曝光机的制作方法

本申请涉及曝光机，尤其涉及一种曝光机。

背景技术：

1、当下市场竞争越来越激烈，为了提升企业的竞争力，企业越来越倾向于选择低能耗、高生产效率的设备。

2、目前的曝光设备大多为单装载台的曝光设备，将待曝光件放入曝光设备后，再通过曝光设备中各装置的动作完成对待曝光件的曝光加工。曝光设备对待曝光件的曝光加工通常是单件加工，这样会导致生产效率低。而在对待曝光件进行曝光的过程中，通常采用装载机构通过真空吸附的方式对待曝光件进行固定。在固定待曝光件的过程中，由于吸附孔难以形成有效的密封，因此会使曝光设备的能耗增加。

3、可见，如何提高曝光设备的生产效率，降低曝光设备能耗是亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请提供的一种曝光机，旨在解决现有技术中如何提高曝光设备的生产效率，降低曝光设备能耗的技术问题。

2、本申请提供的一种曝光机，包括：

3、至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；

4、曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；

5、所述装载机构包括：

6、装载台组件，所述装载台组件设置有若干吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述待曝光件；

7、负压装置，所述负压装置用于使吸附孔形成负压；

8、弹性件，所述弹性件设置于所述吸附孔内；

9、密封件，所述密封件与所述弹性件相连，所述密封件用于密封所述吸附孔；

10、其中，若所述吸附孔未吸附所述待曝光件，所述密封件密封所述吸附孔，并使所述弹性件发生弹性形变；

11、若所述吸附孔吸附所述待曝光件，所述弹性件使所述密封件移动，进而解除对所述吸附孔的密封。

12、更进一步地，所述吸附孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第二孔连通，所述第一孔的直径大于所述第二孔的直径；

13、所述弹性件位于所述第二孔且部分伸入所述第一孔，所述密封件位于所述第一孔。

14、更进一步地，所述第一孔与所述第二孔之间设置有密封斜面，所述密封件与所述密封斜面相适配。

15、更进一步地，所述密封件包括球形面，所述第一孔和所述第二孔均包括圆柱形孔；

16、所述球形面朝向所述第二孔；

17、所述球形面的直径小于所述第一孔的直径，所述密封件的直径大于所述第二孔的直径。

18、更进一步地，所述装载机构还包括限位板，所述限位板设置有若干限位孔，所述限位孔的位置与所述吸附孔的位置相对应，所述限位孔的直径小于所述密封件的直径。

19、更进一步地，所述弹性件包括伸缩式弹簧。

20、更进一步地，本申请提供的一种曝光机还包括：

21、第一移动组件，所述第一移动组件带动所述曝光机构沿第一方向移动；

22、第二移动组件，所述第二移动组件带动所述曝光机构沿第二方向移动；

23、其中，所述第一方向配置为沿所述曝光机构的扫描方向，所述第二方向配置为沿所述曝光机构的出光方向。

24、更进一步地，本申请提供的一种曝光机还包括：

25、控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动。

26、更进一步地，所述第一移动组件包括：

27、第一基座；

28、第一驱动组件，所述第一驱动组件安装于所述第一基座，所述第一驱动组件沿所述曝光机构的扫描方向布置；

29、第一直线导轨组件，所述第一直线导轨组件的数量至少为两个，所述第一直线导轨组件安装于所述第一基座，所述第一直线导轨组件与所述第一驱动组件平行布置；

30、第一安装座，所述第一安装座安装于所述第一驱动组件的动力输出端，所述第一安装座与所有所述第一直线导轨组件相连，所述第一直线导轨组件对所述第一安装座进行导向；

31、其中，所述第二移动组件和所述控制器均安装于所述第一安装座；

32、所述曝光机构安装于所述第二移动组件的动力输出端。

33、更进一步地，所述第二移动组件包括电动丝杆模组。

34、本申请所达到的有益效果是：

35、本申请提出的一种曝光机，装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，待曝光件对吸附孔进行封堵，通过负压装置使吸附孔形成负压，进而通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，此时，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，进而使密封件紧贴装载台组件，进而对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，进而降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机能耗。

技术特征：

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述吸附孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第二孔连通，所述第一孔的直径大于所述第二孔的直径；

3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述第一孔与所述第二孔之间设置有密封斜面，所述密封件与所述密封斜面相适配。

4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述密封件包括球形面，所述第一孔和所述第二孔均包括圆柱形孔；

5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述装载机构还包括限位板，所述限位板设置有若干限位孔，所述限位孔的位置与所述吸附孔的位置相对应，所述限位孔的直径小于所述密封件的直径。

6.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述弹性件包括伸缩式弹簧。

7.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述第一移动组件包括：

10.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述第二移动组件包括电动丝杆模组。

技术总结本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种曝光机。装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，待曝光件对吸附孔进行封堵，通过负压装置使吸附孔形成负压，通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，使密封件紧贴装载台组件，对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机能耗。技术研发人员：王华,陈志特,甘泉,冯明瑞受保护的技术使用者：广东科视光学技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/29