真空镀膜室的制作方法

本发明涉及真空镀膜，具体涉及一种真空镀膜室。

背景技术：

1、真空镀膜室是产品进行真空镀膜时需要用到的重要装备。现有真空镀膜生产线中真空镀膜室一般包括用于容纳产品并形成真空镀膜环境的镀膜腔室，该镀膜腔室具有供产品进出的出入口，镀膜腔室内设置镀膜用阴极装置、工艺气体通入装置等功能装置。

2、现有真空镀膜室中阴极装置都是呈敞开式暴露设置在镀膜腔室内，在实际工作过程中各阴极装置容易受到其他功能装置的污染和影响，例如，在镀膜腔室设置多个阴极装置的情况下，各阴极装置镀膜工作时所产生的镀膜材料会溅射到其他阴极装置的镀膜工作区域或者溅射到其他阴极装置上，从而影响镀膜质量；在镀膜过程中需要通入工艺气体时，阴极装置的镀膜工作会受到通入工艺其他所产生气流的影响，进而影响镀膜质量；阴极装置暴露在镀膜腔室内，无论是工作状态还是非工作状态都容易受到镀膜腔室内其他环境物质的污染，也会影响镀膜质量。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种可提高镀膜质量、使用灵活性好、结构简单紧凑、成本低、易于制作装配、控制简便的真空镀膜室。

2、为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

3、一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，所述镀膜腔室内安装有一个以上阴极装置，至少一个所述阴极装置设有遮挡装置，所述遮挡装置包括分设于阴极装置两侧的两个隔挡机构，所述隔挡机构包括隔板和隔挡驱动组件，所述隔挡驱动组件与所述隔板相连并能驱动隔板运动以调节隔板与所述镀膜腔室内产品的距离，两个隔挡机构的隔板与镀膜腔室内壁围成开口朝向镀膜腔室内产品的凹腔，所述阴极装置位于所述凹腔内。

4、作为上述技术方案的进一步改进：

5、所述镀膜腔室内壁上对应每块隔板均设有基座，所述基座设有插接孔，所述隔板以插设在对应基座的插接孔中，所述隔挡驱动组件包括伸缩驱动件，所述伸缩驱动件与隔板相连并驱动隔板往复运动调节插入插接孔的深度以实现调节隔板与所述镀膜腔室内产品的距离。

6、所述镀膜腔室内安装有绕镀膜腔室内的产品依次布置的多个阴极装置，任意阴极装置的两侧均设有所述隔挡机构，且相邻两个阴极装置之间仅设置一个所述隔挡机构。

7、所述遮挡装置还包括用于与所述隔板配合以将所述凹腔的开口封闭的封闭组件。

8、所述封闭组件包括挡板和驱动机构，所述驱动机构与所述挡板相连并能驱动所述挡板环绕所述镀膜腔室内产品运动至正对所述凹腔的位置，所述凹腔两侧的两个隔挡机构的隔板靠近镀膜腔室内产品运动时，与运动至正对所述凹腔的位置的挡板接触以将所述凹腔的开口封闭。

9、所述驱动组件包括绕竖直轴线转动安装在镀膜腔室内的转动座和驱动所述转动座转动的转动驱动机构，所述挡板连接安装在所述转动座上。

10、与现有技术相比，本发明的优点在于：

11、本发明的真空镀膜室，镀膜腔室内的阴极装置设有遮挡装置，在阴极装置工作时，可根据需要通过遮挡装置部分遮挡该阴极装置，减少阴极装置工作时产生的镀膜材料溅射到其他阴极装置的镀膜工作区域或者溅射到其他阴极装置上，减少阴极装置受其他阴极装置等功能装置的影响，减少镀膜工作中通入工艺气体时所产生气流对阴极装置镀膜工作造成的影响，可提高镀膜质量。在阴极装置不工作时，也可通过遮挡装置部分遮挡该阴极装置，减少阴极装置受镀膜腔室内其他环境物质的污染，这也有利于提高镀膜质量。该真空镀膜室的遮挡装置可根据需要选择是否部分遮挡该阴极装置以及遮挡程度，使用灵活性好。并且，遮挡装置只需设置隔板和隔挡驱动组件，具有结构简单紧凑、成本低、易于制作装配、控制简便的优点。

技术特征：

1.一种真空镀膜室，包括用于容纳产品（100）的镀膜腔室（1），所述镀膜腔室（1）内安装有一个以上阴极装置（2），其特征在于：至少一个所述阴极装置（2）设有遮挡装置，所述遮挡装置包括分设于阴极装置（2）两侧的两个隔挡机构，所述隔挡机构包括隔板（3）和隔挡驱动组件（4），所述隔挡驱动组件（4）与所述隔板（3）相连并能驱动隔板（3）运动以调节隔板（3）与所述镀膜腔室（1）内产品（100）的距离，两个隔挡机构的隔板（3）与镀膜腔室（1）内壁围成开口朝向镀膜腔室（1）内产品（100）的凹腔（30），所述阴极装置（2）位于所述凹腔（30）内。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜室，其特征在于：所述镀膜腔室（1）内壁上对应每块隔板（3）均设有基座（11），所述基座（11）设有插接孔，所述隔板（3）以插设在对应基座（11）的插接孔中，所述隔挡驱动组件（4）包括伸缩驱动件，所述伸缩驱动件与隔板（3）相连并驱动隔板（3）往复运动调节插入插接孔的深度以实现调节隔板（3）与所述镀膜腔室（1）内产品（100）的距离。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜室，其特征在于：所述镀膜腔室（1）内安装有绕镀膜腔室（1）内的产品（100）依次布置的多个阴极装置（2），任意阴极装置（2）的两侧均设有所述隔挡机构，且相邻两个阴极装置（2）之间仅设置一个所述隔挡机构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空镀膜室，其特征在于：所述遮挡装置还包括用于与所述隔板（3）配合以将所述凹腔（30）的开口封闭的封闭组件。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜室，其特征在于：所述封闭组件包括挡板（5）和驱动机构，所述驱动机构与所述挡板（5）相连并能驱动所述挡板（5）环绕所述镀膜腔室（1）内产品（100）运动至正对所述凹腔（30）的位置，所述凹腔（30）两侧的两个隔挡机构的隔板（3）靠近镀膜腔室（1）内产品（100）运动时，与运动至正对所述凹腔（30）的位置的挡板（5）接触以将所述凹腔（30）的开口封闭。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜室，其特征在于：所述驱动组件包括绕竖直轴线转动安装在镀膜腔室（1）内的转动座（6）和驱动所述转动座（6）转动的转动驱动机构（7），所述挡板（5）连接安装在所述转动座（6）上。

技术总结本发明公开了一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，镀膜腔室内安装有一个以上阴极装置，至少一个阴极装置设有遮挡装置，遮挡装置包括分设于阴极装置两侧的两个隔挡机构，隔挡机构包括隔板和隔挡驱动组件，隔挡驱动组件与隔板相连并能驱动隔板运动以调节隔板与镀膜腔室内产品的距离，两个隔挡机构的隔板与镀膜腔室内壁围成开口朝向镀膜腔室内产品的凹腔，阴极装置位于凹腔内。该真空镀膜室具有可提高镀膜质量、使用灵活性好、结构简单紧凑、成本低、易于制作装配、控制简便等优点。技术研发人员：黄乐,祝海生,刘柏桢,唐洪波,唐莲,徐璐受保护的技术使用者：湘潭宏大真空技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17