一种抛光装置的制作方法

本申请涉及化学机械抛光，尤其涉及一种抛光装置。

背景技术：

1、在半导体制造过程中，需要利用抛光装置对晶圆进行抛光，抛光装置包括抛光件和终点检测组件，抛光件内设置有容置空间，抛光件上还开设有与容置空间连通的检测窗口，终点检测组件设置于容置空间内，检测窗口内设置透明盖板，终点检测组件用于检测抛光操作是否完成，其包括检测光出射件和检测光接收件，检测光反射件用于朝向透明盖板发射检测光，检测光穿过透明盖板出射至被抛光件上，再由被抛光件反射并穿过透明盖板后被检测光接收件接收，以通过测定被抛光件反射的检测光判断抛光操作是否完成，但是检测光在穿过透明盖板时会产生反射和折射，造成光强衰减和产生干扰反射检测光，导致检测结果不精确，对抛光质量造成影响。

技术实现思路

1、本申请公开了一种抛光装置，其能够提高抛光装置的抛光质量。

2、为了实现上述目的，本申请公开一种抛光装置，抛光装置包括：

3、支撑件；

4、抛光件，所述抛光件设置于所述支撑件上，所述抛光件内设置有容置空间，所述抛光件上还开设有与所述容置空间连通的检测窗口；

5、终点检测组件，所述终点检测组件设置于所述抛光件内，所述终点检测组件用于检测抛光状况，所述终点检测组件包括检测光出射件和检测光接收件；

6、透明盖板，所述透明盖板设置于所述检测窗口内，沿所述透明盖板的厚度方向，所述透明盖板包括第一面和第二面，所述第一面上形成有第一入射面和第二出射面，所述第二面上形成有第一出射面和第二入射面，所述第一出射面平行于所述第一入射面，所述第二出射面平行于所述第二入射面，所述检测光出射件出射的检测光依次通过第一入射面和第一出射面后出射至所述被抛光件上，被所述被抛光件反射的所述检测光依次经过第二入射面和第二出射面后被所述检测光接收件接收，所述第一入射面与竖直方向之间具有第一倾斜角度，所述第一倾斜角度被配置使所述检测光出射件发出的检测光垂直入射所述透明盖板，所述第二入射面与竖直方向之间具有第二倾斜角度，所述第二倾斜角度被配置使被所述被抛光件反射的检测光垂直入射所述透明盖板。

7、可选地，所述检测光出射件出射的检测光的光路与水平方向平行；

8、所述终点检测组件还包括反射件，所述反射件具有反射面，所述反射面与水平方向之间具有第三倾斜角度，以使所述检测光出射件出射的检测光经所述反射面反射后垂直入射于于所述第一入射面。

9、可选地，所述第一倾斜角度为a1，所述第三倾斜角度为b，所述检测光出射件出射的检测光与所述水平方向之间的夹角为d，当入射至所述第一入射面的检测光垂直于所述第一入射面时，所述第一倾斜角度a1、所述第三倾斜角度b以及所述检测光出射件出射的检测光与所述水平方向之间的夹角d满足关系式：b＝(a1-d)/2。

10、可选地，所述反射件包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述反射件的反射面实现角度调节。

11、可选地，所述第三倾斜角度的范围值为20°-50°。

12、可选地，所述第一倾斜角度与所述第二倾斜角度相等。

13、可选地，沿垂直于所述第一入射面的方向，所述透明盖板的厚度为4mm-5mm。

14、可选地，所述第一入射面与所述第二出射面相互连接，且在连接处形成棱角。

15、可选地，所述第一入射面与所述第二出射面相互连接，且在连接处圆滑过渡。

16、可选地，所述透明盖板与所述检测窗口之间设置有密封结构。

17、可选地，所述密封结构包括设置于所述透明盖板周向上的环形密封槽和设置于所述环形密封槽内的密封圈。

18、可选地，沿所述抛光件的厚度方向，所述检测窗口具有相互连通的第一段和第二段，且在由第二面指向所述第二面的方向上，所述第二段的投影位于所述第一段内，所述第二段靠近所述支撑件设置，所述透明盖板具有安装部，所述安装部安装于所述第一段内。

19、可选地，所述透明盖板通过紧固件固定安装于所述第一段内

20、可选地，所述透明盖板与所述检测窗口过盈配合。

21、与现有技术相比，本申请的有益效果在于：

22、第一入射面与竖直方向之间具有第一倾斜角度，使得检测光出射件发出的检测光能够垂直入射透明盖板，以使检测光在穿过透明盖板时不会发生折射，能够确保检测光在进入透明盖板时的传输效率最高，减少因角度偏差导致的光损失，第一出射面平行于第一入射面，保证了检测光在出射时的方向稳定性，第二入射面与竖直方向之间具有第二倾斜角度，使由被抛光件反射的检测光垂直入射透明盖板，同样，这一设计提高了反射光的接收效率，确保检测光接收件能够准确地接收到反射光，第二出射面平行于第二入射面，进一步增强了反射光传输的稳定性，通过对透明盖板两面入射面和出射面的倾斜角度设计，使得检测光在整个传输过程中保持最佳的入射和反射角度，从而提高了终点检测组件检测抛光状况的准确性，能够更精确地判断抛光的终点，避免过度抛光或抛光不足的情况发生，准确的终点检测能够确保抛光操作在合适的时机停止，提升了抛光质量。

技术特征：

1.一种抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括：

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述第一倾斜角度为a1，所述第三倾斜角度为b，所述检测光出射件出射的检测光与所述水平方向之间的夹角为d，当入射至所述第一入射面的检测光垂直于所述第一入射面时，所述第一倾斜角度a1、所述第三倾斜角度b以及所述检测光出射件出射的检测光与所述水平方向之间的夹角d满足关系式：b＝(a1-d)/2。

4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述反射件包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述反射件的反射面实现角度调节。

5.根据权利要求2-4任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述第三倾斜角度的范围值为20°-50°。

6.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一倾斜角度与所述第二倾斜角度相等。

7.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，沿垂直于所述第一入射面的方向，所述透明盖板的厚度为4mm-5mm。

8.根据权利要求1-4任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述第一入射面与所述第二出射面相互连接，且在连接处形成棱角；

9.根据权利要求1-4任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述透明盖板与所述检测窗口之间设置有密封结构，所述密封结构包括设置于所述透明盖板周向上的环形密封槽和设置于所述环形密封槽内的密封圈。

10.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，沿所述抛光件的厚度方向，所述检测窗口具有相互连通的第一段和第二段，且在水平投影面上，所述第二段的投影位于所述第一段内，所述第二段靠近所述支撑件设置，所述透明盖板具有安装部，所述安装部安装于所述第一段内。

技术总结本申请提供一种抛光装置，抛光装置包括：支撑件、抛光件、终点检测装置以及透明盖板；抛光件设置于支撑件上，抛光件上开设有检测窗口；终点检测组件设置于抛光件内，用于检测抛光状况，其包括检测光出射件和检测光接收件；透明盖板设置于检测窗口内，透明盖板包括第一面和第二面，第一面上形成有第一入射面和第二出射面，第二面上形成有第一出射面和第二入射面，第一出射面平行于第一入射面，第二出射面平行于第二入射面，第一入射面与竖直方向之间具有第一倾斜角度，第一倾斜角度被配置使检测光出射件发出的检测光垂直入射透明盖板，第二入射与竖直方向之间具有第二倾斜角度，第二倾斜角度被配置使由被抛光件反射的检测光垂直入射透明盖板。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：江苏元夫半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14