一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置的制作方法

本发明涉及晶圆玻璃研磨，具体为一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆玻璃是一种在微机电系统和集成电路制造中广泛使用的基底材料，它具有优良的电绝缘性、化学惰性和高温稳定性，使其成为制造微型器件和电子元件的理想选择，在其生产过程中，需要对其进行研磨，以去除精磨的破坏层达到规定的外观限度要求，此过程中需要使用到晶圆研磨装置。

2、现有专利(公告号为：cn116175304a)公开了一种晶圆研磨设备，包括研磨台，在研磨台上内凹开设有收纳区，在收纳区内中心处安装有加工盘，并在加工盘上内凹开设有研磨槽，所述研磨台内隐藏安装有回收部件，在研磨台上方安装有研磨单元，并在研磨单元与收纳区之间安装有调整部件。本发明在回收部件的配合下，能够对研磨过程中产生的研磨液进行集中回收，保证了研磨台上的洁净，避免了研磨液在研磨台上堆积无法清理的不足，同时在调整部件的配合下，能够对研磨盘下移的位置进行动态定位，可适配不同厚度的晶圆进行加工调节，保证了研磨盘下移量的稳定，避免研磨盘下移不到位以及下移过量对晶圆的研磨造成干扰的问题。

3、上述专利技术在使用时，能够对研磨过程中产生的研磨液进行集中回收，其通过研磨液的重力作用流至空腔内进行收集，但研磨液在研磨时的离心力的作用下，会飞溅至研磨台的内壁上并粘附在研磨台的内壁上，不便于对其进行清理，长时间后易结晶，并且其缺乏防护装置，使得研磨液可能会飞溅至外界而造成影响，因此提出了一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，以解决上述背景技术中提到的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，包括研磨台，所述研磨台的左右两侧外表面均固定连接有l形板，两个所述l形板呈对称设置，两个所述l形板相对的外表面间固定安装有第一电动推杆，两个所述第一电动推杆的输出端均固定连接有半柱形防护套，所述研磨台的底部外表面固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定套设有侧l形杆，所述侧l形杆的竖直端外表面固定连接有弹簧，若干个所述弹簧的另一端固定连接有连接板，所述连接板远离弹簧的另一端固定连接有刮条。

3、作为本发明的进一步说明，所述研磨台的顶部外表面固定连接有顶架，所述顶架的底部外表面靠后端固定连接有两个支撑杆，两个所述支撑杆的底部外表面固定连接有调节座，所述调节座的顶部内表面固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定套设有主动锥齿轮，所述调节座的内表面呈圆周阵列转动连接有四个螺纹杆，四个所述螺纹杆的外表面均固定套设有从动锥齿轮，四个所述从动锥齿轮均与主动锥齿轮的外表面活动啮合，四个所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶部外表面固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接有定位柱。

4、作为本发明的进一步说明，所述顶架的顶部外表面固定安装有气缸，所述气缸的安装端与顶架的顶部外表面固定连接，所述气缸的输出端固定连接有固定架，所述固定架的外表面固定安装有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有研磨座，所述研磨座的外表面设置有研磨盘。

5、作为本发明的进一步说明，所述调节座的顶部外表面中心处固定连接有安装架，所述安装架的顶部外表面中心处安装有真空吸盘。

6、作为本发明的进一步说明，所述研磨台的外表面开设有环形槽，所述环形槽的内部设置有过滤板，所述环形槽最外围的半径与半柱形防护套的半径相同，所述研磨台的底部四角处均固定连接有支撑脚，前侧两个所述支撑脚和后侧两个所述支撑脚相对的外表面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部外表面设置有承接盘，所述承接盘的直径大于环形槽的直径。

7、作为本发明的进一步说明，两个所述半柱形防护套的中心处均开设有半弧形槽，两个所述半柱形防护套的顶部外表面靠后端均开设有条形槽。

8、作为本发明的进一步说明，所述侧l形杆的竖直杆的一端活动插设有若干个活动杆，若干个所述活动杆靠近连接板的一端与连接板固定连接，若干个所述弹簧分别套设在若干个活动杆的外表面。

9、作为本发明的进一步说明，所述刮条为橡胶条，刮条的两侧均为倾斜设置。

10、作为本发明的进一步说明，所述调节座、真空吸盘和研磨盘的中心均为同一轴线上。

11、作为本发明的进一步说明，所述调节座的内表面设置有若干个限位杆，四个所述螺纹块分别套设在若干个限位杆的外表面，所述调节座的顶部外表面开设有四个滑槽，四个所述定位柱分别与四个滑槽的内部滑动连接。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、本发明提供的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置中，在研磨时，通过第一电动推杆带动半柱形防护套对研磨液进行防护，避免研磨液大范围飞溅，并通过第一电机驱动侧l形杆转动带动连接板使得刮条将半柱形防护套内部粘附的研磨液进行刮取，从而能够防止研磨液大范围飞溅，且能够对半柱形防护套内壁上的研磨液进行刮取清理，避免其残留在半柱形防护套上而结晶。

