序的组合集成，转换机构的设置使用能够在对应换位机构与夹持机构出现损坏时及时进行替补，回收机构与冲洗机构的配合使用能够将喷淋所产生的废水以及冲洗所产生的废水进行过滤回收处理，且能够将过滤后的废水进行重复利用，扩容机构的配合使用能够在过滤水源到达一定量时将过滤水源引流并发出提示音，从而能够提醒使用者关闭外设喷淋管，且能够避免出现过滤水源漫流至加工车间内而污染车间的现象。

3、优选地，转动机构包括第一电机，第一电机固定安装在支撑底板上，且第一电机的输出端转动贯穿支撑底板并在其末端固定套设有转动横板，转动横板的两端均固定插接有转动竖杆，且转动竖杆的顶端固定连接有转动立柱，换位机构包括换位支架，换位支架转动安装在转动立柱的顶端，且换位支架上固定插接有对称分布的电动伸缩杆，电动伸缩杆输出端的末端固定套设有l型换位板，且l型换位板上固定安装有第二电机，第二电机的输出端转动贯穿l型换位板并在其末端固定套设有换位套环，且换位套环上一体成型有对称设置的l型换位杆，l型换位杆的末端固定连接有换位套筒，且换位套筒的内腔中固定安装有第三电机，第三电机的输出端转动贯穿换位套筒，换位套筒上开设有配合使用的透气穿槽，且透气穿槽呈阵列分布，夹持机构包括夹持套筒，夹持套筒固定安装在第三电机输出端的末端，且夹持套筒内固定插接有双向电动推杆，双向电动推杆两侧输出端的末端均固定套设有夹持套环，且夹持套环上固定连接有l型夹持杆，l型夹持杆的末端固定安装有配合使用的弧形夹板。

4、优选地，转换机构包括转换套环，转动立柱的内部开设有安装内腔，且转换套环滑动插设在安装内腔内，转换套环的中部固定插接有转换拉杆，且转换拉杆滑动贯穿转动立柱与换位支架，转动立柱上活动套接有转换弹簧，且转换弹簧的两端分别与转换套环以及安装内腔的顶部固定连接，转换拉杆的顶端固定套设有t型转换筒，且t型转换筒的底端固定安装有两个限位插杆，换位支架上开设有对称分布的限位插孔，且限位插杆能够滑动插设在限位插孔内。

5、优选地，回收机构包括回收框箱，回收框箱固定插设在支撑底板上，且回收框箱的内腔上端固定安装有过滤横板，回收框箱的两侧上端均连通设有对称设置的回收接管，且回收接管上连通设有配合使用的第一回收管与第二回收管，第一回收管的末端连通设有配合使用的第一回收盆，且第二回收管的末端连通设有配合使用的第二回收盆，抛磨机构包括安装支架、第一转杆与第二转杆，安装支架固定安装在回收框箱的顶端，且安装支架上固定安装有第四电机，第四电机的输出端转动贯穿安装支架并在其末端固定套设有第一同步轮，且第一转杆转动插设在其中一个第二回收盆上，第一转杆的顶端固定套设有打磨盘，且第一转杆的底端固定套接有第二同步轮，第二转杆转动插设在另一第二回收盆上，且第二转杆的顶端固定套设有抛光盘，第二转杆的底端固定套接有第三同步轮，且第三同步轮、第二同步轮与第一同步轮的外侧啮合套接有同步带，冲洗机构包括冲洗泵体，冲洗泵体固定安装在支撑底板上，且冲洗泵体呈对称结构，冲洗泵体的下端设有配合使用的进水管体与导水管体，且进水管体固定插设在回收框箱上，导水管体上连通设有与第一回收盆配合使用的第一喷淋管，且导水管体的顶端连通设有与第二回收盆配合使用的第二喷淋管。

6、优选地，扩容机构包括滑动竖杆与扩容框箱，滑动竖杆滑动插设在过滤横板上，且滑动竖杆的底端固定套接有l型封堵板，滑动竖杆的顶端固定套接有升降浮板，且滑动竖杆上活动套接有复位弹簧，复位弹簧的两端分别与l型封堵板以及过滤横板固定连接，且回收框箱上连通设有与l型封堵板配合使用的导流横管，扩容框箱固定安装在回收框箱靠近导流横管的一侧，且扩容框箱的内腔上端设有与导流横管配合使用的提示音叉，扩容框箱的一侧下端连通设有出水横管，且出水横管上固定安装有配合使用的控制阀门。

