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一种电容式加速度计及其制造方法与流程
本发明属于加速度计，特别是涉及一种电容式加速度计及其制造方法。背景技术：1、加速度计的工作原理主要有电容式和压阻式，其中压阻式加速度计存在精度低、温度特性差等缺点，应用领域受限。电容式加速度计主要采用......
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加速度计的信号处理方法与流程
本发明涉及mems，特别涉及一种加速度计的信号处理方法。背景技术：1、mems（micro electro - mechanical system，微电子机械系统）加速度计是一种微小型惯性传感器，与传......
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一种三轴电容式加速度计的制作方法
本发明涉及加速度计，尤其涉及一种三轴电容式加速度计。背景技术：1、现有的三轴加速度计通常采用三个独立的传感器和复杂的结构来实现其功能，导致整体集成性较差。这不仅增加了设备的尺寸和重量，还可能影响其性能......
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一种双轴型石英谐振加速度计芯片的制作方法
本发明涉及石英谐振加速度计，具体涉及一种双轴型石英谐振加速度计芯片。背景技术：1、石英谐振加速度计是基于mems结构设计的加速度计，它可以实现较高精度的输出；石英谐振加速度计的测量原理是：其内部的谐振......
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应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计
本发明涉及谐振加速计，特别是涉及一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计。背景技术：1、目前，谐振加速度计是加速度高精度测量中最具潜力的实现方式，其将输入加速度调制到载波频率上，从而避免......
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基于加速度计的速度传感器断线判断方法、装置、设备与流程
本公开涉及轨道交通，尤其涉及一种基于加速度计的速度传感器断线判断方法、装置、设备。背景技术：1、在轨道交通的实际控制过程中，如果列车的速度传感器出现了断线，将会造成列车的速度无法监控进而发生危险的情况......
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隔振组合梁结构及其低应力MEMS加速度计的制作方法
本发明涉及mems加速度计，具体涉及隔振组合梁结构及其低应力mems加速度计。背景技术：1、mems加速度计传感器作为惯性导航装备领域的核心器件之一，其指标和误差大小直接影响设备导航精度的高低，特别是......
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一种陀螺加速度计高精度全自动化测试系统的制作方法
本发明属于惯性，涉及一种陀螺加速度计高精度全自动化测试系统，用于陀螺加速度计通断电、功能调试、标定与精度测试。背景技术：1、陀螺加速度计是当今世界工程应用中实现最高精度的加速度计，被广泛应用于惯导系统......
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一种谐振式加速度计的制作方法
本技术属于谐振式传感器整体结构，具体涉及一种谐振式加速度计。背景技术：1、惯性导航系统利用陀螺仪和加速度计同时测量在体运动的角速度和加速度，解算出目前的三维空间中的姿态和速度，进而得到所需要的导航信息......
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一种高精度时间信号分析方法及其在石英振梁加速度计中的应用
本发明涉及一种高精度时间数字转换方法，特别是其在石英振梁加速度计中的应用。背景技术：1、时间数字转换器(timedigitalconverter，tdc)是用于高精度时间间隔分析的测量技术，它通过将两......
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压阻式加速度计的器件级无引线异构集成结构及工艺的制作方法
本发明涉及电子产品封装，尤其涉及一种压阻式加速度计的器件级无引线异构集成结构及工艺。背景技术：1、压阻式加速度计的工作原理是根据所经历的加速度改变其电阻。可以测量加速度的变化以了解传感器经历的加速度率......
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一种低噪声MEMS加速度计
本发明属于微机电，特别涉及一种低噪声mems加速度计。背景技术：1、微机电系统(mems，micro electro mechanical system)包括微传感器、微驱动器和相应的处理电路，是在微......
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一种基于电泵浦片上InGaN量子肼梁三轴加速度计及其制备方法
本发明专利涉及惯性导航，尤其涉及一种基于电泵浦片上ingan量子肼梁三轴加速度计及其制备方法。背景技术：1、惯性导航是一种利用惯性传感器测量运动物体的加速度和角速度来确定其位置、速度和方向的导航技术。......
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一种全硅三明治加速度计的工艺制造方法与流程
一种全硅三明治加速度计的工艺制造方法1.技术领域：本发明是半导体技术领域，尤其涉及一种全硅三明治加速度计的工艺制造方法。2.反景技术：mems三明治结构加速度计是一种夹层结构的加速度计，因动极板被夹在......
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基于SOI硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺
基于soi硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺技术领域1.本发明属于微电子机械系统(mems)传感器设计技术领域，具体涉及一种基于soi硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺。背景技术：2.传统......
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基于栅极调控的硅纳米线阵列式加速度计及其加工工艺
1.本发明属于加速度计技术领域，具体涉及基于栅极调控的硅纳米线阵列式加速度计及其加工工艺。背景技术：2.硅纳米线是一种新型的一维纳米材料，外界环境的微妙变化就能够引起材料本身性质的剧烈变化，这样的特性......
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基于SOI硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺
基于soi硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺技术领域1.本发明属于微电子机械系统(mems)传感器设计技术领域，具体涉及一种基于soi硅片的硅纳米线阵列式加速度计及其制备工艺。背景技术：2.传统......
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微机电系统器件、微机电系统加速度计及其形成方法与流程
1.本公开实施例是涉及微机电系统器件及其形成方法。背景技术：2.微机电系统(micro-electro mechanical system，mems)器件包括使用半导体技术而制作的器件以形成机械特征及......
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一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法
1.本发明涉及硅微传感器技术领域，具体是一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法。背景技术：2.加速度计是一种用于加速度感应的传感器，当传感器受到加速度作用时，内部敏感单元感受加速度而变形，通过......
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一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法与流程
一种基于gis盖板的三明治加速度计制备方法技术领域1.本发明涉及测量测试技术领域，具体涉及一种基于gis盖板的三明治加速度计制备方法。背景技术：2.基于mems技术的不断发展和推进，mems加速度计具......
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平凹谐振腔型硅光加速度计的制备方法与流程
1.本技术涉及加速度计技术领域，尤其涉及平凹谐振腔型硅光加速度计的制备方法。背景技术：2.目前市面上主流的mems加速度计为电容式加速度计，电容式加速度计的缺点是抗电磁干扰能力差。光学加速度计抗电磁干......
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一种微电子机械系统MEMS加速度计
一种微电子机械系统mems加速度计技术领域1.本发明涉及mems加速度计技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统mems加速度计。背景技术：2.加速度计是一种能够测量物体加速度的惯性传感器，mems是将微......
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一种MEMS加速度计低应力集成封装结构及方法与流程
一种mems加速度计低应力集成封装结构及方法技术领域1.本发明涉及一种mems加速度计低应力集成封装结构及方法，属于芯片封装技术领域。背景技术：2.加速度计是测量载体加速度的器件，随着微机电系统(me......
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一种MEMS加速度计的多级抗过载封装结构及方法与流程
一种mems加速度计的多级抗过载封装结构及方法技术领域1.本发明涉及一种mems加速度计的多级抗过载封装结构及方法，属于芯片封装技术领域，可应用于mems加速度计、mems陀螺仪等mems惯性仪表的封......
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一种高度可控的电容加速度计封装的方法
本发明属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种高度可控的电容加速度计封装的方法。背景技术：电容位移传感器是一种非接触式的精密传感器，用于精密测量仪器和控制设备中，作为检测探头，对微小的位移变化起反应。一......
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