金属皮膜的成膜装置的制作方法

本发明涉及金属皮膜的成膜装置。

背景技术：

1、一直以来，通过电解镀由镀液的金属离子在基材的表面析出金属而形成金属皮膜的成膜装置被使用(例如参照专利文献1)。在该成膜装置中，在通过镀液的液压利用电解质膜按压于基材的表面的状态下，通过电解镀在基材的表面形成金属皮膜。在此，由于镀液的液压作用于电解质膜，因此有时电解质膜产生松弛等。从这样的方面出发，成膜装置有时设置对电解质膜赋予一定的张力的机构。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2022-046180号公报

技术实现思路

1、然而，当持续地使用电解质膜时，有时电解质膜劣化。设想到当电解质膜的劣化进展时不能够形成均一的膜厚的金属皮膜。在这样的情况下，希望伴随着电解质膜的劣化的进展而在适当的时机更换电解质膜。

2、本发明是鉴于这样的课题而完成的，其目的是提供能够伴随着电解质膜的劣化的进展而在适当的时机更换电解质膜的金属皮膜的成膜装置。

3、鉴于上述课题，本发明涉及的成膜装置是在通过镀液的液压利用电解质膜按压于基材的表面的状态下通过电解镀在所述基材的表面形成金属皮膜的成膜装置。所述成膜装置具备：收容体，其收容镀液且装卸自如地安装了所述电解质膜；更换机构，其进行安装于所述收容体的所述电解质膜的更换；检测装置，其检测所述电解质膜的状态或成膜后的所述基材的表面的状态；以及，控制装置，其控制所述电解质膜的更换。所述控制装置根据所述检测装置的检测结果判定所述电解质膜有无劣化，在判定为所述电解质膜劣化时，使所述更换机构进行所述电解质膜的更换。

4、在本发明中，在通过镀液的液压利用电解质膜按压于基材的表面的状态下在基材的表面形成金属皮膜。当反复进行金属皮膜的成膜时，不仅电解质膜长时间接触镀液，而且镀液的液压作用于电解质膜。由此，电解质膜的劣化进展。因此，根据本发明，为了判定电解质膜的劣化的状态，利用检测装置检测安装于收容体的电解质膜的状态或成膜后的基材的表面的状态。根据该检测装置的检测结果，控制装置判定电解质膜有无劣化。当控制装置判定为电解质膜劣化时，控制装置通过控制更换机构来将劣化了的电解质膜更换为新的电解质膜。这样的结果，能够伴随着电解质膜的劣化的进展而在适当的时机更换电解质膜。

5、作为一个方式，可以是：所述检测装置是拍摄所述电解质膜的摄像装置，根据由所述摄像装置拍摄到的所述电解质膜的图像，推定形成于所述电解质膜的褶皱的面积率或所述电解质膜的松弛量，基于所述褶皱的面积率或所述电解质膜的松弛量，判定所述电解质膜有无劣化。

6、在成膜时，电解质膜在被镀液的液压拉伸的状态下与基材接触。当这样的现象反复时，电解质膜产生褶皱或者电解质膜产生松弛。当在电解质膜上褶皱增加或电解质膜的松弛增加时，电解质膜容易破损，有时不能够形成金属皮膜。这样的电解质膜的状态是电解质膜劣化了的状态。因此，根据该方式，将由摄像装置拍摄到的电解质膜的图像作为检测结果，由控制装置从电解质膜的图像推定形成于电解质膜的褶皱的面积率或电解质膜的松弛量。由于该褶皱的面积率或电解质膜的松弛量依赖于电解质膜的劣化的程度，因此控制装置能够基于褶皱的面积率或电解质膜的松弛量判定成为电解质膜的更换基准的劣化的有无。

7、作为另一方式，可以是：所述检测装置是拍摄成膜后的所述基材的表面的摄像装置，所述控制装置根据由所述摄像装置拍摄到的所述基材的表面的图像推定附着于所述基材的表面的镀液的附着量，基于所述附着量判定所述电解质膜有无劣化。