7、与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

8、1、通过转动机构、换位机构、夹持机构与抛磨机构的配合使用，能够同步开展晶棒立柱打磨作业、抛光作业与冲洗作业的同步开展，从而实现了晶棒立柱打磨与抛光工序的组合集成，进而有效提高了加工设备的功能性与实用性并提高了晶棒立柱的加工效率，且实现了机械冲洗，无需人工手持作业，从而节约了人力；

9、2、通过转换机构的设置使用，为换位支架的便捷固定提供了便利，从而为换位机构的转动调节与固定提供了便利，进而为对应两对夹持机构的转动调节与固定提供了便利，从而能够在对应换位机构与夹持机构出现损坏时及时进行替补，进而保障了加工设备的正常运行；

10、3、通过回收机构与冲洗机构的配合使用，能够将喷淋所产生的废水以及冲洗所产生的废水进行过滤回收处理，且能够将过滤后的废水进行重复利用，从而实现了水源的循环利用，进而节约了水资源，且降低了生产成本；

11、4、通过导流横管与扩容机构的配合使用，能够在回收框箱内过滤水源到达一定量时将过滤水源引流至扩容框箱内并发出提示音，从而能够提醒使用者关闭外设喷淋管，且能够避免出现过滤水源漫流至加工车间内而污染车间的现象，此外能够将过量的过滤水源进行收集使用，进而进一步提高了水源的利用率，从而进一步节约了水资源。

技术特征：

1.一种多工位组合式晶棒加工设备，包括支撑底板(1)，其特征在于：所述支撑底板(1)的一侧设有转动机构(2)，且转动机构(2)上设有配合使用的换位机构(3)与夹持机构(4)，所述转动机构(2)的上端设有与换位机构(3)配合使用的转换机构(5)，且支撑底板(1)的另一侧设有配合使用的回收机构(6)与抛磨机构(7)，所述支撑底板(1)上设有与回收机构(6)配合使用的冲洗机构(8)，且回收机构(6)上设有配合使用的扩容机构(9)，转动机构(2)、换位机构(3)、夹持机构(4)与抛磨机构(7)的配合使用能够同步开展晶棒立柱打磨作业、抛光作业与冲洗作业的同步开展，从而实现了晶棒立柱打磨与抛光工序的组合集成，转换机构(5)的设置使用能够在对应换位机构(3)与夹持机构(4)出现损坏时及时进行替补，回收机构(6)与冲洗机构(8)的配合使用能够将喷淋所产生的废水以及冲洗所产生的废水进行过滤回收处理，且能够将过滤后的废水进行重复利用，扩容机构(9)的配合使用能够在过滤水源到达一定量时将过滤水源引流并发出提示音，从而能够提醒使用者关闭外设喷淋管，且能够避免出现过滤水源漫流至加工车间内而污染车间的现象。

2.如权利要求1所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述转动机构(2)包括第一电机(21)，所述第一电机(21)固定安装在支撑底板(1)上，且第一电机(21)的输出端转动贯穿支撑底板(1)并在其末端固定套设有转动横板(22)，所述转动横板(22)的两端均固定插接有转动竖杆(23)，且转动竖杆(23)的顶端固定连接有转动立柱(24)。

3.如权利要求2所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述换位机构(3)包括换位支架(31)，所述换位支架(31)转动安装在转动立柱(24)的顶端，且换位支架(31)上固定插接有对称分布的电动伸缩杆(32)，所述电动伸缩杆(32)输出端的末端固定套设有l型换位板(33)，且l型换位板(33)上固定安装有第二电机(34)，所述第二电机(34)的输出端转动贯穿l型换位板(33)并在其末端固定套设有换位套环(35)，且换位套环(35)上一体成型有对称设置的l型换位杆(36)，所述l型换位杆(36)的末端固定连接有换位套筒(37)，且换位套筒(37)的内腔中固定安装有第三电机(38)，所述第三电机(38)的输出端转动贯穿换位套筒(37)。

4.如权利要求3所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述换位套筒(37)上开设有配合使用的透气穿槽(39)，且透气穿槽(39)呈阵列分布。

5.如权利要求3所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述夹持机构(4)包括夹持套筒(41)，所述夹持套筒(41)固定安装在第三电机(38)输出端的末端，且夹持套筒(41)内固定插接有双向电动推杆(42)，所述双向电动推杆(42)两侧输出端的末端均固定套设有夹持套环(43)，且夹持套环(43)上固定连接有l型夹持杆(44)，所述l型夹持杆(44)的末端固定安装有配合使用的弧形夹板(45)。