14、2、本发明提供的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置中，通过第二电机驱动主动锥齿轮转动，带动从动锥齿轮使得螺纹杆转动，带动螺纹块移动，并配合第二电动推杆调整定位柱的高度，使得定位柱对晶圆玻璃进行定位，使得晶圆玻璃的中心与真空吸盘和研磨盘的中心处于同一轴线上，调整完毕后，通过真空吸盘将晶圆玻璃吸附固定，从而便于研磨盘对晶圆玻璃进行研磨工作。

技术特征：

1.一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，包括研磨台(1)，其特征在于：所述研磨台(1)的左右两侧外表面均固定连接有l形板(2)，两个所述l形板(2)呈对称设置，两个所述l形板(2)相对的外表面间固定安装有第一电动推杆(3)，两个所述第一电动推杆(3)的输出端均固定连接有半柱形防护套(4)，所述研磨台(1)的底部外表面固定安装有第一电机(5)，所述第一电机(5)的输出端固定套设有侧l形杆(6)，所述侧l形杆(6)的竖直端外表面固定连接有弹簧(7)，若干个所述弹簧(7)的另一端固定连接有连接板(8)，所述连接板(8)远离弹簧(7)的另一端固定连接有刮条(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述研磨台(1)的顶部外表面固定连接有顶架(10)，所述顶架(10)的底部外表面靠后端固定连接有两个支撑杆(11)，两个所述支撑杆(11)的底部外表面固定连接有调节座(12)，所述调节座(12)的顶部内表面固定安装有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端固定套设有主动锥齿轮(14)，所述调节座(12)的内表面呈圆周阵列转动连接有四个螺纹杆(15)，四个所述螺纹杆(15)的外表面均固定套设有从动锥齿轮，四个所述从动锥齿轮均与主动锥齿轮(14)的外表面活动啮合，四个所述螺纹杆(15)的外表面螺纹连接有螺纹块(16)，所述螺纹块(16)的顶部外表面固定安装有第二电动推杆(17)，所述第二电动推杆(17)的输出端固定连接有定位柱(18)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述顶架(10)的顶部外表面固定安装有气缸(21)，所述气缸(21)的安装端与顶架(10)的顶部外表面固定连接，所述气缸(21)的输出端固定连接有固定架(22)，所述固定架(22)的外表面固定安装有第三电机(23)，所述第三电机(23)的输出端固定连接有研磨座，所述研磨座的外表面设置有研磨盘(24)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述调节座(12)的顶部外表面中心处固定连接有安装架(19)，所述安装架(19)的顶部外表面中心处安装有真空吸盘(20)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述研磨台(1)的外表面开设有环形槽(25)，所述环形槽(25)的内部设置有过滤板，所述环形槽(25)最外围的半径与半柱形防护套(4)的半径相同，所述研磨台(1)的底部四角处均固定连接有支撑脚，前侧两个所述支撑脚和后侧两个所述支撑脚相对的外表面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部外表面设置有承接盘(26)，所述承接盘(26)的直径大于环形槽(25)的直径。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：两个所述半柱形防护套(4)的中心处均开设有半弧形槽，两个所述半柱形防护套(4)的顶部外表面靠后端均开设有条形槽。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述侧l形杆(6)的竖直杆的一端活动插设有若干个活动杆，若干个所述活动杆靠近连接板(8)的一端与连接板(8)固定连接，若干个所述弹簧(7)分别套设在若干个活动杆的外表面。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述刮条(9)为橡胶条，刮条(9)的两侧均为倾斜设置。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述调节座(12)、真空吸盘(20)和研磨盘(24)的中心均为同一轴线上。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，其特征在于：所述调节座(12)的内表面设置有若干个限位杆，四个所述螺纹块(16)分别套设在若干个限位杆的外表面，所述调节座(12)的顶部外表面开设有四个滑槽，四个所述定位柱(18)分别与四个滑槽的内部滑动连接。

技术总结本发明涉及晶圆玻璃研磨技术领域，且公开了一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，包括研磨台，两个所述第一电动推杆的输出端均固定连接有半柱形防护套，所述研磨台的底部外表面固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定套设有侧L形杆，所述侧L形杆的竖直端外表面固定连接有弹簧，所述连接板远离弹簧的另一端固定连接有刮条。在研磨时，通过第一电动推杆带动半柱形防护套，避免研磨液大范围飞溅，并通过第一电机驱动侧L形杆转动带动连接板使得刮条将半柱形防护套内部粘附的研磨液进行刮取，从而能够防止研磨液大范围飞溅，且能够对半柱形防护套内壁上的研磨液进行刮取清理，避免其残留在半柱形防护套上而结晶。技术研发人员：王华野,周旭,梁超,李正华,员英杰受保护的技术使用者：熠铎科技（苏州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29