8、在成膜时，电解质膜在被镀液的液压拉伸的状态下与基材接触。当这样的现象反复时，镀液容易透过电解质膜。其结果，有时在成膜后的基材的表面附着超过设想的量的镀液。这样的电解质膜的状态是电解质膜劣化了的状态。因此，根据该方式，能够将由摄像装置拍摄到的基材的表面的图像作为检测结果，由控制装置推定附着于基材的表面的镀液的附着量。由于该镀液的附着量依赖于电解质膜的劣化的程度，因此能够由控制装置基于该镀液的附着量判定电解质膜有无劣化。

9、作为另一方式，可以是：所述检测装置是测定所述电解质膜的重量的重量测定装置，所述控制装置基于由所述重量测定装置测定出的所述重量判定所述电解质膜有无劣化。

10、在成膜时，电解质膜在被镀液的液压拉伸的状态下与基材接触。当这样的现象反复时，在电解质膜中浸渗有镀液，电解质膜溶胀，电解质膜的重量增加。其结果，电解质膜的膜强度有可能降低。这样的电解质膜的状态是电解质膜劣化了的状态。因此，根据该方式，由于电解质膜的重量依赖于电解质膜的劣化的程度，因此能够由控制装置基于电解质膜的重量判定电解质膜有无劣化。

11、作为一个方式，可以是：安装于所述收容体的所述电解质膜是由电解质构成的带体的一部分，所述更换机构具备：将所述带体沿着长度方向运送的运送装置、和对所述收容体装卸所述电解质膜的装卸机构。所述控制装置也可以在更换所述电解质膜时，使所述装卸机构从所述收容体拆下所述电解质膜，使所述运送装置将所述带体运送至未使用的电解质膜与所述收容体对向的位置，使所述装卸机构将所述未使用的电解质膜安装于所述收容体。

12、根据该方式，在控制装置判定为电解质膜劣化时，通过控制装置控制更换机构，能够进行电解质膜的更换。具体而言，通过控制装置的控制，装卸机构从收容体拆下电解质膜，运送装置将带体运送至未使用的电解质膜与收容体对向的位置。这样，在更换电解质膜时，能够从一个带体多次更换电解质膜。

13、作为另一方式，可以是：所述电解质膜经由框体装卸自如地安装于所述收容体，所述电解质膜被固定于所述框体，所述更换机构具备运送所述框体的运送装置和对收容体装卸所述框体的装卸机构。所述控制装置，在更换所述电解质膜时，使所述装卸机构从所述收容体拆下所述框体，使所述运送装置将拆下来的所述框体运送到与所述收容体离间开的位置后，将固定有未使用的电解质膜的框体运送到与所述收容体对向的位置，使所述装卸机构将所述框体安装于所述收容体。

14、根据该方式，在控制装置判定为电解质膜劣化时，通过控制装置控制更换机构，能够进行电解质膜的更换。具体而言，通过控制装置的控制，装卸机构能够将劣化了的电解质膜与框体一起从收容体拆下，将被固定于另外的框体的未使用的电解质膜安装于收容体。这样，能够将电解质膜与框体一起简单地更换。

15、根据本发明，能够伴随着电解质膜的劣化的进展而在适当的时机更换电解质膜。

技术特征：

1.一种金属皮膜的成膜装置，是在通过镀液的液压利用电解质膜按压于基材的表面的状态下通过电解镀在所述基材的表面形成金属皮膜的成膜装置，

2.根据权利要求1所述的金属皮膜的成膜装置，

3.根据权利要求1所述的金属皮膜的成膜装置，

4.根据权利要求1所述的金属皮膜的成膜装置，

5.根据权利要求1所述的金属皮膜的成膜装置，

6.根据权利要求1所述的金属皮膜的成膜装置，

技术总结本发明为金属皮膜的成膜装置。提供能够伴随着电解质膜的劣化的进展而在适当的时机更换电解质膜的金属皮膜的成膜装置。一种成膜装置(1)具备：收容镀液(L)且装卸自如地安装了电解质膜(13)的收容体(15)；进行安装于收容体(15)的电解质膜(13)的更换的更换机构(3)；检测电解质膜(13)的状态或成膜后的基材(B)的表面的状态的检测装置(6)；和控制电解质膜(13)的更换的控制装置(60)。控制装置(60)根据检测装置(6)的检测结果判定电解质膜(13)有无劣化，在判定为电解质膜(13)劣化时，使更换机构(3)进行电解质膜(13)的更换。技术研发人员：冈本和昭受保护的技术使用者：丰田自动车株式会社技术研发日：技术公布日：2024/6/2