6.如权利要求3所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述转换机构(5)包括转换套环(51)，所述转动立柱(24)的内部开设有安装内腔(25)，且转换套环(51)滑动插设在安装内腔(25)内，所述转换套环(51)的中部固定插接有转换拉杆(52)，且转换拉杆(52)滑动贯穿转动立柱(24)与换位支架(31)，所述转动立柱(24)上活动套接有转换弹簧(53)，且转换弹簧(53)的两端分别与转换套环(51)以及安装内腔(25)的顶部固定连接，所述转换拉杆(52)的顶端固定套设有t型转换筒(54)，且t型转换筒(54)的底端固定安装有两个限位插杆(55)，所述换位支架(31)上开设有对称分布的限位插孔(310)，且限位插杆(55)能够滑动插设在限位插孔(310)内。

7.如权利要求1所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述回收机构(6)包括回收框箱(61)，所述回收框箱(61)固定插设在支撑底板(1)上，且回收框箱(61)的内腔上端固定安装有过滤横板(62)，所述回收框箱(61)的两侧上端均连通设有对称设置的回收接管(63)，且回收接管(63)上连通设有配合使用的第一回收管(64)与第二回收管(65)，所述第一回收管(64)的末端连通设有配合使用的第一回收盆(66)，且第二回收管(65)的末端连通设有配合使用的第二回收盆(67)。

8.如权利要求7所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述抛磨机构(7)包括安装支架(71)、第一转杆(72)与第二转杆(73)，所述安装支架(71)固定安装在回收框箱(61)的顶端，且安装支架(71)上固定安装有第四电机(74)，所述第四电机(74)的输出端转动贯穿安装支架(71)并在其末端固定套设有第一同步轮(75)，且第一转杆(72)转动插设在其中一个第二回收盆(67)上，所述第一转杆(72)的顶端固定套设有打磨盘(76)，且第一转杆(72)的底端固定套接有第二同步轮(77)，所述第二转杆(73)转动插设在另一第二回收盆(67)上，且第二转杆(73)的顶端固定套设有抛光盘(78)，所述第二转杆(73)的底端固定套接有第三同步轮(79)，且第三同步轮(79)、第二同步轮(77)与第一同步轮(75)的外侧啮合套接有同步带(710)。

9.如权利要求7所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述冲洗机构(8)包括冲洗泵体(81)，所述冲洗泵体(81)固定安装在支撑底板(1)上，且冲洗泵体(81)呈对称结构，所述冲洗泵体(81)的下端设有配合使用的进水管体(82)与导水管体(83)，且进水管体(82)固定插设在回收框箱(61)上，所述导水管体(83)上连通设有与第一回收盆(66)配合使用的第一喷淋管(84)，且导水管体(83)的顶端连通设有与第二回收盆(67)配合使用的第二喷淋管(85)。

10.如权利要求7所述的一种多工位组合式晶棒加工设备，其特征在于，所述扩容机构(9)包括滑动竖杆(91)与扩容框箱(92)，所述滑动竖杆(91)滑动插设在过滤横板(62)上，且滑动竖杆(91)的底端固定套接有l型封堵板(93)，所述滑动竖杆(91)的顶端固定套接有升降浮板(94)，且滑动竖杆(91)上活动套接有复位弹簧(95)，所述复位弹簧(95)的两端分别与l型封堵板(93)以及过滤横板(62)固定连接，且回收框箱(61)上连通设有与l型封堵板(93)配合使用的导流横管(68)，所述扩容框箱(92)固定安装在回收框箱(61)靠近导流横管(68)的一侧，且扩容框箱(92)的内腔上端设有与导流横管(68)配合使用的提示音叉(96)，所述扩容框箱(92)的一侧下端连通设有出水横管(97)，且出水横管(97)上固定安装有配合使用的控制阀门(98)。

技术总结本发明公开了一种多工位组合式晶棒加工设备，涉及晶棒加工技术领域；而本发明包括支撑底板，支撑底板的一侧设有转动机构，且转动机构上设有配合使用的换位机构与夹持机构，转动机构的上端设有与换位机构配合使用的转换机构，且支撑底板的另一侧设有配合使用的回收机构与抛磨机构，支撑底板上设有与回收机构配合使用的冲洗机构；通过转动机构、换位机构、夹持机构与抛磨机构的配合使用，能够同步开展晶棒立柱打磨作业、抛光作业与冲洗作业的同步开展，从而实现了晶棒立柱打磨与抛光工序的组合集成，进而有效提高了加工设备的功能性与实用性并提高了晶棒立柱的加工效率，且实现了机械冲洗，无需人工手持作业，从而节约了人力。技术研发人员：白青松,刘进受保护的技术使用者：扬州方通电子材料科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17