一种镀膜装置的制作方法

本发明涉及镀膜设备，具体是一种镀膜装置。

背景技术：

1、真空镀膜设备是一种在较高真空度下进行镀膜的技术装备，通过物理或化学方法在基材表面沉积一层或多层薄膜，以改变基材的表面特性。这种设备在现代工业中的应用广泛，如光学镀膜、半导体制造、装饰镀膜等领域。

2、中国专利cn114318296b公开了一种真空镀膜设备，其包括镀膜机箱、多个蒸发舟、电极、正极电性件、负极电性件和连接电性件。镀膜机箱内设有真空镀膜腔，正极电性件和负极电性件安装于镀膜机箱外，电极安装于真空镀膜腔内，多个蒸发舟呈纵向排列地安装于真空镀膜腔内，蒸发舟的正极端电性连接于正极电性件，蒸发舟的负极端电性连接于负极电性件。正极电性件、负极电性件和连接电性件的第一端位于同一侧，正极电性件、负极电性件和连接电性件的第二端位于同一侧，正极电性件的第一端用于与电源的正极相接，连接电性件的第二端与负极电性件的第二端电性相连，连接电性件的第一端用于与电源负极相接。本发明的真空镀膜设备能使各蒸发舟的发热功率相等。

3、如上述专利所示，在镀膜工艺中，由于需在真空环境下进行以确保薄膜的均匀性和附着力，因此待镀膜工件置入镀膜室后，必须先行执行抽真空程序，该过程对于每次新放入的工件均需重复进行，导致无法在此时段内实施镀膜作业，鉴于镀膜室本身较大的体积，完成一次全量抽真空操作需耗费较多时间，显著降低了整体的镀膜效率。

4、因此，有必要提供一种镀膜装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种镀膜装置，实现了抽真空与镀膜操作的并行处理，显著缩短了工件在镀膜前的等待时间。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种镀膜装置，包括基座和多个真空镀膜容器，所述真空镀膜容器的顶壁设置有第一抽真空口，所述真空镀膜容器内设置有用于悬挂待镀膜工件的悬挂机构，所述基座的顶端设置有抽真空区和镀膜区，所述基座在镀膜区的下方开设有镀膜槽和容置槽，镀膜槽的顶部为开口设置，所述镀膜槽内设置有镀膜机构，所述基座的一侧固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端与镀膜机构相连接，所述镀膜槽内设置有第二抽真空口，所述真空镀膜容器的底部开设有通槽，所述通槽的下方设置有用于封闭通槽的密封盘，所述真空镀膜容器内腔的底部安装有弹性连接件，弹性连接件的伸缩端贯穿真空镀膜容器的底壁与密封盘相连接。

3、本发明的进一步设置为：所述弹性连接件包括连接筒、连接柱和弹簧，所述连接筒固定安装于真空镀膜容器内腔的底部，所述连接柱的底端与密封盘固定连接，所述连接柱的顶端伸入连接筒内，且连接柱与连接筒滑动配合，弹簧的顶端与连接筒的顶壁固定连接，弹簧的底端与连接柱的顶端固定连接。

4、本发明的进一步设置为：所述镀膜机构包括支撑台和蒸发舟，所述支撑台与电动推杆的输出端固定连接，所述蒸发舟固定安装在支撑台的顶端。

5、本发明的进一步设置为：所述悬挂机构包括安装销，所述安装销的顶端与真空镀膜容器的顶壁固定连接，所述安装销上转动安装有旋转盘，所述旋转盘的边部转动安装有多个连接轴，所述连接轴的底端固定安装有挂钩，所述真空镀膜容器内腔的一侧设置有用于驱动旋转盘旋转的传动组件。

6、本发明的进一步设置为：所述传动组件包括第一齿轮第一转轴、第二转轴和第二齿轮，所述第一转轴的顶端与真空镀膜容器的顶壁转动连接，所述第二转轴的底端与密封盘的底壁转动连接，所述第一转轴的底端伸入第二转轴内且上下滑动配合，所述第一齿轮固定套装在第一转轴的顶部，所述第二齿轮固定套装在第二转轴的底部，所述旋转盘的外周壁开设有齿槽，所述第一齿轮与齿槽相啮合，所述支撑台上设置有用于驱动第二齿轮旋转的驱动组件。

7、本发明的进一步设置为：所述驱动组件包括电机和第五齿轮，当密封盘和支撑台均位于镀膜槽内时，第五齿轮与第二齿轮相啮合。

8、本发明的进一步设置为：多个所述连接轴的顶端均固定套装有第四齿轮，所述安装销上固定套装有第三齿轮，多个第四齿轮均与第三齿轮相啮合。

9、本发明的进一步设置为：所述基座上固定安装有第一支架，第一支架设置在镀膜区的上方，所述第一支架的顶端固定安装有第一液压缸，所述第一液压缸的输出端贯穿第一支架的顶壁并固定安装有第一压座。

10、本发明的进一步设置为：所述基座上固定安装有第二支架，第二支架设置在抽真空区的上方，所述第二支架的顶端固定安装有第二液压缸，所述第二液压缸的输出端贯穿第二支架的顶壁并固定安装有第二压座，所述第二压座上固定安装有连接板，所述连接板上固定安装有抽真空嘴，所述抽真空嘴与第一抽真空口相适配。

11、本发明的进一步设置为：所述基座的顶端固定安装有第二环形密封垫，所述第二环形密封垫设置在镀膜区内，当真空镀膜容器放置在镀膜区内时，真空镀膜容器的底壁与第二环形密封垫相接触。

