镀膜材料回收装置及镀膜设备的制作方法

本申请属于镀膜，具体涉及一种镀膜材料回收装置及镀膜设备。

背景技术：

1、物理气相沉积技术是采用物理方法将材料源表面气化呈气态原子或分子，或部分电离呈离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有预设功能的薄膜的技术，目前被广泛应用于光学元器件、光伏、半导体等行业。在镀膜设备对基材的表面进行镀膜操作时，由镀膜源产生的镀膜物质还会附着在镀膜腔的内壁上，需要定期对镀膜腔进行清洗和维护。

2、相关技术中，通过在镀膜腔的内壁上设置防着板，以便在镀膜过程中，镀膜物质沉积到防着板上，进而起到对镀膜腔的内壁的防护作用。然而，附着在防着板上的材料人工回收难度大，且在回收过程中需要对防着板进行拆装清洗，操作复杂且影响设备的利用率。

技术实现思路

1、本申请旨在提供一种镀膜材料回收装置及镀膜设备，能够解决相关技术中的防着板表面附着的镀膜材料难以回收，且在回收过程中需要对防着板进行拆装清洗，操作复杂且影响设备的利用率的问题。

2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提出了一种镀膜材料回收装置，包括：

4、防着板，所述防着板适于安装在镀膜设备的镀膜腔内，并至少部分覆盖于所述镀膜腔的内壁；

5、振动机构，所述振动机构与所述防着板相对设置，用于带动所述防着板振动，以使所述防着板表面附着的镀膜材料脱离；

6、回收机构，所述回收机构设于所述防着板的下方，用于回收所述防着板上脱离的镀膜材料。

7、可选地，所述防着板包括第一板体和第二板体，所述镀膜腔的内壁包括侧壁和顶壁；所述第一板体至少部分覆盖所述侧壁，所述第二板体至少部分覆盖所述顶壁，所述第一板体和所述第二板体中至少一个与所述振动机构相对设置。

8、可选地，所述振动机构设于所述侧壁，所述第一板体连接于所述振动机构，所述回收机构设于所述第一板体的下方；所述振动机构用于带动所述第一板体振动，以使所述第一板体表面附着的镀膜材料脱落至所述回收机构中。

9、可选地，所述镀膜材料回收装置还包括移载机构，所述第二板体与所述移载机构连接，所述移载机构用于将所述第二板体移载至所述回收机构的上方，并使所述第二板体与所述振动机构连接，以通过所述振动机构带动所述第二板体振动。

10、可选地，所述移载机构包括驱动件和传动件；所述传动件转动连接于所述镀膜设备，所述第二板体连接于所述传动件，所述驱动件与所述传动件连接，用于驱动所述传动件转动，并通过所述传动件带动所述第二板体靠近或远离所述振动机构。

11、可选地，所述振动机构包括振源和振动板，所述振动板设于所述镀膜腔的内壁上，所述防着板连接于所述振动板；所述振源与所述振动板连接，用于驱动所述振动板带动所述防着板振动。

12、可选地，所述振源设为超声波振动系统。

13、可选地，所述回收机构包括：本体和盖板，所述盖板与所述本体围合形成用于容纳镀膜材料的容纳腔；所述盖板朝向所述防着板的一侧设有收集槽，所述收集槽的底部与所述容纳腔连通。

14、可选地，所述收集槽自所述盖板向所述容纳腔内凹陷延伸，且所述收集槽的四周槽壁沿所述盖板向所述容纳腔内逐渐收缩。

15、可选地，所述防着板朝向所述镀膜腔的一侧的表面粗糙度为ra，满足：ra≥0.1mm。

16、第二方面，本申请实施例提出了一种镀膜设备，包括设备主体，以及上述任一项所述的镀膜材料回收装置；所述设备主体中设有镀膜腔，所述镀膜材料回收装置设于所述镀膜腔内。

