一种双面镀膜设备及用于滤光片加工的镀膜方法与流程

本发明涉及镀膜设备，具体为一种双面镀膜设备及用于滤光片加工的镀膜方法。

背景技术：

1、滤光片是用来选取所需辐射波段的光学器件，在滤光片的加工过程中，需要对滤光片进行光学镀膜；光学镀膜通常是在光学组件或独立基板上镀上一层或多层的介电质膜或金属膜来改变光波传输特性。

2、中国专利cn115786867b公开了一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法，通过设置扇叶转动形成环形气墙，阻挡上升的蒸气离子，提高镀膜的效率，同时，通过设置可翻转的放置环，能够实现镜片翻面的操作，无需人工将镜片翻面即可实现双面镀膜。

3、由于真空镀膜设备在工作时需要对设备内部抽真空和加热，因此，每次镀膜完成后也需要花费时间进行降温和向设备内补充气体，才能打开真空镀膜设备取出完成镀膜的镜片，上述设备中放置环的设置使得每次启动设备进行镀膜的镜片数量受到限制，每次放置到镀膜设备内部的镜片数量较少，而设备内部加热和抽真空都需要花费一定的成本，从而使得镀膜设备工作的成本较高，从而对镀膜效率造成不良影响。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种双面镀膜设备及用于滤光片加工的镀膜方法，具备一次性放入更多滤光片进行双面镀膜的优点，解决了上述背景技术中提到的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

3、一种双面镀膜设备，包括真空镀膜柜、镀膜伞和控制柜，所述镀膜伞包括法兰管、转动管、伞架、安装架、转轴、放置框和放置板，所述法兰管固定安装在真空镀膜柜的内顶壁，所述转动管的上端与法兰管的下端转动连接，所述伞架固定安装在转动管的下端，所述安装架活动设置在伞架的侧面，所述转轴与安装架转动连接，且转轴的两端与伞架转动连接，所述放置框转动在安装架的表面，所述放置板可拆卸安装在放置框的内部；

4、所述真空镀膜柜的内顶部安装有正反转电机驱动轴，所述正反转电机驱动轴与转轴传动连接；

5、所述镀膜伞上还设置有驱动控制机构，所述驱动控制机构包括转动管驱动部件、安装架驱动部件和放置框驱动部件；

6、所述转动管驱动部件用于驱动转动管与正反转电机驱动轴之间同向且同角速度转动，所述转动管驱动部件包括开关齿轮，所述开关齿轮脱位后转动管驱动部件的传动中断；

7、所述安装架驱动部件包括正转驱动组件和防反转组件，所述正转驱动组件用于使转轴正转带动安装架旋转，所述防反转组件用于防止转轴反转带动安装架旋转；

8、所述放置框驱动部件与反向转动的转轴传动连接，用于控制放置框在安装架的内部翻转；

9、所述控制柜安装在真空镀膜柜的一侧。

10、优选地，所述正反转电机驱动轴的上下两端分别固定安装有上主动锥齿轮和下主动锥齿轮，所述上主动锥齿轮与开关齿轮啮合适配，所述下主动锥齿轮的外侧设置有呈环形阵列分布的下传动锥齿轮，所述下传动锥齿轮与下主动锥齿轮啮合连接，且下传动锥齿轮固定安装在转轴上。

11、优选地，所述转动管驱动部件还包括转环、上传动锥齿轮、被动齿轮、固定环、从动齿轮、中间轴和中间齿轮，所述转环与法兰管的内壁转动连接，所述上传动锥齿轮和被动齿轮分别固定安装在转环的上表面和下表面，所述固定环和中间轴均与转动管的内壁固定连接，所述从动齿轮固定安装在固定环的上表面，所述中间齿轮与中间轴转动连接，且中间齿轮同时与被动齿轮和从动齿轮啮合连接，所述开关齿轮与上传动锥齿轮啮合适配。

12、优选地，所述法兰管的一侧壁固定安装有直线推进器，所述直线推进器的伸缩端与开关齿轮转动连接。

13、优选地，所述正转驱动组件包括正转驱动内棘轮、驱动转块、驱动滑块和驱动弹簧，所述正转驱动内棘轮固定安装在安装架的一端，所述驱动转块设置在正转驱动内棘轮的内侧，且驱动转块与转轴固定连接，所述驱动滑块滑动安装在驱动转块的一端，且驱动滑块的端部与正转驱动内棘轮配合卡接，所述驱动弹簧的两端分别与驱动转块和驱动滑块固定连接。

