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陀螺仪传感器的制作方法
本公开总体上涉及陀螺仪传感器。更具体地,本公开涉及一种具有检查陀螺仪传感器自身状态的功能的陀螺仪传感器。背景技术:1、专利文献1公开了一种加速度传感器。加速度传感器包括至少一个用于检测加速度的mems......
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一种基于高阶非厄米奇异特性的高灵敏度微光学陀螺仪设计方法
本发明属于光学陀螺领域,是一种基于高阶非厄米奇异特性的高灵敏度微光学陀螺仪设计方法。背景技术:1、陀螺仪在惯性导航系统中发挥着关键作用,在商业和军事领域都有广泛的应用。消费类智能设备、微型无人机和微型......
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一种无人机陀螺仪XY轴校准运输机构的制作方法
本技术涉及无人机校准设备领域,特别涉及一种无人机陀螺仪xy轴校准运输机构。背景技术:1、无人机包括三个轴:x轴、y轴以及z轴,通过三个轴从而控制无人机的六个自由度。2、但是在无人机出厂前都需要对陀螺仪......
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一种基于MEMS陀螺仪的伺服稳定控制方法
本发明属于工业机器人,具体提供一种基于mems陀螺仪的伺服稳定控制方法。背景技术:1、现有伺服稳定控制方法中,除传统的pid控制外,还有各种高级智能算法,如鲁棒控制、神经网络控制、自适应控制等等;而在......
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一种基于陀螺仪的电动轮椅动态平衡控制方法与流程
本发明属于智能控制,涉及一种基于陀螺仪的电动轮椅动态平衡控制方法。背景技术:1、近年来,随着人类生活水平的不断提高和医疗技术的进步,轮椅设备在提供便利与支持方面发挥着重要作用。并且随着人口老龄化和残障......
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温度自适应控制的陀螺仪补偿系统的制作方法
本发明涉及陀螺仪温度补偿,具体为温度自适应控制的陀螺仪补偿系统。背景技术:1、随着现代技术的飞速发展,陀螺仪在各种领域的应用日益广泛,陀螺仪是一种用于测量和维持方向稳定性的关键传感器,特别是在导航、姿......
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一种自带陀螺仪的管道爬行器的制作方法
本技术涉及管道爬行器,具体为一种自带陀螺仪的管道爬行器。背景技术:1、管道爬行器又称管道机器人,管道爬行器用于天然气管道、石油管道、城市供排水管道、自来水管道等多种管道的缺陷检查、修补等工作。2、现有......
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一种单轴MEMS陀螺仪的制作方法
本技术涉及陀螺仪,尤其涉及一种单轴mems陀螺仪。背景技术:1、陀螺仪是测量物体转动角度或角位移的传感装置,基于微纳加工技术的微机电陀螺仪称为mems陀螺仪,mems陀螺仪通过科里奥利效应来实现角速度......
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一种MEMS三轴陀螺仪的制作方法
本技术涉及陀螺仪,尤其涉及一种mems三轴陀螺仪。背景技术:1、mems陀螺仪与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪的工作原理不同,mems陀螺仪是利用科氏力进行运动的测量与控制,mems陀螺仪通常安装有......
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一种光纤陀螺仪相频特性测试装置的制作方法
本技术涉及光纤陀螺测试,特别是一种光纤陀螺仪相频特性测试装置。背景技术:1、光纤陀螺仪是一种测量角速率信息的高精度惯性仪表,广泛应用于导航、控制等军品领域。2、在导航应用中,通常由三个陀螺仪和三个加速......
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一种单轴陀螺仪的制作方法
本技术涉及陀螺仪,尤其涉及一种单轴陀螺仪。背景技术:1、mems陀螺仪以其具有体积小、集成度高及可靠性好等优点而被广泛应用于飞机、航海、汽车等行业。目前常用的mems陀螺仪主要是电容式陀螺仪,已有的电......
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一种单轴微机电陀螺仪的制作方法
本技术涉及陀螺仪,尤其涉及一种单轴微机电陀螺仪。背景技术:1、陀螺仪是感测运动体旋转的传感器,是惯性导航和制导技术的基础核心器件之一。基于微纳加工技术加工而成的陀螺称为微机电陀螺仪,微机电陀螺仪通过科......
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一种基于边带幅度在线补偿的MEMS速率陀螺仪模态频率匹配方法及系统
本发明涉及mems速率陀螺仪技术,具体涉及一种基于边带幅度在线补偿的mems速率陀螺仪模态频率匹配方法及系统。背景技术:1、mems速率陀螺仪是利用微机电系统(mems)技术,并根据哥氏效应原理工作的......
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一种MEMS陀螺仪的封装结构的制作方法及封装结构与流程
本发明属于半导体制造,具体涉及一种mems陀螺仪的封装结构的制作方法及封装结构。背景技术:1、近年来,随着智能穿戴设备、智能手机、健康检测、人工智能、无人驾驶等技术的普及,mems陀螺仪在越来越多的终......
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一种工作状态可调的硅纳米线陀螺仪及其制备方法
1.本发明属于陀螺仪设计技术领域,具体涉及一种工作状态可调的硅纳米线陀螺仪及其制备方法。背景技术:2.微机械陀螺仪,即mems陀螺仪,是一种典型的角速度微传感器,由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在......
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一种基于SOI硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法
一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法技术领域1.本发明属于mems技术领域,具体涉及一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法。背景技术:2.微机电系统(micro-electrical m......
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纳米光机械陀螺仪及其制备方法
1.本发明涉及惯性传感器领域,尤其涉及纳米光机械陀螺仪及其制备方法。背景技术:2.基于mems(micro‑electro‑mechanical system,微电子机械系统)技术的微型惯性导航系统具......
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基于热膨胀流的MEMS陀螺仪及电子装置的制作方法
本实用新型涉及传感器技术领域,更为具体地,涉及一种基于热膨胀流的mems陀螺仪及设置有该传感器的电子装置。背景技术:随着社会的进步和技术的发展,近年来,手机、笔记本电脑等电子产品体积不断减小,人们对这......
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一种MEMS陀螺仪的冷压焊真空封装结构的制作方法
本实验新型属于mems封装领域,涉及一种mems器件级的真空封装。背景技术:mems技术开辟了微型化、集成化的新技术领域和产业,而其封装好坏关系到器件性能的优劣,同时封装成本过高也会降低mems器件的......
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一种基于双光栅检测的微机电陀螺仪及其加工封装方法与流程
本发明涉及微机电和光学检测领域,具体涉及一种基于双光栅检测的微机电陀螺仪及其加工封装方法。背景技术:微机电陀螺仪是采用mems加工技术制造的测量物体运动角速度的关键器件,它是基于哥氏效应,通过敏感模态......
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一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪的制作方法
本实用新型涉及一种MEMS陀螺仪。背景技术:常规的两片式MEMS陀螺仪封装通常采用高温陶瓷(HTCC)或低温陶瓷(LTCC)作为壳体,采用导电胶粘接芯片,芯片粘接区仅作为粘接位置标定和电学接地功能区域......