17、可选地，所述镀膜设备还包括：镀膜源和传输机构，所述镀膜源设于所述镀膜腔内，传输机构用于将工件移入或移出所述镀膜腔。

18、在本申请的实施例中，通过在镀膜设备的镀膜腔的内壁上设置防着板，利用防着板对镀膜腔的内壁形成遮挡，以减少镀膜材料在镀膜腔的内壁的沉积。并且，在防着板对应位置设置振动机构，并在防着板的下方设置回收机构，以便在需要对防着板进行清理时，通过振动机构驱动防着板振动，使防着板表面附着的镀膜材料脱落至回收机构中。这样，不仅能够提高对防着板的清理效率，且操作简单方便，有助于提升设备的维护效率，同时，也便于对镀膜材料的回收利用，从而提高了镀膜材料的利用率。

19、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种镀膜材料回收装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述防着板包括第一板体和第二板体，所述镀膜腔的内壁包括侧壁和顶壁；所述第一板体至少部分覆盖所述侧壁，所述第二板体至少部分覆盖所述顶壁，所述第一板体和所述第二板体中至少一个与所述振动机构相对设置。

3.根据权利要求2所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述振动机构设于所述侧壁，所述第一板体连接于所述振动机构，所述回收机构设于所述第一板体的下方；所述振动机构用于带动所述第一板体振动，以使所述第一板体表面附着的镀膜材料脱落至所述回收机构中。

4.根据权利要求3所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述镀膜材料回收装置还包括移载机构，所述第二板体与所述移载机构连接，所述移载机构用于将所述第二板体移载至所述回收机构的上方，并使所述第二板体与所述振动机构连接，以通过所述振动机构带动所述第二板体振动。

5.根据权利要求4所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述移载机构包括驱动件和传动件；所述传动件转动连接于所述镀膜设备，所述第二板体连接于所述传动件，所述驱动件与所述传动件连接，用于驱动所述传动件转动，并通过所述传动件带动所述第二板体靠近或远离所述振动机构。

6.根据权利要求1所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述振动机构包括振源和振动板，所述振动板设于所述镀膜腔的内壁上，所述防着板连接于所述振动板；所述振源与所述振动板连接，用于驱动所述振动板带动所述防着板振动。

7.根据权利要求6所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述振源设为超声波振动系统。

8.根据权利要求1所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述回收机构包括：本体和盖板，所述盖板与所述本体围合形成用于容纳镀膜材料的容纳腔；所述盖板朝向所述防着板的一侧设有收集槽，所述收集槽的底部与所述容纳腔连通。

9.根据权利要求8所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述收集槽自所述盖板向所述容纳腔内凹陷延伸，且所述收集槽的四周槽壁沿所述盖板向所述容纳腔内逐渐收缩。

10.根据权利要求1所述的镀膜材料回收装置，其特征在于，所述防着板朝向所述镀膜腔的一侧的表面粗糙度为ra，满足：ra≥0.1mm。

11.一种镀膜设备，其特征在于，包括设备主体，以及如权利要求1-10任一项所述的镀膜材料回收装置；所述设备主体中设有镀膜腔，所述镀膜材料回收装置设于所述镀膜腔内。

12.根据权利要求11所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括：镀膜源和传输机构，所述镀膜源设于所述镀膜腔内，传输机构用于将工件移入或移出所述镀膜腔。

技术总结本申请公开了一种镀膜材料回收装置及镀膜设备，镀膜材料回收装置包括防着板、振动机构、回收机构；防着板设于镀膜腔的内壁上；振动机构与防着板相对设置，用于带动防着板振动，以使防着板表面附着的镀膜材料脱离；回收机构设于防着板的下方，用于回收防着板上脱离的镀膜材料。在需要对防着板进行清理时，通过振动机构驱动防着板振动，以使防着板表面附着的镀膜材料脱离，进而利用置于防着板下方的回收机构对脱离的镀膜材料进行回收。这样，不仅能够提高对防着板的清理效率，且操作简单方便，有助于提升设备的维护效率，同时，也便于对镀膜材料的回收利用，从而提高了镀膜材料的利用率。技术研发人员：王永磊,何博,刘童,张洪旭,冯志宏,严明,杨亮,徐希翔受保护的技术使用者：隆基绿能科技股份有限公司技术研发日：20231012技术公布日：2024/7/9