14、优选地，所述防反转组件包括防反转内棘轮、固定轴、防反转固定块、防反转滑块和防反转弹簧，所述防反转内棘轮固定安装在安装架的另一端，所述防反转内棘轮的棘齿方向与正转驱动内棘轮的棘齿方向相同，所述固定轴固定安装在伞架上，且固定轴与转轴同轴设置，所述防反转固定块固定安装在固定轴上，所述防反转滑块滑动安装在防反转固定块的一端且防反转滑块与防反转内棘轮配合卡接，所述防反转弹簧的两端分别与防反转固定块和防反转滑块固定连接。

15、优选地，所述转轴的一端贯穿安装架的一侧壁并与安装架的另一侧内壁转动连接，所述放置框的两端均固定安装有连接轴，所述安装架的侧面均开设有连通到其内部的通孔，所述连接轴与通孔的侧壁转动连接，所述放置框驱动部件包括驱动平齿轮、从动平齿轮和传动平齿轮，所述驱动平齿轮和从动平齿轮分别与转轴和连接轴固定连接，所述传动平齿轮转动安装在安装架的一侧内壁，所述驱动平齿轮和从动平齿轮之间通过传动平齿轮传动连接。

16、优选地，所述放置框的两端均插接有插杆，所述插杆和放置框的外侧壁之间固定安装有复位弹簧，所述放置板的两端均开设有插槽，所述插槽与插杆插接适配，所述插杆分别设置在连接轴的两侧。

17、优选地，所述伞架的表面开设有呈环形阵列分布的通口，所述通口的下表面固定安装有弧形挡板，所述安装架设置在弧形挡板的内侧，所述弧形挡板下表面的中部开设有与放置板大小适配的缺口，所述正反转电机驱动轴的下端延伸到伞架的内部，且其下端固定安装有环形挡板，所述环形挡板与伞架的下表面紧贴。

18、本发明还公开了一种用于滤光片加工的镀膜方法，具体步骤为：

19、将待镀膜的滤光片安装到放置板上的圆孔中；

20、打开真空镀膜柜的柜门，将放置板分别安装到全部的放置框上，并关闭真空镀膜柜的柜门；

21、启动真空镀膜柜中的真空泵设备进行抽真空操作；

22、控制开关齿轮就位并启动正反转电机驱动轴，使得伞架随正反转电机驱动轴旋转；

23、启动真空镀膜柜内部的镀膜设备，使得蒸气离子对靠近真空镀膜柜底部的滤光片进行镀膜；

24、靠近真空镀膜柜底部的放置板上的滤光板的一面镀膜完成后，关闭真空镀膜柜内部的镀膜设备并停止正反转电机驱动轴旋转，同时控制开关齿轮脱位，然后驱动正反转电机驱动轴正转，使得安装架旋转一定的角度，更换靠近真空镀膜柜底部的放置板，之后再重新控制开关齿轮就位并启动正反转电机驱动轴，并启动真空镀膜柜内部的镀膜设备进行镀膜；

25、所有的滤光板一面镀膜完成后，关闭真空镀膜柜内部的镀膜设备并停止正反转电机驱动轴旋转，控制开关齿轮脱位，再驱动正反转电机驱动轴反转，使得放置板翻面，对滤光板的另一面进行镀膜。

26、有益效果

27、与现有技术相比，本发明提供了一种双面镀膜设备，具备以下有益效果：

28、1、该双面镀膜设备，通过设置正反转电机驱动轴、转动管驱动部件、安装架驱动部件和放置框驱动部件，当开关齿轮就位时，伞架与正反转电机驱动轴同向且同角速度转动，转轴与正反转电机驱动轴相对静止，放置框不能翻转，当开关齿轮脱位以后，伞架不再旋转而转轴旋转，当转轴正转时，能够驱动安装架翻转，更换不同的滤光片靠近真空镀膜柜的底部进行镀膜，当转轴反转时，安装架不再旋转，转轴能够驱动放置框翻转，对滤光片的另一面进行镀膜。

29、2、该双面镀膜设备，通过设置开关齿轮、上主动锥齿轮、转环、上传动锥齿轮、被动齿轮、固定环、从动齿轮、中间轴和中间齿轮，使得伞架与正反转电机驱动轴能够同向且同角速度转动，由于固定安装在正反转电机驱动轴上的下主动锥齿轮和转轴之间通过下传动锥齿轮传动，当伞架与正反转电机驱动轴能够同向且同角速度转动，下主动锥齿轮和下传动锥齿轮相对静止，使得伞架旋转时安装架不发生自转，而当开关齿轮不再将上主动锥齿轮的转动传递到上传动锥齿轮时，伞架不再旋转，下主动锥齿轮和下传动锥齿轮相对旋转，驱动转轴旋转。

30、3、该双面镀膜设备，通过设置正转驱动组件、防反转组件和放置框驱动部件，当转轴旋转时，根据旋转方向的不同，分别驱动安装架或放置框自转，从而实现更换镀膜的滤光片或对滤光片进行翻面。