弹性波装置的制作方法

本发明涉及具有多个弹性波谐振器的弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在压电基板上设置有idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极。在idt电极中，多个电极指的形状为圆弧的形状。更具体地，多个电极指的形状为相当于多个同心圆中的各个圆弧的形状。在专利文献1的弹性波装置中，实现了无用波的抑制。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：中国专利申请公开第113676149号说明书

5、本发明的发明人们发现，在将多个电极指设为曲线状的情况下，容易产生谐波失真。起因于此，有可能产生弹性波装置的电特性的劣化。

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本发明的目的在于，提供一种能够抑制谐波失真的弹性波装置。

3、用于解决问题的技术方案

4、在本发明涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，具备：压电性基板，具有压电体层；以及多个idt电极，设置在所述压电性基板上，分别具有多个电极指，所述多个idt电极包含所述多个电极指的俯视下的形状具有曲线状的形状的多个曲线状idt电极，所述曲线状idt电极中的所述电极指的所述曲线状的形状的部分在所述多个电极指排列的方向上变得凸的方向为所述曲线状的形状的部分的外侧方向，所述多个idt电极包含第1idt电极以及第2idt电极，所述第1idt电极以及所述第2idt电极均为所述曲线状idt电极，所述弹性波装置构成有分别包含所述idt电极的多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器包含：第1弹性波谐振器，包含所述第1idt电极；以及第2弹性波谐振器，包含所述第2idt电极，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器不经由其它所述弹性波谐振器而连接，在所述第1idt电极以及所述第2idt电极中，将所述多个电极指排列的方向中的一者设为第1方向，将与所述第1方向相反的方向设为第2方向，此时，所述第1idt电极中的所述外侧方向为所述第1方向，所述第2idt电极的所述外侧方向为所述第2方向。

5、在本发明涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面中，具备：压电性基板，具有压电体层；以及多个idt电极，设置在所述压电性基板上，分别具有多个电极指，所述多个idt电极包含所述多个电极指的俯视下的形状具有曲线状的形状的多个曲线状idt电极，所述多个idt电极包含第1idt电极以及第2idt电极，所述第1idt电极以及所述第2idt电极均为所述曲线状idt电极，所述弹性波装置构成有分别包含所述idt电极的多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器包含：第1弹性波谐振器，包含所述第1idt电极；以及第2弹性波谐振器，包含所述第2idt电极，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器不经由其它所述弹性波谐振器而连接，在所述第1idt电极以及所述第2idt电极中，将所述多个电极指排列的方向中的一者设为第1方向，将与所述第1方向相反的方向设为第2方向，此时，在所述第1idt电极中，所述电极指的长度随着朝向所述第1方向而变长，在所述第2idt电极中，所述电极指的长度随着朝向所述第2方向而变长。

6、在本发明涉及的弹性波装置的又一个广泛的方面中，具备：压电性基板，具有压电体层；以及多个idt电极，设置在所述压电性基板上，分别具有多个电极指，所述多个idt电极包含所述多个电极指的俯视下的形状具有曲线状的形状的多个曲线状idt电极，所述曲线状idt电极中的所述电极指的所述曲线状的形状的部分在所述多个电极指排列的方向上变得凸的方向为所述曲线状的形状的部分的外侧方向，所述多个idt电极包含第1idt电极以及第2idt电极，所述第1idt电极以及所述第2idt电极均为所述曲线状idt电极，在所述第1idt电极以及所述第2idt电极中，将所述多个电极指排列的方向中的一者设为第1方向，将与所述第1方向相反的方向设为第2方向，此时，所述第1idt电极具有所述外侧方向为所述第1方向的至少一个第1区域和所述外侧方向为所述第2方向的至少一个第2区域，所述第2idt电极至少具有所述外侧方向为所述第2方向的区域，所述弹性波装置构成有分别包含所述idt电极的多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器包含：第1弹性波谐振器，包含所述第1idt电极；以及第2弹性波谐振器，包含所述第2idt电极，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器不经由其它所述弹性波谐振器而连接，在所述第1idt电极中，所述第1区域的面积的合计比所述第2区域的面积的合计大，并且在所述第2idt电极中，所述外侧方向为所述第2方向的区域的面积的合计比所述外侧方向为所述第1方向的区域的面积的合计大。

7、在本发明涉及的弹性波装置的又一个广泛的方面中，具备：压电性基板，具有压电体层；以及多个idt电极，设置在所述压电性基板上，分别具有多个电极指，所述多个idt电极包含所述多个电极指的俯视下的形状具有曲线状的形状的多个曲线状idt电极，所述曲线状idt电极中的所述电极指的所述曲线状的形状的部分在所述多个电极指排列的方向上变得凸的方向为所述曲线状的形状的部分的外侧方向，所述多个idt电极包含第1idt电极以及第2idt电极，所述第1idt电极以及所述第2idt电极均为所述曲线状idt电极，在所述第1idt电极以及所述第2idt电极中，将所述多个电极指排列的方向中的一者设为第1方向，将与所述第1方向相反的方向设为第2方向，此时，所述第1idt电极具有所述外侧方向为所述第1方向的至少一个第1区域和所述外侧方向为所述第2方向的至少一个第2区域，所述第2idt电极至少具有所述外侧方向为所述第2方向的区域，所述弹性波装置构成有分别包含所述idt电极的多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器包含：第1弹性波谐振器，包含所述第1idt电极；以及第2弹性波谐振器，包含所述第2idt电极，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器不经由其它所述弹性波谐振器而连接，在所述第1idt电极中，所述第1区域的面积的合计比所述第2区域的面积的合计大，在所述第1idt电极中，所述电极指的长度随着朝向所述第1方向以及所述第2方向中的一者而变长，在所述第2idt电极中，所述电极指的长度随着朝向所述第1方向以及所述第2方向中的另一者而变长。

8、发明效果

9、根据本发明涉及的弹性波装置，能够抑制谐波失真。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.一种弹性波装置，具备：

3.一种弹性波装置，具备：

4.一种弹性波装置，具备：

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1、2以及7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1、2以及7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1、2、6、7以及9～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1～12中的任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结本发明提供能够抑制谐波失真的弹性波装置，其具备压电性基板和分别具有多个电极指的多个IDT电极。多个IDT电极包含多个电极指的俯视下的形状具有曲线状的形状的多个曲线状IDT电极。曲线状IDT电极中的电极指的曲线状的形状的部分在多个电极指排列的方向上变得凸的方向为曲线状的形状的部分的外侧方向。多个IDT电极包含均为曲线状IDT电极的第1IDT电极以及第2IDT电极。弹性波装置构成有多个弹性波谐振器，包含：第1弹性波谐振器，包含第1IDT电极；和第2弹性波谐振器，包含第2IDT电极，且不经由其它弹性波谐振器而与第1弹性波谐振器连接，第1IDT电极中的外侧方向与第2IDT电极中的外侧方向为相反方向。技术研发人员：冈田拓郎,中村健太郎,薮拓也受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/29