油缸液压站和单晶炉系统的制作方法

本技术涉及单晶装备，尤其涉及一种油缸液压站和单晶炉系统。

背景技术：

1、单晶炉是晶体生长设备领域中的核心设备之一，其主要功能是生长单晶体材料，广泛应用于半导体产业和光伏产业等领域。在这些产业中，单晶炉的性能和质量直接影响到产品的性能和可靠性。

2、单晶炉通常由主室和副室两部分组成，主室是用于生长晶体材料的空间，而副室则用于放置辅助设备，如支架、坩埚等。在拉晶工艺过程中，需要实现主室和副室的升降动作，以适应不同生长条件和操作需求。

3、由于单晶炉的工作环境较为恶劣，温度和压力等参数变化较大，现有技术中缺少能够稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的方案。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种油缸液压站和单晶炉系统，用以解决现有技术中难以稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的缺陷，实现了一种能够稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的液压装置方案。

2、本实用新型提供一种油缸液压站，包括：油箱，连接有供油管路和回油管路，所述供油管路连接有相互并联的第一供油支路和第二供油支路，所述回油管路连接有相互并联的第一回油支路和第二回油支路，所述供油管路上设置有液压泵；主换向阀，一侧连接于所述第一供油支路和所述第一回油支路，另一侧通过两条主控制油路分别连接于主室油缸的有杆腔和无杆腔；副换向阀，一侧连接于所述第二供油支路和所述第二回油支路，另一侧通过两条副控制油路分别连接于副室油缸的有杆腔和无杆腔；所述主换向阀和所述副换向阀具有保压状态；在所述主换向阀的保压状态，所述第一供油支路和所述第一回油支路与两条所述主控制油路断开；在所述副换向阀的保压状态，所述第二供油支路和所述第二回油支路与两条所述副控制油路断开。

3、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，两条所述主控制油路之间设置有主平衡阀；和/或，两条所述副控制油路之间设置有副平衡阀。

4、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，两条所述主控制油路上分别设置有调速阀；和/或，两条所述副控制油路上分别设置有所述调速阀。

5、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，所述第一供油支路和所述第一回油支路之间连接有减速流路，和/或，所述第二供油支路和所述第二回油支路之间连接有所述减速流路；所述减速流路上串联设置有节流阀和两通阀。

6、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，所述第一供油支路和所述第一回油支路之间连接有泄压流路，和/或，所述第二供油支路和所述第二回油支路之间连接有所述泄压流路；所述泄压流路上设置有溢流阀。

7、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，所述供油管路上设置有单向阀。

8、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，在所述单向阀的下游位置，所述供油管路上设置有压力表。

9、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，所述回油管路上设置有过滤器；和/或，所述油箱的顶部设置有空气滤清器，所述油箱的内外两侧通过所述空气滤清器通气。

10、根据本实用新型提供的一种油缸液压站，所述油箱设置有用于检测所述油箱内的液位高度的液位计。

11、本实用新型还提供一种单晶炉系统，包括以上任一种实施方式所述的油缸液压站，以及分别用于执行主室和副室的升降动作的主室油缸和副室油缸。

12、本实用新型提供了一种油缸液压站，用于通过液压方式分别驱动主室油缸和副室油缸，以实现主室和副室的升降控制。液压泵设置在供油管路上，用于提供液压油的压力。主控制油路和副控制油路分别连接于主室油缸的有杆腔和无杆腔以及副室油缸的有杆腔和无杆腔。通过主换向阀和副换向阀的切换，可以控制主室和副室的升降动作。当主换向阀切换到保压状态时，第一供油支路和第一回油支路与两条主控制油路断开，主室油缸保持当前的升降状态；同理，当副换向阀切换到保压状态时，第二供油支路和第二回油支路与两条副控制油路断开，副室油缸保持当前的升降状态。通过控制液压泵的输出功率和主换向阀、副换向阀的切换，可以实现对单晶炉的主室和副室进行稳定、可靠的升降控制。

13、此外，本实用新型还提供了一种单晶炉系统，采用了上述油缸液压站。该系统在拉晶工艺过程中，能够实现主室和副室的精确和稳定的升降动作，从而更好地适应不同生长条件和操作需求。通过控制液压泵的输出功率和主换向阀、副换向阀的切换，可以实现对单晶炉的主室和副室进行稳定、可靠的升降控制。

技术特征：

1.一种油缸液压站，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路之间设置有主平衡阀(33)；

3.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路上分别设置有调速阀(35)；

4.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有减速流路，和/或，所述第二供油支路(24)和所述第二回油支路(26)之间连接有所述减速流路；

5.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有泄压流路，和/或，所述第二供油支路(24)和所述第二回油支路(26)之间连接有所述泄压流路；

6.根据权利要求1-5中的任一项所述的油缸液压站，其特征在于，所述供油管路(21)上设置有单向阀(13)。

7.根据权利要求6所述的油缸液压站，其特征在于，在所述单向阀(13)的下游位置，所述供油管路(21)上设置有压力表(14)。

8.根据权利要求1-5中的任一项所述的油缸液压站，其特征在于，所述回油管路(22)上设置有过滤器(15)；

9.根据权利要求1-5中的任一项所述的油缸液压站，其特征在于，所述油箱(10)设置有用于检测所述油箱(10)内的液位高度的液位计(17)。

10.一种单晶炉系统，其特征在于，包括权利要求1-9中的任一项所述的油缸液压站，以及分别用于执行主室和副室的升降动作的主室油缸(27)和副室油缸(28)。

技术总结本技术涉及单晶装备技术领域，提供一种油缸液压站和单晶炉系统，包括：油箱，连接有供油管路和回油管路，供油管路连接有相互并联的第一供油支路和第二供油支路，回油管路连接有相互并联的第一回油支路和第二回油支路，供油管路上设置有液压泵；主换向阀一侧连接于第一供油支路和第一回油支路，另一侧连接于主室油缸；副换向阀一侧连接于第二供油支路和第二回油支路，另一侧连接于副室油缸；主换向阀和副换向阀具有保压状态。油缸液压站通过控制液压泵的输出功率和主换向阀、副换向阀的切换，可以实现对单晶炉的主室和副室进行稳定、可靠的升降控制。技术研发人员：姜浩博受保护的技术使用者：株洲三一硅能技术有限公司技术研发日：20231214技术公布日：2024/6/30