12、综上所述，本发明具有以下有益效果：本发明通过引入多个独立的真空镀膜容器，并配合专门的抽真空区和镀膜区，实现了抽真空与镀膜操作的并行处理，显著缩短了工件在镀膜前的等待时间，此外，通过设置可移动的密封盘及弹性连接件，确保了在镀膜槽完成抽真空后能迅速实现与真空镀膜容器的连通，进一步优化了镀膜流程，这种设计不仅提高了镀膜作业的整体效率，还通过减少对大型真空室的依赖，降低了设备成本和操作复杂度。

技术特征：

1.一种镀膜装置，包括基座（1）和多个真空镀膜容器（5），其特征在于：所述真空镀膜容器（5）的顶壁设置有第一抽真空口（18），所述真空镀膜容器（5）内设置有用于悬挂待镀膜工件的悬挂机构，所述基座（1）的顶端设置有抽真空区和镀膜区，所述基座（1）在镀膜区的下方开设有镀膜槽（101）和容置槽（102），镀膜槽（101）的顶部为开口设置，所述镀膜槽（101）内设置有镀膜机构，所述基座（1）的一侧固定安装有电动推杆（22），所述电动推杆（22）的输出端与镀膜机构相连接，所述镀膜槽（101）内设置有第二抽真空口（27），所述真空镀膜容器（5）的底部开设有通槽（501），所述通槽（501）的下方设置有用于封闭通槽（501）的密封盘（6），所述真空镀膜容器（5）内腔的底部安装有弹性连接件（7），弹性连接件（7）的伸缩端贯穿真空镀膜容器（5）的底壁与密封盘（6）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述弹性连接件（7）包括连接筒（71）、连接柱（72）和弹簧（73），所述连接筒（71）固定安装于真空镀膜容器（5）内腔的底部，所述连接柱（72）的底端与密封盘（6）固定连接，所述连接柱（72）的顶端伸入连接筒（71）内，且连接柱（72）与连接筒（71）滑动配合，弹簧（73）的顶端与连接筒（71）的顶壁固定连接，弹簧（73）的底端与连接柱（72）的顶端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述镀膜机构包括支撑台（23）和蒸发舟（24），所述支撑台（23）与电动推杆（22）的输出端固定连接，所述蒸发舟（24）固定安装在支撑台（23）的顶端。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述悬挂机构包括安装销（8），所述安装销（8）的顶端与真空镀膜容器（5）的顶壁固定连接，所述安装销（8）上转动安装有旋转盘（9），所述旋转盘（9）的边部转动安装有多个连接轴（14），所述连接轴（14）的底端固定安装有挂钩（15），所述真空镀膜容器（5）内腔的一侧设置有用于驱动旋转盘（9）旋转的传动组件。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述传动组件包括第一齿轮（10）第一转轴（11）、第二转轴（12）和第二齿轮（13），所述第一转轴（11）的顶端与真空镀膜容器（5）的顶壁转动连接，所述第二转轴（12）的底端与密封盘（6）的底壁转动连接，所述第一转轴（11）的底端伸入第二转轴（12）内且上下滑动配合，所述第一齿轮（10）固定套装在第一转轴（11）的顶部，所述第二齿轮（13）固定套装在第二转轴（12）的底部，所述旋转盘（9）的外周壁开设有齿槽，所述第一齿轮（10）与齿槽相啮合，所述支撑台（23）上设置有用于驱动第二齿轮（13）旋转的驱动组件。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述驱动组件包括电机（26）和第五齿轮（25），当密封盘（6）和支撑台（23）均位于镀膜槽（101）内时，第五齿轮（25）与第二齿轮（13）相啮合。

7.根据权利要求6所述的一种镀膜装置，其特征在于：多个所述连接轴（14）的顶端均固定套装有第四齿轮（17），所述安装销（8）上固定套装有第三齿轮（16），多个第四齿轮（17）均与第三齿轮（16）相啮合。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述基座（1）上固定安装有第一支架（2），第一支架（2）设置在镀膜区的上方，所述第一支架（2）的顶端固定安装有第一液压缸（3），所述第一液压缸（3）的输出端贯穿第一支架（2）的顶壁并固定安装有第一压座（4）。

9.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述基座（1）上固定安装有第二支架（29），第二支架（29）设置在抽真空区的上方，所述第二支架（29）的顶端固定安装有第二液压缸（30），所述第二液压缸（30）的输出端贯穿第二支架（29）的顶壁并固定安装有第二压座（31），所述第二压座（31）上固定安装有连接板（32），所述连接板（32）上固定安装有抽真空嘴（33），所述抽真空嘴（33）与第一抽真空口（18）相适配。

10.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于：所述基座（1）的顶端固定安装有第二环形密封垫（34），所述第二环形密封垫（34）设置在镀膜区内，当真空镀膜容器（5）放置在镀膜区内时，真空镀膜容器（5）的底壁与第二环形密封垫（34）相接触。

技术总结本发明涉及镀膜设备技术领域，公开了一种镀膜装置，包括基座和多个真空镀膜容器，真空镀膜容器的顶壁设置有第一抽真空口，真空镀膜容器内设置有用于悬挂待镀膜工件的悬挂机构，基座的顶端设置有抽真空区和镀膜区，基座在镀膜区的下方开设有镀膜槽和容置槽；本发明通过引入多个独立的真空镀膜容器，并配合专门的抽真空区和镀膜区，实现了抽真空与镀膜操作的并行处理，显著缩短了工件在镀膜前的等待时间，此外，通过设置可移动的密封盘及弹性连接件，确保了在镀膜槽完成抽真空后能迅速实现与真空镀膜容器的连通，进一步优化了镀膜流程，这种设计不仅提高了镀膜作业的整体效率，还通过减少对大型真空室的依赖，降低了设备成本和操作复杂度。技术研发人员：郁水峰,汪鸿涛,李明辉受保护的技术使用者：比尔安达（上海）新材料科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17