天车传输系统及天车传输方法与流程

本发明涉及半导体加工，尤其涉及一种天车传输系统及天车传输方法。

背景技术：

1、自动物料搬运系统（amhs）又称天车系统，其被广泛应用于半导体晶圆厂中，它能够准确高速地将晶圆盒搬运到工艺机台等目的地。amhs主要包括轨道、天车（oht）和控制系统。其中，轨道包括固定轨道和升降轨道，固定轨道通常被固定设置在半空中，升降轨道则能在提升机构的作用下具有提升位置和对接位置，在提升位置，升降轨道落到最低点，天车可方便地安装在升降轨道上，在对接位置，升降轨道被提升至最高点，升降轨道与固定轨道对接，升降轨道上的天车可从升降轨道被拖动至固定轨道。固定轨道上连接有供电线，天车通过供电线可自驱地在固定轨道上行驶。

2、在amhs中，运行的天车少则上百台，多则上千台。在升降轨道对接到固定轨道上时，如何保证天车安全可靠且平稳地进入到固定轨道或升降轨道上是急需解决的问题。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种天车传输系统及天车传输方法，能有效提高天车在固定轨道、升降轨道之间的传输稳定性，保证天车传输的安全可靠性。

2、根据本发明实施例的一种天车传输系统，包括

3、固定轨道；

4、升降轨道，升降轨道可升降地与固定轨道对接；

5、第一供电线，第一供电线用于供天车取电，第一供电线在其长度方向上包括与升降轨道相对应的第一供电部；

6、致动单元，致动单元包括致动机构和电线固定件，致动机构通过电线固定件与第一供电部相连接，以便第一供电部在升降轨道的宽度方向上可在第一位置和第二位置之间移动；在第一位置，第一供电部位于升降轨道内；在第二位置，第一供电部位于升降轨道外。

7、进一步来说，当升降轨道对接到固定轨道上时，电线固定件位于升降轨道的下方。

8、进一步来说，第一供电线在其长度方向上还包括与固定轨道相对应的第二供电部，第二供电部朝向第一供电部的一端设有向外折弯形成的冗余段。

9、进一步来说，第二供电部为通过接线盒接合成一体的分段结构，且接线盒位于冗余段远离第一供电部的一侧。

10、进一步来说，天车传输系统还包括与第一供电线在固定轨道宽度方向上间隔设置的第二供电线，第二供电线、第一供电线分别位于天车的两侧，且当天车在固定轨道上时，第二供电线始终对天车供电。

11、进一步来说，天车传输系统还包括锁止机构，锁止机构包括配合使用的锁止块、锁止件，锁止块设置在升降轨道上，其下端开设有锁止凹槽；锁止件设置在固定轨道上，其包括能在锁止驱动件作用下插入或脱离锁止凹槽的推杆。

12、进一步来说，推杆与锁止驱动件之间通过弹性件连接。

13、进一步来说，锁止机构还包括天车止挡件，天车止挡件包括止挡滑轨、止挡滑块、挡块及顶杆，止挡滑轨沿竖直方向布设，其上滑动设置有止挡滑块；挡块位于固定轨道的端部并与止挡滑块固接；顶杆悬空设置，其上端与挡块连接，下端对准锁止块；当挡块位于最低位时，挡块能抵接在位于固定轨道上的天车上。

14、本发明还提供了一种天车传输方法，适用于上述任一的天车传输系统；包括如下步骤：

15、致动单元带动第一供电部移动至第二位置；

16、升降轨道对接到固定轨道上；

17、致动单元带动第一供电部移动至第一位置；

18、天车随即在第一供电线的供电下，沿升降轨道移动至固定轨道上或沿着固定轨道移动至升降轨道上。

19、进一步来说，升降轨道上设有锁止块，锁止块上设有开口朝下的锁止凹槽；固定轨道上设有能沿固定轨道长度方向移动以插入或脱离锁止凹槽的推杆；

20、升降轨道对接到固定轨道上包括如下步骤：

21、升降轨道上升至高于固定轨道，并使锁止凹槽的内顶壁高出推杆表面的最高点；

22、推杆沿固定轨道长度方向向靠近锁止块的方向移动，以使推杆进入到锁止凹槽内或位于锁止凹槽的下方；

23、升降轨道下降，直至锁止凹槽的内顶壁抵紧在推杆上，此时，升降轨道对接到固定轨道上。

技术特征：

1.一种天车传输系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的天车传输系统，其特征在于，当所述升降轨道对接到所述固定轨道上时，所述电线固定件位于所述升降轨道的下方。

3.根据权利要求1所述的天车传输系统，其特征在于，所述第一供电线在其长度方向上还包括与所述固定轨道相对应的第二供电部，所述第二供电部朝向所述第一供电部的一端设有向外折弯形成的冗余段。

4.根据权利要求3所述的天车传输系统，其特征在于，所述第二供电部为通过接线盒接合成一体的分段结构，且所述接线盒位于所述冗余段远离所述第一供电部的一侧。

5.根据权利要求1所述的天车传输系统，其特征在于，还包括与所述第一供电线在所述固定轨道宽度方向上间隔设置的第二供电线，所述第二供电线、第一供电线分别位于所述天车的两侧，且当所述天车在所述固定轨道上时，所述第二供电线始终对所述天车供电。

6.根据权利要求1所述的天车传输系统，其特征在于，还包括锁止机构，所述锁止机构包括配合使用的锁止块、锁止件，所述锁止块设置在所述升降轨道上，其下端开设有锁止凹槽；所述锁止件设置在所述固定轨道上，其包括能在锁止驱动件作用下插入或脱离所述锁止凹槽的推杆。

7.根据权利要求6所述的天车传输系统，其特征在于，所述推杆与锁止驱动件之间通过弹性件连接。

8.根据权利要求6所述的天车传输系统，其特征在于，所述锁止机构还包括天车止挡件，所述天车止挡件包括止挡滑轨、止挡滑块、挡块及顶杆，所述止挡滑轨沿竖直方向布设，其上滑动设置有所述止挡滑块；所述挡块位于所述固定轨道的端部并与所述止挡滑块固接；所述顶杆悬空设置，其上端与所述挡块连接，下端对准所述锁止块；当所述挡块位于最低位时，所述挡块能抵接在位于所述固定轨道上的所述天车上。

9.一种天车传输方法，适用于权利要求1-8任一所述的天车传输系统；其特征在于，包括如下步骤：

10.一种根据权利要求9所述的天车传输方法，其特征在于，所述升降轨道上设有锁止块，所述锁止块上设有开口朝下的锁止凹槽；所述固定轨道上设有能沿所述固定轨道长度方向移动以插入或脱离所述锁止凹槽的推杆；

技术总结本发明公开了一种天车传输系统及天车传输方法，其中，天车传输系统包括固定轨道、升降轨道、致动单元，升降轨道可升降地与固定轨道对接；第一供电线用于供天车取电，第一供电线在其长度方向上包括与升降轨道相对应的第一供电部；致动单元包括致动机构和电线固定件，致动机构通过电线固定件与第一供电部相连接，以便第一供电部在升降轨道的宽度方向上可在第一位置和第二位置之间移动；在第一位置，第一供电部位于升降轨道内；在第二位置，第一供电部位于升降轨道外。本发明能有效提高天车在固定轨道、升降轨道之间的传输稳定性，保证天车传输的安全可靠性。技术研发人员：张庆,叶莹受保护的技术使用者：上海果纳半导体技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/21