用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置的制作方法

本发明涉及超高纯氢氟酸包装容器清洗领域，具体来说，涉及一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置。

背景技术：

1、超高纯氢氟酸，具有极强的腐蚀性、化学性质活泼，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有极为重要的影响。

2、超高纯氢氟酸用塑料瓶盛放。氢氟酸用hf(氟化氢)溶于水而得。因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强，使得氢氟酸在水中不能完全电离，所以理论上低浓度的氢氟酸是一种弱酸。但是氢氟酸具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。因此氢氟酸一般密封在塑料瓶中，并保存于阴凉处，塑料瓶中的超高纯氢氟酸在使用后，需要对塑料瓶进行清洗回收，现有的超高纯氢氟酸包装容器，在清洗过程中内会散发出一定刺激性较强的毒性气体，在长时间的清洗中，这些毒性气体会严重影响生产环境和检修工人的身体健康。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本发明提出一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

2、为此，本发明采用的具体技术方案如下：

3、一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，包括清洗安装支撑架，清洗安装支撑架上方设有封闭清洗安装组件，封闭清洗安装组件内部安装有清洗固定组件，封闭清洗安装组件外围设有进出液组件，清洗安装支撑架一侧设有自动进出料组件，自动进出料组件一侧设有物料输送组件；

4、为了达到封闭清洗安装的目的，封闭清洗安装组件包括清洗安装壳体，清洗安装壳体一侧开设有进料槽，进料槽内部滑动密封配合有进料移动架，进料移动架一侧对称连接有移动电推杆，移动电推杆一侧连接有推杆固定板，推杆固定板与清洗安装壳体固定连接，进料移动架外围连接有清洗安装板，清洗安装板内部活动连接有旋转杆，旋转杆外围连接有清洁刷，旋转杆一端连接有传动蜗轮，传动蜗轮一侧啮合有传动蜗杆，传动蜗杆外围活动连接有蜗杆固定板，蜗杆固定板与清洗安装板相连接，传动蜗杆一端连接有清洗防水电机，清洗防水电机外壳与蜗杆固定板相连接，清洗安装壳体上方设有气体抽出泵，气体抽出泵输入端连接有抽出管，气体抽出泵输出端连接有气体排出管。

5、进一步的，清洗安装支撑架一侧安装有plc控制器，移动电推杆、清洗防水电机、气体抽出泵分别与plc控制器电性连接。

6、进一步的，清洗安装壳体内部对称连接有滑动板，滑动板与清洗安装板滑动配合。

7、进一步的，为了达到清洗固定的目的，清洗固定组件包括固定电推杆，固定电推杆与plc控制器电性连接，固定电推杆外围连接有固定推杆架，固定推杆架与清洗安装壳体相连接，固定电推杆输出端连接有固定移动杆，固定移动杆与清洗安装壳体滑动密封配合，固定移动杆输出端连接有弧形固定板，弧形固定板内部开设有固定槽。

8、进一步的，为了达到进出液的目的，进出液组件包括进液泵，进液泵与plc控制器电性连接，进液泵输入端连接有进液管，进液管与外部清洁液源相连接，进液泵输出端连接有排液管，排液管与清洗安装壳体相连，清洗安装壳体下方连接有出液管，出液管内部安装有出液阀。

9、进一步的，进液泵和出液阀分别与plc控制器电性连接。

10、进一步的，为了达到自动进出料的目的，自动进出料组件包括进出料安装架，进出料安装架内部开设有丝杠安装槽，丝杠安装槽内部设有传动丝杠，传动丝杠与进出料安装架活动连接，传动丝杠外围配合有传动滑块，传动滑块底部连接有电动升降杆，电动升降杆输出端连接有夹持安装板，夹持安装板一侧安装有电动夹爪，传动丝杠一端连接有传动电机，电动夹爪和传动电机与plc控制器电性连接。

11、进一步的，传动滑块内部开设有滑动槽，滑动槽内部滑动配合有滑动杆，滑动杆与进出料安装架相连接。

12、进一步的，清洗安装支撑架一侧设有出料放置箱。

13、进一步的，为了达到物料输送的目的，物料输送组件包括输送安装架，输送安装架内部活动连接有传动轮辊，传动轮辊一端连接有输送电机，传动轮辊配合有传动带，传动带上方设有塑料瓶放置架。

14、本发明的有益效果为：

15、(1)、本发明在实际使用中，通过封闭清洗安装组件，不仅可以塑料瓶中的超高纯氢氟酸在使用后，对塑料瓶进行清洗回收，而且也解决了现有的超高纯氢氟酸包装容器，在清洗过程中内会散发出一定刺激性较强的毒性气体，在长时间的清洗中，这些毒性气体会严重影响生产环境和检修工人的身体健康的问题，保护了生产环境和检修工人的身体健康。

