晶圆检测用图像摄取装置的制作方法

本技术涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆检测用图像摄取装置。

背景技术：

1、晶圆是半导体的薄片，主要用于集成电路的制造，是芯片制造的重要零件。晶圆超精密修边是芯片封装制程中的重要工序，在晶圆进行超精密减薄之前，需要使用一种超精密晶圆修边设备对厚度750μm晶圆薄片的边缘切割出一道深150μm、宽20μm的凹槽，这一道凹槽可有效降低晶圆薄片在后续减薄工艺中发生破片、翘曲等不良现象的概率。

2、在晶圆的超精密修边设备中，通常需要对晶圆的圆心进行检测计算，并与晶圆承载台的圆心进行对比，当两者圆心偏移量大于一定值，设备将会进行晶圆取放精度进行纠偏。在视觉检测中，需要对晶圆边缘的四个点进行拍照取点，相机通常固定不动，通过转动承载台使晶圆转动来使固定的相机拍摄晶圆边缘不同位置的点，四个点应当在晶圆边缘均匀间隔分布，也就是说需要根据不同的检测装置将晶圆转动对应的角度，而现有的装置通常只能通过操作人员徒手进行转动，难以进行精确的转动，造成所拍摄的四个点位并非均布与晶圆的边缘，会导致后续晶圆圆心的计算出现误差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测用图像摄取装置，以解决现有晶圆检测用图像摄取装置难以准确转动晶圆至需要的角度，使得相机所拍摄的点无法均布于晶圆边缘的技术问题。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、晶圆检测用图像摄取装置，包括：

4、支撑机构，包括底座和支撑架；

5、承载台；

6、转动机构，所述转动机构包括轴承座、轴承、转轴、连接法兰和限位组件，所述轴承座与所述底座连接，所述轴承的外圈与所述轴承座连接，所述轴承的内圈与所述转轴连接，所述转轴远离所述轴承座的一端与所述连接法兰连接，所述连接法兰与所述承载台连接，所述限位组件能够限制所述转轴的转动角度并且能够使所述承载台锁定；

7、摄像机构，包括相机；

8、调节机构，所述摄像机构通过所述调节机构与所述支撑架连接，所述摄像机构能够通过所述调节机构移动。

9、作为优选地，所述转动组件包括限位顶丝和至少两个限位挡块，所述限位组件包括限位顶丝和至少两个限位挡块，所述轴承座远离所述底座的一端设置有多个安装槽，至少两个所述限位挡块间隔设置于所述安装槽内，且所述限位挡块的一端伸出所述安装槽，所述限位顶丝与所述连接法兰连接，所述转轴转动时能够带动所述限位顶丝转动，所述限位挡块能够与所述限位顶丝抵接以限制所述转轴的转动。

10、作为优选地，所述限位挡块由磁性材料制成。

11、作为优选地，所述支撑架包括两个支撑柱和两个支撑座，所述支撑座一侧与所述支撑柱连接，所述支撑座一侧与所述底座可拆卸连接。

12、作为优选地，所述支撑架还包括夹持件，所述调节机构通过所述夹持件与所述支撑柱连接。

13、作为优选地，所述调节机构包括连接板和安装板，所述连接板与所述夹持件连接，所述摄像机构与所述安装板连接，所述连接板设置有滑槽，所述安装板设置有滑块，所述安装板能够带动所述摄像机构沿所述滑槽移动。

14、作为优选地，所述摄像机构还包括镜头和光源，所述镜头与所述连接板连接，所述镜头远离所述承载台的一端与所述相机连接，所述镜头的另一端与所述光源连接。

15、作为优选地，所述相机为ccd相机。

16、有益效果：本实用新型提供一种晶圆检测用图像摄取装置，该晶圆检测用图像摄取装置包括支撑机构、承载台、转动机构、摄像机构和调节机构。通过轴承座、轴承及转轴能够使承载台的转动顺滑，还能够通过限位组件限制承载台的转动角度并锁定，能够使操作人员调节承载台转动角度时轻松方便，且调节精准。在进行检测时，根据检测需求通过转动机构限制承载台的转动角度，通过调节机构调节好摄像机构的位置，在相机拍摄晶圆边缘下一个点位时，只需要转动承载台直至承载台无法转动时，承载台即转过设定好的角度，确保转动的精确，且不需要操作人员精细操作，降低了操作难度，在承载台转动到位时还能够锁定承载台避免承载台的回转，进一步保证了转动的精确，确保了拍摄点位均匀分布于晶圆的边缘，避免后续计算晶圆的圆心时出现误差。

技术特征：

1.晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述限位组件(35)包括限位顶丝(351)和至少两个限位挡块(352)，所述轴承座(31)远离所述底座(11)的一端设置有多个安装槽(311)，至少两个所述限位挡块(352)间隔设置于所述安装槽(311)内，且所述限位挡块(352)的一端伸出所述安装槽(311)，所述限位顶丝(351)与所述连接法兰(34)连接，所述转轴(33)转动时能够带动所述限位顶丝(351)转动，所述限位挡块(352)能够与所述限位顶丝(351)抵接以限制所述转轴(33)的转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述限位挡块(352)由磁性材料制成。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述支撑架(12)包括两个支撑柱(121)和两个支撑座(122)，所述支撑座(122)一侧与所述支撑柱(121)连接，所述支撑座(122)一侧与所述底座(11)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述支撑架(12)还包括夹持件(13)，所述调节机构(5)通过所述夹持件(13)与所述支撑柱(121)连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述调节机构(5)包括连接板(51)和安装板(52)，所述连接板(51)与所述夹持件(13)连接，所述摄像机构(4)与所述安装板(52)连接，所述连接板(51)设置有滑槽，所述安装板(52)设置有滑块，所述安装板(52)能够带动所述摄像机构(4)沿所述滑槽移动。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述摄像机构(4)还包括镜头(42)和光源(43)，所述镜头(42)与所述连接板(51)连接，所述镜头(42)远离所述承载台(2)的一端与所述相机(41)连接，所述镜头(42)的另一端与所述光源(43)连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，所述相机(41)为ccd相机(41)。

技术总结本技术属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测用图像摄取装置。该晶圆检测用图像摄取装置包括支撑机构、转动机构、检测机构和调节机构。支撑机构包括底座和支撑架；转动机构包括轴承座、轴承、转轴、连接法兰和限位组件，轴承座与底座连接，轴承的外圈与轴承座连接，轴承的内圈与转轴连接，转轴远离轴承座的一端与连接法兰连接，连接法兰与承载台连接，限位组件能够限制转轴的转动角度并且能够使承载台锁定；检测机构包括相机；检测机构通过调节机构与支撑架连接，检测机构能够通过调节机构移动。在相机拍摄晶圆边缘下一个点位时，只需要转动承载台直至承载台无法转动时，承载台即转过设定好的角度，还能够锁定承载台避免承载台的回转。技术研发人员：万先进,梁志远,韦俊丞,朱松,张怀东,秦宝宏,边逸军受保护的技术使用者：宁波芯丰精密科技有限公司技术研发日：20231123技术公布日：2024/9/19