基于电镀设备的喷流管及电镀设备的制作方法

本技术涉及电镀设备领域，特别是一种基于电镀设备的喷流管及电镀设备。

背景技术：

1、在半导体制程中，电镀是至关重要的一个工艺环节，电镀过程中将待镀膜的物体放置在电镀槽内，并浸没在电镀液中，并分别施加阳极和阴极，电镀液中的金属离子受到阳极和阴极构成的电场作用发生迁移，并沉积在待镀膜的物体表面形成金属膜层。由于电镀过程中所进行的化学反应可能会产生气体，气体附着在电镀槽内会影响电镀效果。

2、特别对于待镀膜的物体为薄膜的情况，该薄膜在电镀液内容易出现不平整等情况，从而影响镀膜的均匀性。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，提供一种基于电镀设备的喷流管及电镀设备。

2、为了实现以上目的，本实用新型的技术方案为：

3、一种基于电镀设备的喷流管，所述电镀设备包括电镀槽、第一弧形阳极金属板、第二弧形阳极金属板和滚轮，所述滚轮安装于所述电镀槽内并设置在所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板的两侧，所述喷流管包括第一喷流管和第二喷流管，所述第一喷流管和第二喷流管分别以弧形的方式间隔排列在所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板之间的弧形空间内，被镀物在所述第一喷流管和第二喷流管之间的弧形空间内传动，所述第一喷流管和第二喷流管均包括传输电镀液的导流部，所述导流部上设有间隔分布的若干第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴的喷流方向朝向所述被镀物，所述第二喷嘴的喷流方向朝向所述第一弧形阳极金属板或第二弧形阳极金属板。

4、作为优选，所述第一喷流管通过位于所述导流部两端的安装部密封固定在所述滚轮的侧壁上。

5、作为优选，所述第二喷流管通过位于所述导流部两端的安装部密封固定在所述电镀槽的侧壁上。

6、作为优选，所述第一喷嘴和第二喷嘴分别设置在所述导流部上相对的两侧，并且交错分布。

7、作为优选，所述第一喷嘴和第二喷嘴均为孔状，其孔径范围为1～7mm，间距范围为3～100mm。

8、作为优选，所述导流部的管径范围为20～40mm。

9、作为优选，所述电镀设备还包括第一支架、第二支架和支撑杆，所述第一喷流管和第二喷流管分别固定安装在所述第一支架和第二支架上，所述第一支架的顶端和所述第二支架的顶端均安装在所述支撑杆上，并通过所述支撑杆固定在所述电镀槽上。

10、作为优选，所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板均为网状结构，并分别安装在所述第一支架和第二支架上且与正极电源连接。

11、作为优选，所述电镀设备还包括与负极电源连接的第一金属带和第二金属带，所述第二金属带贴合于所述滚轮的外周表面，并可在所述滚轮的带动下转动；所述第一金属带从所述电镀槽的一个侧边朝向所述滚轮下方延伸至所述电镀槽的另一个侧边实现循环传动，位于所述电镀槽内的所述第一金属带与所述第二金属带相对设置，并能以相同的角速度同步转动，所述被镀物的边缘夹持于所述第一金属带和第二金属带之间。

12、一种电镀设备，其特征在于，采用上述任一项的基于电镀设备的喷流管。

13、相比于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

14、(1)本实用新型提出的基于电镀设备的喷流管的第一喷嘴的喷流方向朝向被镀物，产生的水压可有效支撑被镀物，维持被镀物平整传送，保证电镀的均匀性。

15、(2)本实用新型提出的基于电镀设备的喷流管的第二喷嘴的喷流方向朝向第一弧形阳极金属板或第二弧形阳极金属板，可以快速移除附着在第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板上的气泡，提升镀膜速度。

16、(3)本实用新型提出的基于电镀设备的喷流管所喷流的电镀液可以加快电镀液与被镀物表面的反应物、副产物交换速度，提高电镀效果。

技术特征：

1.一种基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述电镀设备包括电镀槽、第一弧形阳极金属板、第二弧形阳极金属板和滚轮，所述滚轮安装于所述电镀槽内并设置在所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板的两侧，所述喷流管包括第一喷流管和第二喷流管，所述第一喷流管和第二喷流管分别以弧形的方式间隔排列在所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板之间的弧形空间内，被镀物在所述第一喷流管和第二喷流管之间的弧形空间内传动，所述第一喷流管和第二喷流管均包括传输电镀液的导流部，所述导流部上设有间隔分布的若干第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴的喷流方向朝向所述被镀物，所述第二喷嘴的喷流方向朝向所述第一弧形阳极金属板或第二弧形阳极金属板。

2.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述第一喷流管通过位于所述导流部两端的安装部密封固定在所述滚轮的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述第二喷流管通过位于所述导流部两端的安装部密封固定在所述电镀槽的侧壁上。

4.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述第一喷嘴和第二喷嘴分别设置在所述导流部上相对的两侧，并且交错分布。

5.根据权利要求4所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述第一喷嘴和第二喷嘴均为孔状，其孔径范围为1～7mm，间距范围为3～100mm。

6.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述导流部的管径范围为20～40mm。

7.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述电镀设备还包括第一支架、第二支架和支撑杆，所述第一喷流管和第二喷流管分别固定安装在所述第一支架和第二支架上，所述第一支架的顶端和所述第二支架的顶端均安装在所述支撑杆上，并通过所述支撑杆固定在所述电镀槽上。

8.根据权利要求7所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板均为网状结构，并分别安装在所述第一支架和第二支架上且与正极电源连接。

9.根据权利要求1所述的基于电镀设备的喷流管，其特征在于，所述电镀设备还包括与负极电源连接的第一金属带和第二金属带，所述第二金属带贴合于所述滚轮的外周表面，并可在所述滚轮的带动下转动；所述第一金属带从所述电镀槽的一个侧边朝向所述滚轮下方延伸至所述电镀槽的另一个侧边实现循环传动，位于所述电镀槽内的所述第一金属带与所述第二金属带相对设置，并能以相同的角速度同步转动，所述被镀物的边缘夹持于所述第一金属带和第二金属带之间。

10.一种电镀设备，其特征在于，采用权利要求1-9中任一项所述的基于电镀设备的喷流管。

技术总结本技术公开了一种基于电镀设备的喷流管及电镀设备，电镀设备包括电镀槽、第一弧形阳极金属板、第二弧形阳极金属板和滚轮，滚轮安装于电镀槽内并设置在第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板的两侧，喷流管包括第一喷流管和第二喷流管，分别以弧形的方式间隔排列在第一弧形阳极金属板和第二弧形阳极金属板之间的弧形空间内，被镀物在第一喷流管和第二喷流管之间的弧形空间内传动，第一喷流管和第二喷流管均包括传输电镀液的导流部，导流部上设有间隔分布的第一喷嘴和第二喷嘴，第一喷嘴的喷流方向朝向被镀物，第二喷嘴的喷流方向朝向第一弧形阳极金属板或第二弧形阳极金属板，可支撑被镀物平稳传送，并去除气泡，提升镀膜效果。技术研发人员：林国彪,余建贤,林海涵,杨绍国受保护的技术使用者：厦门光莆电子股份有限公司技术研发日：20230926技术公布日：2024/6/11