16、(2)、本发明在实际使用中，通过设置传动电机，从而使得传动电机即可带动传动丝杠在丝杠安装槽中进行旋转，传动丝杠旋转时即可带动传动滑块进行移动，传动滑块移动时即可带动电动升降杆进行移动，电动升降杆也可以带动夹持安装板和电动夹爪进行移动，电动夹爪对塑料瓶进行夹持，达到自动进出料的作用。

17、(3)、本发明在实际使用中，通过设置输送安装架，从而达到便于活动安装传动轮辊的目的，输送电机即可带动其中一个传动轮辊进行移动，传动轮辊即可带动传动带进行圆周旋转，传动带即可带动塑料瓶放置架内的塑料瓶移动，达到自动输送物料的作用。

技术特征：

1.一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，包括清洗安装支撑架(1)，所述清洗安装支撑架(1)上方设有封闭清洗安装组件(2)，所述封闭清洗安装组件(2)内部安装有清洗固定组件(3)，所述封闭清洗安装组件(2)外围设有进出液组件(4)，所述清洗安装支撑架(1)一侧设有自动进出料组件(5)，所述自动进出料组件(5)一侧设有物料输送组件(6)；

2.根据权利要求1所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述清洗安装支撑架(1)一侧安装有plc控制器(7)，所述移动电推杆(204)、清洗防水电机(212)、气体抽出泵(213)分别与plc控制器(7)电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述清洗安装壳体(201)内部对称连接有滑动板(8)，所述滑动板(8)与所述清洗安装板(206)滑动配合。

4.根据权利要求3所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述清洗固定组件(3)包括固定电推杆(301)，所述固定电推杆(301)与所述plc控制器(7)电性连接，所述固定电推杆(301)外围连接有固定推杆架(302)，所述固定推杆架(302)与所述清洗安装壳体(201)相连接，所述固定电推杆(301)输出端连接有固定移动杆(303)，所述固定移动杆(303)与所述清洗安装壳体(201)滑动密封配合，所述固定移动杆(303)输出端连接有弧形固定板(304)，所述弧形固定板(304)内部开设有固定槽(305)。

5.根据权利要求4所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述进出液组件(4)包括进液泵(401)，所述进液泵(401)与所述plc控制器(7)电性连接，所述进液泵(401)输入端连接有进液管(402)，所述进液管(402)与外部清洁液源相连接，所述进液泵(401)输出端连接有排液管(403)，所述排液管(403)与所述清洗安装壳体(201)相连，所述清洗安装壳体(201)下方连接有出液管(404)，所述出液管(404)内部安装有出液阀(405)。

6.根据权利要求5所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述进液泵(401)和出液阀(405)分别与所述plc控制器(7)电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述自动进出料组件(5)包括进出料安装架(501)，所述进出料安装架(501)内部开设有丝杠安装槽(507)，所述丝杠安装槽(507)内部设有传动丝杠(502)，所述传动丝杠(502)与所述进出料安装架(501)活动连接，所述传动丝杠(502)外围配合有传动滑块(503)，所述传动滑块(503)底部连接有电动升降杆(504)，所述电动升降杆(504)输出端连接有夹持安装板(508)，所述夹持安装板(508)一侧安装有电动夹爪(505)，所述传动丝杠(502)一端连接有传动电机(506)，所述电动夹爪(505)和传动电机(506)与所述plc控制器(7)电性连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述传动滑块(503)内部开设有滑动槽(9)，所述滑动槽(9)内部滑动配合有滑动杆(10)，所述滑动杆(10)与所述进出料安装架(501)相连接。

9.根据权利要求1所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述清洗安装支撑架(1)一侧设有出料放置箱(11)。

10.根据权利要求9所述的一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，其特征在于，所述物料输送组件(6)包括输送安装架(601)，所述输送安装架(601)内部活动连接有传动轮辊(602)，所述传动轮辊(602)一端连接有输送电机(603)，所述传动轮辊(602)配合有传动带(604)，所述传动带(604)上方设有塑料瓶放置架(605)。

技术总结本发明公开了一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗装置，包括清洗安装支撑架，清洗安装支撑架上方设有封闭清洗安装组件，封闭清洗安装组件内部安装有清洗固定组件，封闭清洗安装组件外围设有进出液组件，清洗安装支撑架一侧设有自动进出料组件，自动进出料组件一侧设有物料输送组件，本发明在实际使用中，通过设置传动电机，从而使得传动电机即可带动传动丝杠在丝杠安装槽中进行旋转，传动丝杠旋转时即可带动传动滑块进行移动，传动滑块移动时即可带动电动升降杆进行移动，电动升降杆也可以带动夹持安装板和电动夹爪进行移动，电动夹爪对塑料瓶进行夹持，达到自动进出料的作用。技术研发人员：王航帅,叶芸,朱妍,舒宇帆,彭晓晖受保护的技术使用者：浙江森田新材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/30